Κεραμικό κουπί SiC

Το κεραμικό κουπί Semicorex SiC είναι ένα προηγμένο εξάρτημα που αναπτύχθηκε για εφαρμογές κλιβάνων ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας όπως οξείδωση και διάχυση. Το κουπί λειτουργεί ως στήριγμα προβόλου για να συγκρατεί και να μετακινεί τις γκοφρέτες σε υψηλές θερμοκρασίες. Το κεραμικό κουπί Semicorex SiC προσφέρει κεραμικά εξαρτήματα υψηλής καθαρότητας, υψηλής αντοχής σε διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας που απαιτούν αξιοπιστία, σταθερότητα και απαιτητικές επιδόσεις κατά τη διαδικασία παραγωγής.

Τα κουπιά παράγονται από υψηλής καθαρότηταςκαρβίδιο του πυριτίου (SiC), ειδικά σχεδιασμένο για να αντέχει στα σκληρά θερμικά και χημικά περιβάλλοντα μιας διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών. Όταν οι γκοφρέτες υποβάλλονται σε επεξεργασία μέσω οξείδωσης και διάχυσης, η γκοφρέτα εκτίθεται σε θερμοκρασίες μεγαλύτερες από 1000 βαθμούς Κελσίου, καθώς και σε αντιδραστικά αέρια όπως οξυγόνο, ατμός ή ατμόσφαιρες ρύπανσης. Σε αυτές τις θερμοκρασίες, η δομική ακεραιότητα θα εξαρτηθεί από την καθαρότητα του υλικού.

Ένα άλλο σημαντικό χαρακτηριστικό των κεραμικών κουπιών SiC είναι η εξαιρετική τους απόδοση σε υψηλές θερμοκρασίες. Λόγω του σημείου τήξης του SiC στους 2700+C, τα πτερύγια διατηρούν αντοχή και μηχανική σταθερότητα όταν εκτίθενται σε υψηλή θερμοκρασία

διαστάσεις με την πάροδο του χρόνου. Η θερμική ιδιότητα περιορίζει τη στρέβλωση και το ράγισμα του υλικού κατά τη διάρκεια επαναλαμβανόμενων κύκλων θέρμανσης και ψύξης ενώ παρέχει μεγάλη διάρκεια ζωής σε περιβάλλοντα παραγωγής.

Η επεξεργασία των ημιαγωγών απαιτεί ένα εξαιρετικά καθαρό περιβάλλον, καθώς ακόμη και ελάχιστες ποσότητες ακαθαρσιών μπορούν να επηρεάσουν την απόδοση και τη συμπεριφορά των συσκευών. Το υλικό SiC που χρησιμοποιείται στα κουπιά έχει μια επίστρωση SiC που εναποτίθεται με χημικούς ατμούς (CVD) που προάγει την εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα του υλικού ενώ ελαχιστοποιεί τη μεταλλική μόλυνση. Το κεραμικό κουπί SiC παραμένει καθαρό και σταθερό για όλη τη διάρκεια ζωής του. Ως στηρίγματα προβόλου, τα κουπιά πρέπει να παρέχουν μια ασφαλή στήριξη για τους φορείς πλακών ή τα σκάφη κατά την εισαγωγή και την αφαίρεση από τον κλίβανο. ΕξαιτίαςΟύτωΛόγω της εγγενούς αντοχής και ακαμψίας τους, διαθέτουν καλές φέρουσες ιδιότητες με ελάχιστη απόκλιση, κάτι που είναι απαραίτητο για τον σωστό χειρισμό και ευθυγράμμιση της γκοφρέτας. Σε κλιβάνους οξείδωσης και διάχυσης, οι διαβρωτικές ατμόσφαιρες μπορούν να επιτεθούν και να υποβαθμίσουν τα παραδοσιακά υλικά με την πάροδο του χρόνου, αλλά το SiC έχει την ικανότητα να διατηρεί τη χημική του σταθερότητα, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής του κουπιού. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα δραματικά μειωμένο κόστος συντήρησης και αντικατάστασης, καθώς τα πτερύγια δεν χρειάζεται να αντικαθίστανται ή να επισκευάζονται σχεδόν τόσο συχνά.

Εκτός από την απόδοση, υπάρχει ευελιξία στην προσαρμογή των κουπιών για συγκεκριμένο εξοπλισμό και διαδικασίες. Οι διαστάσεις, οι ανοχές και το φινίρισμα της επιφάνειας μπορούν να γίνουν ευέλικτα για να εξασφαλιστεί η προσαρμογή μεταξύ των σχεδίων του κλιβάνου και οποιουδήποτε άλλου συστήματος χειρισμού πλακιδίων. Η ικανότητα επίτευξης υψηλών βαθμών ακρίβειας διαστάσεων με μηχανική κατεργασία ακριβείας του κεραμικού θα επιτρέψει επίσης την παραγωγή κουπιών για να ανταποκρίνονται σε πολύπλοκες γεωμετρίες. Όλη αυτή η σειρά χαρακτηριστικών προορίζεται να παρέχει απρόσκοπτη λειτουργία και εύκολη ενσωμάτωση στις υπάρχουσες γραμμές παραγωγής.

Κεραμικό ΟύτωΤα κουπιά, με τον συνδυασμό υψηλής καθαρότητας, θερμικής σταθερότητας, μηχανικής αντοχής και χημικής αντοχής, είναι απαραίτητα υλικά στις διαδικασίες οξείδωσης και διάχυσης ημιαγωγών. Παρέχοντας μια σταθερή, καθαρή πλατφόρμα για τη μεταφορά γκοφρέτας, συμβάλλουν άμεσα στη βελτιωμένη απόδοση, τη συνοχή της διαδικασίας και τη συνολική απόδοση κατασκευής.