Αλουμίνα κεραμικό βραχίονα

Το κεραμικό βραχίονα Semicorex Alumina είναι ένα μηχανικό στοιχείο που αναπτύσσεται στις υψηλότερες προδιαγραφές για εφαρμογές ημιαγωγών. Κατασκευασμένο από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας (al₂o₃), είναι ένας ρομποτικός βραχίονας που διαθέτει έναν μοναδικό συνδυασμό μηχανικής αντοχής, θερμικής σταθερότητας και χημικής αντοχής. Ο βραχίονας δεν έχει σχεδιαστεί μόνο για να χρησιμοποιείται μόνο για χειρισμό πλακιδίων, αλλά πρέπει επίσης να παρέχει υποστήριξη διαδικασιών σε προχωρημένες τοποθεσίες κατασκευής. Πρέπει επίσης να διασφαλίσει ότι μεταφέρονται, τοποθετούνται και υποβάλλονται σε επεξεργασία των πλακών χωρίς μόλυνση ή βλάβη. Βελτίωση των αποδόσεων και αξιοπιστίας της διαδικασίας.

Αλουμίναείναι ένα από τα τεχνικά κεραμικά που βρίσκει την ευρύτερη χρήση στον τεχνικό κεραμικό τομέα. Η αλουμίνα είναι γνωστή για τη σκληρότητα, την αντίσταση στη φθορά και τη σταθερότητα σε επιθετικά περιβάλλοντα. Για τους στόχους του κεραμικού βραχίονα για τη διαχείριση του χειρισμού των πλακιδίων χωρίς να εισαγάγει μόλυνση, μπορεί να εκμεταλλευτεί τις ιδιότητες της αλουμίνας και να προσφέρει ένα πολύ υψηλότερο επίπεδο αντίστασης στην τριβή ως συνέπεια του μεγέθους της υψηλής καθαρότητας και των σωματιδίων. Ως εκ τούτου, δεν θα παράγει υπερβολικά σωματίδια κατά τη διάρκεια των επαναλαμβανόμενων κινήσεων του, είτε με γκοφρέτες είτε με υποστρώματα ημιαγωγών οποιουδήποτε άλλου είδους.  Η πυκνότητα και το χαμηλό πορώδες που φιλοξενεί επίσης περαιτέρω περιορίζουν το δυναμικό των σωματιδίων που σπάζουν ελεύθερα και εξασφαλίζει ότι πληροί τις εξαιρετικά καθαρές απαιτήσεις της ανάπτυξης ημιαγωγών FAB χωρίς να μειώσει την καθαριότητα που απαιτείται για τη διαχείριση των συσκευών υπομικρονίου.

Αλουμίναδιαθέτει εξαιρετική θερμική σταθερότητα εκτός από τη μηχανική της αντοχή. Ο κεραμικός βραχίονας αλουμίνας μπορεί να υπομείνει ακραίες θερμοκρασίες της διαδικασίας χωρίς να στρεβλώνει, να σπάει ή να χάσει δύναμη. Αυτή η ιδιότητα καθιστά ιδανική για ενσωμάτωση σε οποιοδήποτε βήμα διαδικασίας που περιλαμβάνει έκθεση σε αυξημένες θερμοκρασίες, όπως διάχυση, οξείδωση ή βήματα ανόπτησης. Τα πλακίδια θα έχουν βελτιωμένη αξιοπιστία για μεταφορά σε ένα προκλητικό περιβάλλον διεργασίας, καθώς διατηρεί τη μηχανική ακεραιότητα υπό θερμικό κύκλο.

Η χημική αντίσταση είναι ένα άλλο θεμελιώδες θετικό του κεραμικού βραχίονα αλουμίνας. Στην κατασκευή ημιαγωγών, οι θεραπείες εκτελούνται συχνά σε γκοφρέτες που περιλαμβάνουν ισχυρά οξέα, αλκάλια και άλλες επιθετικές χημικές ουσίες. Ενώ τα μεταλλικά συστατικά μπορούν να διαβρωθούν ή να εκπλύνουν τις ακαθαρσίες, η αλουμίνα είναι χημικά αδρανή, γεγονός που προστατεύει την ακεραιότητα τόσο του βραχίονα όσο και των γκοφρέσων που χειρίζεται. Επομένως, η αδράνεια παρατείνει τη διάρκεια ζωής του συστατικού μειώνοντας παράλληλα τη δυνατότητα μόλυνσης κατά τη διάρκεια κρίσιμων βημάτων της διαδικασίας, όπως ο υγρός καθαρισμός ή η εναπόθεση χημικών ατμών.

Ο κεραμικός βραχίονας αλουμίνας έχει σχεδιαστεί με έμφαση στη συμβατότητα και την ακρίβεια. Κάθε βραχίονα γίνεται σε αυστηρές ανοχές διαστάσεων, εξασφαλίζοντας την ακριβή ευθυγράμμιση και κίνηση και τη συμβατότητα με αυτοματοποιημένο εξοπλισμό χειρισμού πλακιδίων και ρομποτικά συστήματα. Το ομαλό, γυαλισμένο επιφανειακό φινίρισμα διαθέτει μια διασύνδεση χαμηλής τριβής με το δίσκο που μειώνει την πιθανότητα να ξύσει το δίσκο, το οποίο είναι απαραίτητο για την ακεραιότητα/περιβαλλοντική καθαριότητα και τη μείωση του ποσοστού ελαττωμάτων. Αυτές οι μηχανικές ανοχές εξασφαλίζουν ότι ο βραχίονας λειτουργεί ελεύθερα σε ένα γρήγορο περιβάλλον υψηλής απόδοσης και επιτρέπει τόσο σε ανθρώπινες όσο και σε πλήρως αυτοματοποιημένες ροές εργασίας ημιαγωγών για το χέρι.

Ο κεραμικός βραχίονας της αλουμίνας φτάνει πέρα ​​από την απλή χημική και μηχανική απόδοση και επηρεάζει την αποτελεσματικότητα της λειτουργίας και την εξοικονόμηση κόστους σε πολλαπλά επίπεδα. Η αποδεδειγμένη ανθεκτική φύση του κεραμικού επιτρέπει στον βραχίονα να ξεπεράσει τα σύνθετα υλικά όπως τα πλαστικά ή το αλουμίνιο από την άποψη της μακροζωίας σχεδιασμού υπό επαναλαμβανόμενη μηχανική φόρτωση και συνεπώς μειώνει την ποσότητα λειτουργικού χρόνου διακοπής και/ή της εμπλεκόμενης αντικατάστασης. Η ικανότητα να αντέχει σε σκληρά περιβάλλοντα περιλαμβάνει περιβαλλοντική καθαριότητα, ενώ παράλληλα παράγει λιγότερες διακοπές παραγωγής που οδηγούν σε βελτιωμένη σταθερή παραγωγή πλακιδίων, δηλαδή απόδοση και τελικά λιγότερα απορρίμματα που οδηγούν σε υψηλότερη απόδοση επένδυσης (απόδοση επένδυσης) για τους κατασκευαστές ημιαγωγών.

Τις επιλογές για τη χρήση τουΑλουμίνα κεραμικόΟι διαδικασίες ημιαγωγών είναι σχεδόν ατελείωτες - από τις μετακινήσεις με γκάζι μεταξύ υγρών παγκάδων, κλιβάνων διάχυσης και θαλάμων εναπόθεσης για επιθεώρηση και εργαλεία μετρολογίας που χρησιμοποιούν υποστρώματα. Η ευελιξία αυτού του προϊόντος όχι μόνο επιτρέπει να χρησιμοποιείται για εφαρμογές χειρισμού πλακιδίων, αλλά και περαιτέρω καταστάσεις αυτοματισμού όπου απαιτείται ακρίβεια, καθαριότητα και αξιοπιστία. Η βιομηχανία ημιαγωγών κινείται αναπόφευκτα προς τους μικρότερους κόμβους και την αυξημένη πολυπλοκότητα στην κατασκευή των συσκευών και καθώς η βιομηχανία συνεχίζει να απαιτεί καλύτερες λύσεις χειρισμού που είναι αξιόπιστες και μη μολυσμένες, ο κεραμικός ρομποτικός βραχίονας δημιουργεί ένα σαφές μονοπάτι προς τα εμπρός.