Ανθεκτικοί δακτύλιοι εστίασης για επεξεργασία ημιαγωγών

Οι ανθεκτικοί δακτύλιοι εστίασης Semicorex για επεξεργασία ημιαγωγών έχουν σχεδιαστεί για να αντέχουν στα ακραία περιβάλλοντα των θαλάμων χάραξης πλάσματος που χρησιμοποιούνται στην επεξεργασία ημιαγωγών. Οι δακτύλιοι εστίασής μας είναι κατασκευασμένοι από γραφίτη υψηλής καθαρότητας επικαλυμμένο με μια πυκνή, ανθεκτική στη φθορά επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου (SiC). Η επίστρωση SiC έχει υψηλές ιδιότητες αντοχής στη διάβρωση και τη θερμότητα, καθώς και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα. Εφαρμόζουμε SiC σε λεπτές στρώσεις πάνω στον γραφίτη χρησιμοποιώντας τη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) για να βελτιώσουμε τη διάρκεια ζωής των δακτυλίων εστίασής μας.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Οι ανθεκτικοί δακτύλιοι εστίασής μας για επεξεργασία ημιαγωγών έχουν σχεδιαστεί για να βελτιώνουν την ομοιομορφία χάραξης γύρω από την άκρη ή την περίμετρο της πλακέτας, ελαχιστοποιώντας τη μόλυνση και την απρογραμμάτιστη συντήρηση. Είναι εξαιρετικά σταθερά για ταχεία θερμική ανόπτηση (RTA), ταχεία θερμική επεξεργασία (RTP) και σκληρό χημικό καθαρισμό.

Στη Semicorex, εστιάζουμε στην παροχή υψηλής ποιότητας, οικονομικά αποδοτικών ανθεκτικών δακτυλίων εστίασης για επεξεργασία ημιαγωγών, δίνουμε προτεραιότητα στην ικανοποίηση των πελατών και παρέχουμε οικονομικά αποδοτικές λύσεις. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας, παρέχοντας προϊόντα υψηλής ποιότητας και εξαιρετική εξυπηρέτηση πελατών.

Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με τους ανθεκτικούς δακτυλίους εστίασης για επεξεργασία ημιαγωγών.

Παράμετροι ανθεκτικών δακτυλίων εστίασης για επεξεργασία ημιαγωγών

Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC
Ιδιότητες SiC-CVD
Κρυσταλλική Δομή	FCC β φάση
Πυκνότητα	g/cm ³	3.21
Σκληρότητα	Σκληρότητα Vickers	2500
Μέγεθος κόκκου	μm	2~10
Χημική Καθαρότητα	%	99.99995
Θερμοχωρητικότητα	J kg-1 K-1	640
Θερμοκρασία εξάχνωσης	℃	2700
Καμπτική δύναμη	MPa (RT 4 σημείων)	415
Young's Modulus	Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃)	430
Θερμική Διαστολή (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Θερμική αγωγιμότητα	(W/mK)	300

Χαρακτηριστικά των ανθεκτικών δακτυλίων εστίασης για επεξεργασία ημιαγωγών

● Γραφίτης υψηλής καθαρότητας και επίστρωση SiC για αντοχή στις τρύπες και μεγαλύτερη διάρκεια ζωής.

● Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα SiC έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.

● Η επίστρωση SiC εφαρμόζεται σε λεπτές στρώσεις για τη βελτίωση της διάρκειας ζωής.

Hot Tags: Ανθεκτικοί δακτύλιοι εστίασης για επεξεργασία ημιαγωγών, Κίνα, κατασκευαστές, προμηθευτές, εργοστασιακό, προσαρμοσμένο, μαζικό, προηγμένο, ανθεκτικό

Ετικέτα προϊόντος

Σχετική Κατηγορία