Σύστημα επαγωγικής θέρμανσης βαρελιού Epi

Εάν χρειάζεστε έναν υποδοχέα γραφίτη με εξαιρετικές ιδιότητες θερμικής αγωγιμότητας και κατανομής θερμότητας, μην ψάξετε περισσότερο από το σύστημα επαγωγικής θέρμανσης βαρελιού Epi Semicorex. Η επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας του παρέχει ανώτερη προστασία σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά, καθιστώντας το την ιδανική επιλογή για χρήση σε εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Το Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System είναι η τέλεια επιλογή για εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών που απαιτούν εξαιρετική κατανομή θερμότητας και θερμική αγωγιμότητα. Η επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας και η ανώτερη πυκνότητά του παρέχουν ανώτερες ιδιότητες προστασίας και διανομής θερμότητας, διασφαλίζοντας αξιόπιστη και σταθερή απόδοση ακόμη και στα πιο δύσκολα περιβάλλοντα.
Στη Semicorex, εστιάζουμε στην παροχή υψηλής ποιότητας, οικονομικά αποδοτικών προϊόντων στους πελάτες μας. Το σύστημα επαγωγικής θέρμανσης βαρελιού Epi έχει πλεονέκτημα τιμής και εξάγεται σε πολλές ευρωπαϊκές και αμερικανικές αγορές. Στόχος μας είναι να είμαστε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας, παρέχοντας προϊόντα σταθερής ποιότητας και εξαιρετική εξυπηρέτηση πελατών.

Παράμετροι Επαγωγικά Θερμαινόμενου Συστήματος Epi Κάννης

Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC
Ιδιότητες SiC-CVD
Κρυσταλλική Δομή	FCC β φάση
Πυκνότητα	g/cm ³	3.21
Σκληρότητα	Σκληρότητα Vickers	2500
Μέγεθος κόκκου	μm	2~10
Χημική Καθαρότητα	%	99.99995
Θερμοχωρητικότητα	J kg-1 K-1	640
Θερμοκρασία εξάχνωσης	℃	2700
Καμπυλική δύναμη	MPa (RT 4 σημείων)	415
Young's Modulus	Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃)	430
Θερμική Διαστολή (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Θερμική αγωγιμότητα	(W/mK)	300

Χαρακτηριστικά του συστήματος επαγωγικής θέρμανσης βαρελιού Epi

- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν καλή πυκνότητα και μπορούν να παίξουν καλό προστατευτικό ρόλο σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα εργασίας.

- Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων έχει πολύ υψηλή επιπεδότητα επιφάνειας.

- Μειώστε τη διαφορά στο συντελεστή θερμικής διαστολής μεταξύ του υποστρώματος γραφίτη και του στρώματος καρβιδίου του πυριτίου, βελτιώστε αποτελεσματικά την αντοχή συγκόλλησης για την αποφυγή ρωγμών και αποκόλλησης.

- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.

- Υψηλό σημείο τήξης, αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση.