Το Semicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor είναι ένα προϊόν γραφίτη υψηλής ποιότητας επικαλυμμένο με SiC υψηλής καθαρότητας, που προσφέρει εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση. Είναι ειδικά σχεδιασμένο για εφαρμογές LPE στη βιομηχανία κατασκευής ημιαγωγών.
ΜαςΥποδοχέας βαρελιού με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίουαπό τη Semicorex είναι μια ιδανική λύση για την καλλιέργεια μονοκρυστάλλων σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά.
Στη Semicorex, εστιάζουμε στην παροχή υψηλής ποιότητας και οικονομικά αποδοτικώνμε επίστρωση καρβιδίου του πυριτίουβαρέλι susceptor, δίνουμε προτεραιότητα στην ικανοποίηση των πελατών και παρέχουμε οικονομικά αποδοτικές λύσεις. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας, παρέχοντας προϊόντα υψηλής ποιότητας και εξαιρετική εξυπηρέτηση πελατών.
Παράμετροι τουΕπικαλυμμένο με καρβίδιο πυριτίουΔέκτης βαρελιού
Βασικές προδιαγραφές τουΕπικάλυψη CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπυλική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά τουΕπικαλυμμένο με καρβίδιο πυριτίουΔέκτης βαρελιού
- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν καλή πυκνότητα και μπορούν να παίξουν καλό προστατευτικό ρόλο σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα εργασίας.
- Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων έχει πολύ υψηλή επιπεδότητα επιφάνειας.
- Μειώστε τη διαφορά στο συντελεστή θερμικής διαστολής μεταξύ του υποστρώματος γραφίτη και του στρώματος καρβιδίου του πυριτίου, βελτιώστε αποτελεσματικά την αντοχή συγκόλλησης για την αποφυγή ρωγμών και αποκόλλησης.
- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.
- Υψηλό σημείο τήξης, αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση.