Μονοκρυσταλλικός Επιταξιακός Υποδοχέας Πυριτίου

Το Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor είναι ένα προϊόν γραφίτη επικαλυμμένο με υψηλό καθαρό SiC, το οποίο έχει υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση. Ο φορέας με επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου CVD χρησιμοποιείται σε διαδικασίες που σχηματίζουν το επιταξιακό στρώμα σε γκοφρέτες ημιαγωγών, το οποίο έχει υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.
Το Μονοκρυσταλλικό μας Επιταξιακό Επιδέκτη πυριτίου έχει σχεδιαστεί για να επιτυγχάνει το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου, εξασφαλίζοντας ομοιόμορφο θερμικό προφίλ. Αυτό βοηθά στην αποφυγή τυχόν μόλυνσης ή διάχυσης ακαθαρσιών, διασφαλίζοντας υψηλής ποιότητας επιταξιακή ανάπτυξη στο τσιπ της γκοφρέτας.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα για το Μονοκρυσταλλικό Πυρίτιο Επιταξιακό Υποδοχέα μας.

Παράμετροι Επιταξιακού Υποδοχέα Μονοκρυσταλλικού Πυριτίου

Χαρακτηριστικά του Επιταξιακού Υποδοχέα Μονοκρυσταλλικού Πυριτίου

- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν καλή πυκνότητα και μπορούν να παίξουν καλό προστατευτικό ρόλο σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα εργασίας.
- Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων έχει πολύ υψηλή επιπεδότητα επιφάνειας.
- Μειώστε τη διαφορά στο συντελεστή θερμικής διαστολής μεταξύ του υποστρώματος γραφίτη και του στρώματος καρβιδίου του πυριτίου, βελτιώστε αποτελεσματικά την αντοχή συγκόλλησης για την αποφυγή ρωγμών και αποκόλλησης.
- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.
- Υψηλό σημείο τήξης, αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση.