Δάχτυλα

Τα δάχτυλα Semicorex SIC είναι εξειδικευμένα μέρη των οποίων οι κύριες εφαρμογές βρίσκονται σε εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών, ειδικά σε συστήματα χειρισμού και υποστήριξης πλακιδίων. Η κύρια λειτουργία τους είναι να υποστηρίζουν ή να κρατούν τα δισκογραφικά δίσκους κατά τη διάρκεια διεργασιών όπως η επιταξία, η εμφύτευση ιόντων ή η θερμική επεξεργασία, στην οποία η σταθερότητα ή η καθαριότητα των διαστάσεων, μαζί με την αξιοπιστία, είναι κρίσιμη. Το καρβίδιο του πυριτίου συνδυάζει τη μηχανική αντοχή με εξαιρετική θερμική και χημική αντίσταση και αυτά τα χαρακτηριστικά είναι απαραίτητα σε προχωρημένες γραμμές κατασκευής ημιαγωγών, έτσι τα δάχτυλα SIC είναι απαραίτητα σε τέτοιες εφαρμογές.

Το χαρακτηριστικό πώλησης τουκαρβίδιο πυριτίουΩς υλικό είναι η ικανότητα να αντέχει εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες λειτουργίας χωρίς να χάσει τη μηχανική του ακεραιότητα. Σε διεργασίες ημιαγωγών, όπως η επιταξιακή ανάπτυξη, τα πλακίδια βιώνουν αυξημένες θερμοκρασίες ξαφνικά και σε εκτεταμένες περιόδους. Τα δάχτυλα SIC που κάποτε εμπλέκονται θα διατηρήσουν την ευθυγράμμιση και τη δύναμή τους σε όλους τους κύκλους υψηλής θερμοκρασίας, ώστε οι πλακές να παραμείνουν στη θέση τους, ελαχιστοποιώντας την κίνηση για να αποφευχθεί η παραμόρφωση ή η κακή ευθυγράμμιση για να διατηρηθεί η επαρκής ομοιομορφία της διαδικασίας για να επιτευχθεί αποδεκτή απόδοση συσκευών. Τα δάχτυλα SIC παρέχουν πολύ μεγαλύτερη εξυπηρέτηση από τα τυπικά κεραμικά ή μεταλλικά στηρίγματα, ενώ είναι πολύ πιο συνεπείς σε φορτία υψηλής θερμοκρασίας.

Ένα βασικό πλεονέκτημα των δακτύλων SIC είναι η ανώτερη χημική τους αντίσταση. Όλες οι εφαρμογές ημιαγωγών περιλαμβάνουν αντιδραστικά αέρια, έκθεση σε πλάσματα και έκθεση σε διαβρωτικές χημικές ουσίες. Το διάσημο ή φθορεμένο υλικό ανταποκρίνεται με απελευθέρωση σωματιδίων ή ρύπων που μπορούν να υποβαθμίσουν την ποιότητα των πλακιδίων.Καρβίδιο πυριτίουέχει μια χημικά αδρανή επιφάνεια που δεν θα προσκολλάται ή θα αντιδράσει σε επιθετικά χημικά, παράγοντας ένα καθαρό περιβάλλον διεργασίας και μειωμένο κίνδυνο μόλυνσης. Αυτό προσθέτει στην ανθεκτικότητα του εργαλείου χειρισμού των πλακιδίων, συμβάλλοντας άμεσα σε σταθερά και επαναλαμβανόμενα αποτελέσματα διεργασιών που είναι κρίσιμα για την παραγωγή συσκευών ημιαγωγών με υψηλή απόδοση.

Η ακρίβεια είναι μια άλλη βασική σκέψη στο σχεδιασμό του δακτύλου SIC. Ο χειρισμός των πλακιδίων συνεπάγεται εξαρτήματα με εξαιρετικά στενές ανοχές, τα μικρομέτρια μπορούν να προκαλέσουν κακή ευθυγράμμιση των πλακιδίων, να αυξήσουν τις δυνατότητες για το σπάσιμο του δισκίου ή να προκαλέσουν ασυνέπειες στις διαδικασίες. Χρησιμοποιώντας τις τελευταίες τεχνολογίες κατεργασίας και στίλβωσης, τα δάχτυλα SIC μπορούν να παραχθούν με τις υψηλότερες διαστασιολογικές ανοχές και την επιφανειακή επιφάνεια και το ομαλό φινίρισμα. Αυτό εγγυάται μια σταθερή, σχετικά αδράνεια ελεύθερη πλατφόρμα για την υποστήριξη των πλακιδίων με μειωμένη δυνατότητα σχηματισμού σωματιδίων και επαναλαμβανόμενη απόδοση εφαρμογών χειρισμού πλακιδίων σε αυτόματο εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών.

Εκτός από τα πλεονεκτήματα βασικού υλικού των δακτύλων SIC, μπορούν επίσης να γίνουν ειδικά για να ταιριάζουν σε κάθε εξοπλισμό ή απαίτηση διαδικασίας. Διαφορετικά μεγέθη πλακιδίων, διαφορετικά σχέδια αντιδραστήρων και διαφορετικός χειρισμός των χειριστών απαιτούν ειδικές παρασκευασμένες λύσεις. Τα δάχτυλα SIC μπορούν να γίνουν σε οποιαδήποτε γεωμετρία ή διάσταση και η επιφανειακή επεξεργασία μπορεί να εφαρμοστεί ως κατάλληλη για συγκεκριμένες εφαρμογές.

Τα δάχτυλα SIC μειώνουν επίσης το λειτουργικό κόστος, λόγω της μακράς χρήσιμης ζωής τους (μείωση της συχνότητας αντικατάστασης) και των μειωμένων χρόνων τους λόγω αποτυχίας ή μόλυνσης εναπόθεσης από θερμικό ή χημικό στρες. Με την ανθεκτικότητα και την αξιοπιστία για τους κατασκευαστές ημιαγωγών, η αξιοποίηση των δακτύλων SIC οδηγεί σε αυξημένο χρόνο λειτουργίας, χαμηλότερο αναλώσιμο κόστος και συνολική βελτιωμένη αποτελεσματικότητα της διαδικασίας.

Πρακτικά, τα δάχτυλα SIC χρησιμοποιούνται κυρίως σε αντιδραστήρες ανάπτυξης επιταξίας, καθώς παρέχουν σταθερή εκμετάλλευση με ακραίες θερμικές και χημικές διεργασίες. Χρησιμοποιούνται επίσης σε ιόν ιόν ή ανόπτηση υψηλής θερμοκρασίας όπου η μηχανική σταθερότητα, καθώς και η χημική αδράνεια είναι κρίσιμη. Σε όλες τις εφαρμογές, η συνεπής απόδοση κάνει επίσης τη χρήση τους στον χειρισμό των πλακιδίων που είναι κρίσιμος για την παροχή ομοιομορφίας της διαδικασίας, την ακεραιότητα και την ποιότητα των δισκίων.

Τα δάχτυλα Semicorex Sic, είναι ισχυρά παραδείγματα των πλεονεκτημάτων τουυλικό καρβιδίου πυριτίου Για υψηλή θερμοκρασία, χημικά ανθεκτικά, εξαρτήματα ημιαγωγού με ακρίβεια. Το υλικό περιβάλλον των δακτύλων SIC παρέχει σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας, εξαιρετική χημική αντοχή και την ικανότητα κατασκευής σε πρότυπα υψηλής ακρίβειας. Ένα ισχυρό και προσαρμόσιμο στοιχείο είναι κρίσιμο για την επίτευξη σταθερής παραγωγής και βελτιωμένη απόδοση και απόδοση κόστους για τους κατασκευαστές ημιαγωγών. Τα δάχτυλα SIC εξακολουθούν να είναι μια προηγμένη και αξιόπιστη λύση για τα FAB που επικεντρώνεται στη σταθερότητα της διαδικασίας και τη διασφάλιση της ποιότητας.