SiC Paddles

Τα κουπιά Semicorex SiC είναι οι "φορείς" της γκοφρέτας, που μεταφέρουν τις γκοφρέτες σε φούρνους θερμότερους από 1000 βαθμούς Κελσίου. Αυτό είναι το βασικό τους πλεονέκτημα: υψηλή καθαρότητα, σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία, διατήρηση της μηχανικής ακαμψίας κατά τη μεταφορά του δείγματος σε ακραία περιβάλλοντα. Υλικά υψηλής καθαρότητας είναι αποτελεσματικά για να μην επιτρέψουν στις μεταλλικές ακαθαρσίες να μολύνουν τη γκοφρέτα. το ίδιο συμβαίνει και με τη σταθερότητα της υψηλής θερμοκρασίαςκαρβίδιο του πυριτίου, καθώς θα διατηρήσει τη χημική σταθερότητα σε θερμοκρασίες επεξεργασίας που αποκλείουν την εξάτμιση των μεταλλικών ακαθαρσιών ή σωματιδίων από τη μόλυνση της γκοφρέτας, διασφαλίζοντας σταθερή απόδοση της γκοφρέτας. Εν τέλει,κουπιά προβόλουείναι επίσης συμβατά με ενσωματωμένα συστήματα μεταφοράς πλακιδίων, μειώνοντας περαιτέρω την εξάρτηση από τον άνθρωπο και αυξάνοντας την απόδοση.

Τα SiC Paddles είναι μοναδικά συστατικά του φορέα, ειδικά για τη μεταφορά και την ενσωμάτωση της γκοφρέτας ημιαγωγών σε ένα φόρτο εργασίας παρτίδας σε διαδικασίες όπως η οξείδωση και η διάχυση σε υψηλή θερμοκρασία, μεταξύ άλλων. Κατασκευασμένο με υψηλή καθαρότητακαρβίδιο του πυριτίου (SiC), τα πτερύγια SiC παρέχουν τη θερμική σταθερότητα, τη μηχανική αντοχή και τη χημική αντοχή για να εξασφαλίσουν σταθερή μεταφορά σε θερμοκρασίες πάνω από 1000 °C. Τα SiC Paddles απαιτούνται για την επεξεργασία γκοφρέτας: θα διασφαλίσει ότι τα εύθραυστα υποστρώματα μπορούν να χειριστούν κατάλληλα, διατηρώντας παράλληλα την ακεραιότητα και τη συνοχή σε όλη τη διαδικασία οξείδωσης, διάχυσης και ανόπτησης.

Σχεδιασμένα για να είναι στιβαρά και αξιόπιστα, τα SiC Paddles είναι βραχίονας τύπου προβόλου που συγκρατούν βάρκες γκοφρέτας ή στοίβες γκοφρέτας. Το κουπί υποστηρίζει γκοφρέτες ενώ εισάγονται ή αφαιρούνται από το θάλαμο διεργασίας. Τα συμβατικά υλικά αποτυγχάνουν σε αυτές τις υψηλές θερμοκρασίες λόγω παραμόρφωσης, παραμόρφωσης ή χημικής υποβάθμισης. Η μηχανική σταθερότητα και η δομική ακεραιότητα του καρβιδίου του πυριτίου επιτρέπει στο κουπί να επιβιώνει σε πολλαπλούς θερμικούς κύκλους χωρίς απώλεια σχήματος ή λειτουργίας. Αυτή η ικανότητα είναι σημαντική για τη διατήρηση της ευθυγράμμισης του κλιβάνου, για τη διασφάλιση ότι οι γκοφρέτες δεν θα καταστραφούν κατά τη διάρκεια της διαδικασίας και για την ελαχιστοποίηση του δαπανηρού χρόνου διακοπής λειτουργίας.

Η θερμική σταθερότητα του SiC Paddles συμπληρώνεται από την εξαιρετική χημική του αντοχή σε αντιδραστικά αέρια που συνήθως εμφανίζονται σε διαδικασίες οξείδωσης και διάχυσης (π.χ. οξυγόνο, χλώριο και άλλα επιθετικά είδη σε υψηλή θερμοκρασία). Πολλά υλικά θα καταστραφούν ή θα μολυνθούν όταν εκτεθούν τόσο σε υψηλή θερμοκρασία όσο και σε οξυγόνο. Το καρβίδιο του πυριτίου είναι χημικά αδρανές και η πυκνή μικροδομή του διασφαλίζει ότι δεν θα συμβούν χημικές αντιδράσεις, παρέχοντας ταυτόχρονα δομική ακεραιότητα του κουπιού και καθαρό περιβάλλον για τη γκοφρέτα. Ο κίνδυνος μόλυνσης που προκύπτει περιορίζεται στο ελάχιστο για τους κατασκευαστές ημιαγωγών που λειτουργούν σε ορισμένους από τους πιο προηγμένους κόμβους διεργασιών για τους οποίους ακόμη και ιχνοστοιχεία ρύπανσης μπορούν να προκαλέσουν σημαντικές αλλαγές στην απόδοση της συσκευής.

Η μηχανική ακεραιότητα που σχετίζεται με τα SiC Paddles παρέχει επίσης αξία στις διαδικασίες χειρισμού. Η δομική μορφή του προβόλου απαιτεί ένα υλικό που μπορεί να συγκρατήσει βάρη στοίβων στρώσεων και δεν κάμπτεται ή κρεμάει. Ο πολύ υψηλός συντελεστής και η πολύ υψηλή σκληρότητα του καρβιδίου του πυριτίου το καθιστούν σημαντικό για τη μηχανική δομική λειτουργία που απαιτείται. Το SiC Paddle διατηρεί τόσο την επιπεδότητα όσο και τη δομή ακόμη και με γκοφρέτες. Αυτό σημαίνει συνεχή έλεγχο του κλιβάνου και των συνθηκών του σε μεγάλες περιόδους παραγωγής.