Βραχίονα

Το Semicorex SIC ARM είναι μια εξειδικευμένη συσκευή που αναπτύχθηκε για να χειριστεί τα πλακίδια με μέγιστη αξιοπιστία και ακρίβεια. Οι βραχίονες μεταφοράς πλακιδίων, όπως ο βραχίονας SIC, εμφανίζονται σε προχωρημένους εξοπλισμούς ημιαγωγών, όπως οι επιταξιακοί αντιδραστήρες, τα συστήματα εμφύτευσης ιόντων, η θερμική επεξεργασία κλπ. Οι βραχίονες μεταφοράς πλακιδίων είναι αναπόσπαστα προς την ακριβή κίνηση των πλακιδίων μέσα σε σύνθετα περιβάλλοντα χειρισμού για να εξασφαλιστούν ασφαλείς και ακριβείς μεταφορές που επεξεργάζονται οι μεταφορές. Κατασκευάστηκε με υψηλή καθαρότητακαρβίδιο πυριτίουσε συνδυασμό με τις ιδιότητες πρώτης ύλης του 

Εξαιρετική θερμική και χημική σταθερότητα, και εξαιρετικός έλεγχος μηχανικής κατεργασίας, καθιστά το βραχίονα SIC μια αξιόπιστη λύση για τη μελλοντική παραγωγή ημιαγωγών.

Το SIC ARM έχει την εξαιρετική του απόδοση σε ακραία θερμικά περιβάλλοντα. Στην επιταξιακή ανάπτυξη καθώς και σε άλλες διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας, τα εξαρτήματα χειρισμού των πλακιδίων μπορούν να υποβληθούν σε παρατεταμένη θερμότητα που επιδεινώνει εύκολα τα χαρακτηριστικά ενός συμβατικού υλικού. Το καρβίδιο του πυριτίου διατηρεί τόσο την αντοχή όσο και την ακρίβεια των διαστάσεων (πεπερασμένες διαστασιολογικές ανοχές) σε υψηλές θερμοκρασίες, γεγονός που εξασφαλίζει ότι οι πλακέτες μπορούν να παραμείνουν με ακρίβεια κατά τη μεταφορά ή επεξεργασία και ουσιαστικά εξαλείφουν την κακή ευθυγράμμιση των πλακιδίων, την περιποίηση ή τη μόλυνση. Το κεραμικό με την εξαιρετική απόδοση ενός προϊόντος SIC. Όπως ο βραχίονας SIC δεν οξειδώνει, παραμορφώνεται σαν μέταλλο, ούτε έχει χαρακτηριστικά απόδοσης αποτυχίας όπως ένα κεραμικό, τα οποία είναι ρωγμές στρες.

Η χημική αντίσταση είναι μια άλλη καθοριστική ιδιότητα του βραχίονα SIC. Σε περιβάλλοντα ημιαγωγών, τα διαβρωτικά αέρια, οι αντιδραστικές χημικές ουσίες και η έκθεση στο πλάσμα είναι κοινά. Ένας βραχίονας χειρισμού που επιδεινώνεται υπό τέτοιες συνθήκες όχι μόνο κινδυνεύει μηχανική αποτυχία αλλά και μόλυνση των πλακών.Καρβίδιο πυριτίουΠαρέχει μια χημικά αδρανή επιφάνεια που αντέχει σε αυτές τις επιθετικές συνθήκες. Το αποτέλεσμα είναι ένα εξαιρετικά αξιόπιστο στοιχείο που διατηρεί την ακεραιότητα και την καθαριότητα της επιφάνειας, τη διασφάλιση των πλακών από ακαθαρσίες που θα μπορούσαν να θέσουν σε κίνδυνο την απόδοση της συσκευής. Αυτή η ανθεκτικότητα μειώνει σημαντικά τον χρόνο διακοπής του εξοπλισμού, μειώνει τη συχνότητα αντικατάστασης και ενισχύει τη συνοχή της διαδικασίας.

Πέρα από την υλική ανθεκτικότητα του, το SIC ARM συναντά επίσης υψηλό βαθμό ακρίβειας κατεργασίας. Ο χειρισμός των πλακιδίων απαιτεί ακρίβεια στο μικρόμετρο. Οι ανοχές που είναι ακόμη ελαφρώς εκτός προδιαγραφών μπορούν να προκαλέσουν αλλαγές στη γεωμετρία ή το φινίρισμα της επιφάνειας που μπορούν να προκαλέσουν υψηλότερους κινδύνους στη θραύση των πλακιδίων ή την κακή ευθυγράμμιση των δισκίων. Χρησιμοποιώντας σύγχρονες τεχνολογίες παραγωγής, τα όπλα SIC παράγονται με κατάλληλες ανοχές, επιπεδότητα και ομαλές επιφάνειες. Η ύπαρξη εφαρμογών υψηλής ακρίβειας είναι ιδανική για τη διασφάλιση συνεπής τοποθέτηση των πλακών και την επαναλαμβανόμενη απόδοση κατά τη διάρκεια χιλιάδων κύκλων χειρισμού, η οποία είναι ιδανική για παραγωγή ημιαγωγών μεγάλου όγκου που απαιτεί προδιαγραφές.

Η ευελιξία είναι ένα άλλο πλεονέκτημα των βραχιόνων SIC. Διαφορετικά εργαλεία και διαδικασίες ημιαγωγών απαιτούν βραχίονα διαφορετικών γεωμετριών, μεγεθών και σχεδίων. Δεδομένου ότι οι βραχίονες SIC μπορούν να τροποποιηθούν για να ενσωματώσουν αυτά τα συγκεκριμένα χαρακτηριστικά σχεδιασμού, μπορούν εύκολα να χωρέσουν σε ένα ευρύ φάσμα συστημάτων, είτε πρόκειται για εργαλείο επιταξίας, ένα κομμάτι εξοπλισμού εμφύτευσης ιόντων είτε για θερμικό αντιδραστήρα επεξεργασίας. Τα επιφανειακά φινιρίσματα, τα δομικά σχέδια και τα τελειώματα μπορούν επίσης να τροποποιηθούν και να κατασκευαστούν για να παρέχουν την καλύτερη απόδοση σε σχέση με τη συγκεκριμένη εφαρμογή.

Το SIC ARMS έχει επίσης επιχειρησιακή αποτελεσματικότητα. Η υψηλή ανθεκτικότητα και η αξιοπιστία του SIC οι μέσες αντικατάστασης είναι σπάνιες και ελαχιστοποιούνται οι χρόνοι διακοπής. και τα δύο δίνουν χαμηλότερα δαπάνες μακροπρόθεσμης συντήρησης. Για την παραγωγή Semiconductor Fabs αυτό σημαίνει να πραγματοποιηθεί καλύτερη απόδοση, η πιθανότητα μεγαλύτερης σταθερότητας στην παραγωγή και οι υψηλότερες αποδόσεις των συσκευών.

Οι βραχίονες SIC έχουν παρατηρήσει ευρεία χρήση από την εισαγωγή τους στην κοινότητα ημιαγωγών ειδικά σε συστήματα μεταφοράς πλακιδίων όπου πρέπει να αντέχουν τόσο στις μηχανικές καταπονήσεις όσο και στις πολύ αυστηρές συνθήκες επεξεργασίας. Είτε μετακινούνται με πλακίδια σε αντιδραστήρες επιταξίας, κρατώντας τους στη θέση τους κατά τη διάρκεια της εμφύτευσης ιόντων ή τη μεταφορά τους μέσω περιβάλλοντος αερίου ή θερμικής επεξεργασίας, ο βραχίονας SIC παρέχει ασφαλή, ακριβή και χωρίς μόλυνση χειρισμό πλακιδίων. Η αξιοπιστία είναι εμφανής μέσω της εισαγωγής των βραχιόνων SIC στο σύγχρονο χαρτοφυλάκιο εξοπλισμού ημιαγωγών.

Το Semicorex SIC ARM είναι ένας επιτυχημένος συνδυασμός των επιθυμητών ιδιοτήτων του Advancedυλικό καρβιδίου πυριτίου, Μηχανική ακριβείας και σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας. Ο συνδυασμός της χημικής σταθερότητας, της ικανότητας να επεξεργαστεί και η κατασκευή ακριβείας καθιστά τον βραχίονα SIC κατάλληλο για την παροχή αξιόπιστου χειρισμού πλακιδίων στις πιο δύσκολες διεργασίες ημιαγωγών. Ο βραχίονας SIC είναι προσαρμόσιμος και ανθεκτικός για αναλώσιμα οφέλη από τους τελικούς χρήστες για τον χειρισμό των πλακιδίων βοηθώντας και προσφέρει οφέλη σε μακροπρόθεσμες λειτουργικές επιδόσεις σε σχέση με την αποτελεσματικότητα, την απόδοση και τη σταθερότητα της διαδικασίας. Οι κατασκευαστές που αναζητούν σύγχρονα και πρωτοποριακά συστήματα χειρισμού πλακιδίων ή ακόμη και από λύσεις χειρισμού πλακιδίων κιβωτίων αναζητούν και βασίζονται στον βραχίονα SIC ως αποδεδειγμένο σύστημα μεταφοράς και διαχείρισης πλακιδίων για τις προχωρημένες απαιτήσεις της βιομηχανίας ημιαγωγών.