Η Semicorex παρέχει κεραμικά ποιότητας ημιαγωγών για τα εργαλεία ημικατασκευής OEM και τα εξαρτήματα χειρισμού πλακιδίων που εστιάζουν σε στρώματα καρβιδίου του πυριτίου στις βιομηχανίες ημιαγωγών. Είμαστε κατασκευαστής και προμηθευτής Κεραμικής Γκοφρέτας για πολλά χρόνια. Τα προϊόντα μας έχουν καλό πλεονέκτημα τιμής και καλύπτουν το μεγαλύτερο μέρος της ευρωπαϊκής και αμερικανικής αγοράς. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Ο κεραμικός φορέας καρβιδίου πυριτίου έχει καλή αντοχή στη διάβρωση και εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και θερμικό σοκ. Ένας υψηλός συντελεστής ελαστικότητας οδηγεί επιπλέον σε εξαιρετική σταθερότητα διαστάσεων. Επιπλέον, υπάρχει το μηδενικό πορώδες και η χαμηλή πυκνότητα πόρων του κεραμικού υλικού.
Μπορούμε να επεξεργαστούμε όλα τα είδη Κεραμικής Γκοφρέτας σύμφωνα με τις απαιτήσεις των πελατών.
Παράμετροι Κεραμικής Γκοφρέτας
Τεχνικές Ιδιότητες |
||||
Δείκτης |
Μονάδα |
Αξία |
||
Όνομα υλικού |
Αντίδραση πυροσυσσωματωμένο καρβίδιο πυριτίου |
Καρβίδιο του πυριτίου χωρίς πίεση |
Ανακρυσταλλωμένο καρβίδιο του πυριτίου |
|
Σύνθεση |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Χύδην πυκνότητα |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Δύναμη κάμψης |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Αντοχή σε Θλίψη |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Σκληρότητα |
Κουμπί |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Θερμική αγωγιμότητα |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Συντελεστής Θερμικής Διαστολής |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Ειδική Θερμότητα |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Μέγιστη θερμοκρασία στον αέρα |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Μέτρο ελαστικότητας |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Η Semicorex παρήγαγε Κεραμικό φορέα γκοφρέτας σε τρεις μορφές, καρβίδιο πυριτίου πυροσυσσωματωμένο με αντίδραση (RBSiC), πυροσυσσωματωμένο καρβίδιο πυριτίου χωρίς πίεση (SSiC) και καρβίδιο του πυριτίου ανακρυστάλλου (R-SiC).
Η διαφορά μεταξύ SSiC και RBSiC:
1. Η διαδικασία πυροσυσσωμάτωσης είναι διαφορετική. Το RBSiC πρόκειται να διεισδύσει ελεύθερο Si σε καρβίδιο του πυριτίου σε χαμηλή θερμοκρασία, το SSiC σχηματίζεται από φυσική συρρίκνωση στους 2100 μοίρες.
2. Τα SSiC έχουν λεία επιφάνεια, υψηλότερη πυκνότητα και μεγαλύτερη αντοχή, για ορισμένες σφραγίσεις με πιο αυστηρές απαιτήσεις επιφάνειας, το SSiC θα είναι καλύτερο.
3. Διαφορετικός χρόνος χρήσης κάτω από διαφορετικό PH και θερμοκρασία, το SSiC είναι μεγαλύτερο από το RBSiC
Χαρακτηριστικά του Ceramic Wafer Carrier
Γραφίτης με επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας
Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα & θερμική ομοιομορφία
Λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC για λεία επιφάνεια
Υψηλή αντοχή στον χημικό καθαρισμό
Το υλικό είναι σχεδιασμένο έτσι ώστε να μην εμφανίζονται ρωγμές και αποκόλληση.
Διαθέσιμα σχήματα κεραμικών καρβιδίου του πυριτίου:
● Κεραμική ράβδος / κεραμική περόνη / κεραμικό έμβολο
● Κεραμικός σωλήνας / κεραμικός δακτύλιος / κεραμικό χιτώνιο
● Κεραμικός δακτύλιος / κεραμική ροδέλα / κεραμικός αποστάτης
● Κεραμικός δίσκος
● Κεραμικό πιάτο / κεραμικό μπλοκ
● Κεραμική μπάλα
● Κεραμικό έμβολο
● Κεραμικό ακροφύσιο
● Κεραμικό χωνευτήριο
● Άλλα προσαρμοσμένα κεραμικά μέρη