Επικαλυμμένο με SiC Barrel Susceptor

Με το υψηλό σημείο τήξης, την αντοχή στην οξείδωση και την αντίσταση στη διάβρωση, το Semicorex-Coated SiC-Coated Barrel Susceptor είναι η τέλεια επιλογή για χρήση σε εφαρμογές ανάπτυξης μονού κρυστάλλου. Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετικές ιδιότητες επιπεδότητας και κατανομής θερμότητας, εξασφαλίζοντας αξιόπιστη και σταθερή απόδοση ακόμη και στα πιο απαιτητικά περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Το Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor είναι ένα προϊόν γραφίτη κορυφαίας ποιότητας επικαλυμμένο με SiC υψηλής καθαρότητας, σχεδιασμένο ειδικά για διεργασίες LPE και άλλες εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών. Η εξαιρετική του πυκνότητα και η θερμική αγωγιμότητα παρέχουν ανώτερη κατανομή θερμότητας και προστασία σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά.
Στη Semicorex, εστιάζουμε στην παροχή υψηλής ποιότητας, οικονομικής απόδοσης SiC-Coated Barrel Susceptor, δίνουμε προτεραιότητα στην ικανοποίηση των πελατών και παρέχουμε οικονομικά αποδοτικές λύσεις. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας, παρέχοντας προϊόντα υψηλής ποιότητας και εξαιρετική εξυπηρέτηση πελατών.

Παράμετροι επικάλυψης βαρελιού με επικάλυψη SiC

Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC
Ιδιότητες SiC-CVD
Κρυσταλλική Δομή	FCC β φάση
Πυκνότητα	g/cm ³	3.21
Σκληρότητα	Σκληρότητα Vickers	2500
Μέγεθος κόκκου	μm	2~10
Χημική Καθαρότητα	%	99.99995
Θερμοχωρητικότητα	J kg-1 K-1	640
Θερμοκρασία εξάχνωσης	℃	2700
Καμπυλική δύναμη	MPa (RT 4 σημείων)	415
Young's Modulus	Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃)	430
Θερμική Διαστολή (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Θερμική αγωγιμότητα	(W/mK)	300

Χαρακτηριστικά του SiC-Coated Barrel Susceptor

- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν καλή πυκνότητα και μπορούν να παίξουν καλό προστατευτικό ρόλο σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα εργασίας.

- Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων έχει πολύ υψηλή επιπεδότητα επιφάνειας.

- Μειώστε τη διαφορά στο συντελεστή θερμικής διαστολής μεταξύ του υποστρώματος γραφίτη και του στρώματος καρβιδίου του πυριτίου, βελτιώστε αποτελεσματικά την αντοχή συγκόλλησης για την αποφυγή ρωγμών και αποκόλλησης.

- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.

- Υψηλό σημείο τήξης, αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση.