Όταν πρόκειται για την κατασκευή ημιαγωγών, το Semicorex High-Temperature SiC-Coated Barrel Susceptor είναι η κορυφαία επιλογή για ανώτερη απόδοση και αξιοπιστία. Η υψηλής ποιότητας επίστρωση SiC και η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα το καθιστούν ιδανικό για χρήση ακόμη και στα πιο απαιτητικά περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά.
Το Semicorex High-Temperature SiC-Coated Barrel Susceptor είναι η τέλεια επιλογή για ανάπτυξη μονοκρυστάλλων και άλλες εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών που απαιτούν υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση. Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει ανώτερες ιδιότητες προστασίας και κατανομής θερμότητας, εξασφαλίζοντας αξιόπιστη και σταθερή απόδοση ακόμη και στα πιο δύσκολα περιβάλλοντα.
Στη Semicorex, επικεντρωνόμαστε στην παροχή υψηλής ποιότητας, οικονομικά αποδοτικής κάννης επικαλυμμένης με SiC υψηλής θερμοκρασίας, δίνουμε προτεραιότητα στην ικανοποίηση των πελατών και παρέχουμε οικονομικές λύσεις. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας, παρέχοντας προϊόντα υψηλής ποιότητας και εξαιρετική εξυπηρέτηση πελατών.
Παράμετροι βαρελιού επικαλυμμένου με SiC υψηλής θερμοκρασίας
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπυλική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά του βαρελιού επικαλυμμένου με SiC υψηλής θερμοκρασίας Susceptor
- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν καλή πυκνότητα και μπορούν να παίξουν καλό προστατευτικό ρόλο σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα εργασίας.
- Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων έχει πολύ υψηλή επιπεδότητα επιφάνειας.
- Μειώστε τη διαφορά στο συντελεστή θερμικής διαστολής μεταξύ του υποστρώματος γραφίτη και του στρώματος καρβιδίου του πυριτίου, βελτιώστε αποτελεσματικά την αντοχή συγκόλλησης για την αποφυγή ρωγμών και αποκόλλησης.
- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.
- Υψηλό σημείο τήξης, αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση.