Πλάκα δέκτη

Το Semicorex Susceptor Plate είναι ένα κρίσιμο συστατικό στη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης, ειδικά σχεδιασμένο για να μεταφέρει γκοφρέτες ημιαγωγών κατά την εναπόθεση λεπτών υμενίων ή στρωμάτων. Στο πλαίσιο της Εναπόθεσης Μεταλλικών-Οργανικών Χημικών Ατμών (MOCVD), αυτές οι πλάκες είναι ιδιαίτερα κατασκευασμένες από υλικά που αντέχουν σε υψηλές θερμοκρασίες και παρέχουν μια σταθερή επιφάνεια για την ανάπτυξη επιταξιακών στρωμάτων.

Το Susceptor Plate που χρησιμοποιείται σε αυτή τη διαδικασία είναι κατασκευασμένο από γραφίτη που είναι επικαλυμμένο με καρβίδιο του πυριτίου (SiC) μέσω μιας ίδιας της διαδικασίας MOCVD. Το καρβίδιο του πυριτίου προσφέρει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, μηχανική αντοχή και αντοχή στις χημικές αντιδράσεις, καθιστώντας το ιδανική επιλογή για τις απαιτητικές συνθήκες επιταξιακής ανάπτυξης.

Κατά τη διάρκεια του MOCVD, το Susceptor Plate διαδραματίζει κεντρικό ρόλο μεταφέροντας αποτελεσματικά θερμότητα στις γκοφρέτες ημιαγωγών. Η πλάκα απορροφά ενέργεια από το περιβάλλον περιβάλλον και την ακτινοβολεί προς τις γκοφρέτες, διευκολύνοντας την ελεγχόμενη εναπόθεση λεπτών μεμβρανών στις επιφάνειες της γκοφρέτας. Αυτός ο ακριβής έλεγχος θερμοκρασίας είναι απαραίτητος για την επίτευξη ομοιόμορφων και υψηλής ποιότητας επιταξιακών στρωμάτων, τα οποία είναι ζωτικής σημασίας για την παραγωγή προηγμένων συσκευών ημιαγωγών.

Το Susceptor Plate στις διεργασίες MOCVD, που αποτελείται από επικαλυμμένο με SiC γραφίτη, χρησιμεύει ως μια αξιόπιστη πλατφόρμα για την υποστήριξη γκοφρετών ημιαγωγών, τη διασφάλιση της βέλτιστης μεταφοράς θερμότητας και τη συμβολή στην επιτυχή επιταξιακή ανάπτυξη λεπτών υμενίων με επιθυμητά χαρακτηριστικά για εφαρμογές ημιαγωγών.