Υποδοχέας SiC Epi-Wafer

Η Semicorex παρέχει SiC Epi-Wafer Susceptor επικαλυμμένο από MOCVD που χρησιμοποιείται για την υποστήριξη γκοφρετών. Η κατασκευή γραφίτη με επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου (SiC) υψηλής καθαρότητας παρέχει ανώτερη αντίσταση στη θερμότητα, ακόμη και θερμική ομοιομορφία για σταθερό πάχος και αντοχή στο στρώμα epi και ανθεκτική χημική αντοχή. Η λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC παρέχει μια καθαρή, λεία επιφάνεια, ζωτικής σημασίας για το χειρισμό, καθώς οι παρθένες γκοφρέτες έρχονται σε επαφή με τον υποδοχέα σε πολλά σημεία σε ολόκληρη την περιοχή τους.
Το SiC Epi-Wafer Susceptor μας έχει σχεδιαστεί για να επιτυγχάνει το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροή αερίου, διασφαλίζοντας ομοιόμορφο θερμικό προφίλ. Αυτό βοηθά στην αποφυγή τυχόν μόλυνσης ή διάχυσης ακαθαρσιών, διασφαλίζοντας υψηλής ποιότητας επιταξιακή ανάπτυξη στο τσιπ της γκοφρέτας.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα για το SiC Epi-Wafer Susceptor.

Παράμετροι SiC Epi-Wafer Susceptor

Χαρακτηριστικά του SiC Epi-Wafer Susceptor

Γραφίτης με επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας
Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα & θερμική ομοιομορφία
Λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC για λεία επιφάνεια
Υψηλή αντοχή στον χημικό καθαρισμό
Το υλικό είναι σχεδιασμένο έτσι ώστε να μην εμφανίζονται ρωγμές και αποκόλληση.