Το Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor for Wafer Epitaxial είναι η τέλεια επιλογή για εφαρμογές ανάπτυξης μονού κρυστάλλου, χάρη στην εξαιρετικά επίπεδη επιφάνεια και την υψηλής ποιότητας επίστρωση SiC. Το υψηλό σημείο τήξεως, η αντοχή στην οξείδωση και η αντοχή στη διάβρωση το καθιστούν ιδανική επιλογή για χρήση σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά.
Ψάχνετε για έναν υποδοχέα γραφίτη με εξαιρετική κατανομή θερμότητας και θερμική αγωγιμότητα; Μην ψάχνετε άλλο από το Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor για Wafer Epitaxial, επικαλυμμένο με SiC υψηλής καθαρότητας για ανώτερη απόδοση σε επιταξιακές διεργασίες και άλλες εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών.
Στη Semicorex, εστιάζουμε στην παροχή υψηλής ποιότητας, οικονομικά αποδοτικών προϊόντων στους πελάτες μας. Το SiC Coated Barrel Susceptor για Wafer Epitaxial έχει πλεονέκτημα τιμής και εξάγεται σε πολλές ευρωπαϊκές και αμερικανικές αγορές. Στόχος μας είναι να είμαστε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας, παρέχοντας προϊόντα σταθερής ποιότητας και εξαιρετική εξυπηρέτηση πελατών.
Παράμετροι επικαλυμμένου με SiC Barrel Susceptor για Wafer Epitaxial
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπυλική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά του SiC Coated Barrel Susceptor για Wafer Epitaxial
- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν καλή πυκνότητα και μπορούν να παίξουν καλό προστατευτικό ρόλο σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα εργασίας.
- Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων έχει πολύ υψηλή επιπεδότητα επιφάνειας.
- Μειώστε τη διαφορά στο συντελεστή θερμικής διαστολής μεταξύ του υποστρώματος γραφίτη και του στρώματος καρβιδίου του πυριτίου, βελτιώστε αποτελεσματικά την αντοχή συγκόλλησης για την αποφυγή ρωγμών και αποκόλλησης.
- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.
- Υψηλό σημείο τήξης, αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση.