Βαρέλι Susceptor για Επιταξία Υγρής Φάσης

Το Semicorex Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy είναι η καλύτερη επιλογή για εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών που απαιτούν υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση. Η επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας και η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα παρέχουν ανώτερες ιδιότητες προστασίας και διανομής θερμότητας, διασφαλίζοντας αξιόπιστη και σταθερή απόδοση ακόμη και στα πιο δύσκολα περιβάλλοντα.

Το βαρέλι Susceptor μας για Επιτάξιο Υγρής Φάσης έχει σχεδιαστεί για να επιτυγχάνει το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου, διασφαλίζοντας ομοιόμορφο θερμικό προφίλ. Αυτό βοηθά στην αποφυγή τυχόν μόλυνσης ή διάχυσης ακαθαρσιών, διασφαλίζοντας υψηλής ποιότητας επιταξιακή ανάπτυξη στο τσιπ της γκοφρέτας.

Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με το Barrel Susceptor μας για Επιταξία Υγρής Φάσης.

Παράμετροι βαρελίσκου για επιταξία υγρής φάσης

Χαρακτηριστικά του Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy

- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν καλή πυκνότητα και μπορούν να παίξουν καλό προστατευτικό ρόλο σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα εργασίας.

- Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων έχει πολύ υψηλή επιπεδότητα επιφάνειας.

- Μειώστε τη διαφορά στο συντελεστή θερμικής διαστολής μεταξύ του υποστρώματος γραφίτη και του στρώματος καρβιδίου του πυριτίου, βελτιώστε αποτελεσματικά την αντοχή συγκόλλησης για την αποφυγή ρωγμών και αποκόλλησης.

- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.

- Υψηλό σημείο τήξης, αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση.