Σωλήνας Φούρνου Διάχυσης

Ο σωλήνας κλιβάνου διάχυσης είναι συνήθως κατασκευασμένος από χαλαζία υψηλής καθαρότητας ή SiC, τα οποία παρουσιάζουν εξαιρετική θερμική σταθερότητα και αντοχή στις χημικές αντιδράσεις. Αυτό είναι σημαντικό επειδή ο σωλήνας του κλιβάνου διάχυσης δεν πρέπει να εισάγει ακαθαρσίες στα υλικά ημιαγωγών που υποβάλλονται σε επεξεργασία. Ακόμη και οι παραμικρές ακαθαρσίες μπορεί να έχουν σημαντικές αρνητικές επιπτώσεις στην απόδοση και την αξιοπιστία των κατασκευασμένων συσκευών ημιαγωγών.

Τα υλικά που χρησιμοποιούνται για την κατασκευή του σωλήνα του κλιβάνου διάχυσης επιλέγονται για την υψηλή καθαρότητά τους για την πρόληψη της μόλυνσης των πλακών ημιαγωγών κατά την επεξεργασία. Ο σωλήνας του κλιβάνου διάχυσης αντέχει σε ακραίες θερμοκρασίες που συναντώνται κατά την επεξεργασία ημιαγωγών χωρίς να παραμορφώνεται ή να διακυβεύεται η δομική του ακεραιότητα. Αυτό εξασφαλίζει σταθερή και αξιόπιστη απόδοση για παρατεταμένες περιόδους λειτουργίας. Εκτός από τη θερμική σταθερότητα, ο σωλήνας του κλιβάνου διάχυσης παρουσιάζει επίσης αντοχή στις διαβρωτικές επιδράσεις των χημικών ουσιών και των αερίων που χρησιμοποιούνται στην επεξεργασία ημιαγωγών. Αυτό αποτρέπει την υποβάθμιση του σωλήνα με την πάροδο του χρόνου και εξασφαλίζει μακροζωία.

Ορισμένοι σωλήνες κλιβάνου διάχυσης μπορεί να διαθέτουν επενδύσεις κατασκευασμένες από εξειδικευμένα υλικά για να βελτιώσουν περαιτέρω την απόδοσή τους ή να παρέχουν πρόσθετη προστασία από μόλυνση ή χημικές αντιδράσεις. Αυτές οι επενδύσεις επιλέγονται προσεκτικά για να συμπληρώνουν τις ιδιότητες του υλικού του σωλήνα και τις ειδικές απαιτήσεις της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών.