Βαρέλι γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου

Το βαρέλι γραφίτη με επίστρωση καρβιδίου πυριτίου Semicorex είναι η τέλεια επιλογή για εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών που απαιτούν υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση. Οι εξαιρετικές του ιδιότητες θερμικής αγωγιμότητας και κατανομής θερμότητας το καθιστούν ιδανικό για χρήση σε διεργασίες LPE και άλλα περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Όσον αφορά την κατασκευή ημιαγωγών, το βαρέλι γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου Semicorex είναι η κορυφαία επιλογή για εξαιρετική απόδοση και αξιοπιστία. Η υψηλής ποιότητας επίστρωση SiC και η ανώτερη πυκνότητα και θερμική αγωγιμότητα παρέχουν ανώτερη κατανομή θερμότητας και προστασία ακόμη και στα πιο δύσκολα περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά.

Η κάννη γραφίτη με επίστρωση καρβιδίου πυριτίου εξασφαλίζει ένα ομοιόμορφο θερμικό προφίλ, εγγυώντας το καλύτερο μοτίβο στρωτής ροής αερίου. Αποτρέπει τη διάχυση οποιασδήποτε μόλυνσης ή ακαθαρσιών στη γκοφρέτα, καθιστώντας την ιδανική για χρήση σε περιβάλλοντα καθαρού δωματίου. Η Semicorex είναι μεγάλης κλίμακας κατασκευαστής και προμηθευτής επικαλυμμένου SiC Graphite Susceptor στην Κίνα και τα προϊόντα μας έχουν καλό πλεονέκτημα τιμής. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στη βιομηχανία ημιαγωγών.

Παράμετροι βαρελιού γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου

Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC
Ιδιότητες SiC-CVD
Κρυσταλλική Δομή	FCC β φάση
Πυκνότητα	g/cm ³	3.21
Σκληρότητα	Σκληρότητα Vickers	2500
Μέγεθος κόκκου	μm	2~10
Χημική Καθαρότητα	%	99.99995
Θερμοχωρητικότητα	J kg-1 K-1	640
Θερμοκρασία εξάχνωσης	℃	2700
Καμπυλική δύναμη	MPa (RT 4 σημείων)	415
Young's Modulus	Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃)	430
Θερμική Διαστολή (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Θερμική αγωγιμότητα	(W/mK)	300

Χαρακτηριστικά του βαρελιού γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου

- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν καλή πυκνότητα και μπορούν να παίξουν καλό προστατευτικό ρόλο σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα εργασίας.

- Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων έχει πολύ υψηλή επιπεδότητα επιφάνειας.

- Μειώστε τη διαφορά στο συντελεστή θερμικής διαστολής μεταξύ του υποστρώματος γραφίτη και του στρώματος καρβιδίου του πυριτίου, βελτιώστε αποτελεσματικά την αντοχή συγκόλλησης για την αποφυγή ρωγμών και αποκόλλησης.

- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.

- Υψηλό σημείο τήξης, αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση.