Το Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor είναι ένα προϊόν γραφίτη υψηλής ποιότητας επικαλυμμένο με SiC υψηλής καθαρότητας, σχεδιασμένο ειδικά για διεργασίες LPE. Με εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση, αυτό το προϊόν είναι ιδανικό για χρήση σε εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών.
Αν ψάχνετε για έναν υποδοχέα γραφίτη υψηλής απόδοσης για σχηματισμό επιταξιακού στρώματος σε γκοφρέτες ημιαγωγών, το Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor είναι μια εξαιρετική επιλογή. Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει ανώτερη κατανομή θερμότητας και θερμική αγωγιμότητα, εξασφαλίζοντας εξαιρετική απόδοση ακόμη και στα πιο απαιτητικά περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.
Στη Semicorex, επικεντρωνόμαστε στην παροχή υψηλής ποιότητας, οικονομικά αποδοτικού υποδοχέα κάννης αντιδραστήρα με επικάλυψη καρβιδίου, δίνουμε προτεραιότητα στην ικανοποίηση των πελατών και παρέχουμε οικονομικά αποδοτικές λύσεις. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας, παρέχοντας προϊόντα υψηλής ποιότητας και εξαιρετική εξυπηρέτηση πελατών.
Παράμετροι του επικαλυμμένου με καρβίδιο αντιδραστήρα βαρέλι Susceptor
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπυλική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά του επικαλυμμένου με Carbide Reactor Barrel Susceptor
- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν καλή πυκνότητα και μπορούν να παίξουν καλό προστατευτικό ρόλο σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα εργασίας.
- Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων έχει πολύ υψηλή επιπεδότητα επιφάνειας.
- Μειώστε τη διαφορά στο συντελεστή θερμικής διαστολής μεταξύ του υποστρώματος γραφίτη και του στρώματος καρβιδίου του πυριτίου, βελτιώστε αποτελεσματικά την αντοχή συγκόλλησης για την αποφυγή ρωγμών και αποκόλλησης.
- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.
- Υψηλό σημείο τήξης, αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση.