Δίσκος δέκτη

Κατασκευασμένος από γραφίτη υψηλής καθαρότητας και επικαλυμμένος με ένα στρώμα καρβιδίου του πυριτίου (SiC) χρησιμοποιώντας την τεχνική MOCVD, ο δίσκος Semicorex Susceptor συνδυάζει εξαιρετικές θερμικές ιδιότητες με αξιοσημείωτη χημική σταθερότητα. Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου εξασφαλίζει εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικές συνθήκες, ζωτικής σημασίας για τη διατήρηση της ακεραιότητας του Susceptor Disc σε δύσκολα περιβάλλοντα.

Επιπλέον, η επίστρωση SiC στο Susceptor Disc ενισχύει τη θερμική αγωγιμότητά του, η οποία επιτρέπει τη γρήγορη και ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας που είναι κρίσιμη για τη σταθερή επιταξιακή ανάπτυξη. Απορροφά αποτελεσματικά και εκπέμπει θερμότητα, παρέχοντας μια σταθερή, ομοιόμορφη θερμοκρασία απαραίτητη για την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών. Αυτή η ομοιομορφία είναι ζωτικής σημασίας για την επίτευξη επιταξιακών στρωμάτων υψηλής ποιότητας, τα οποία είναι θεμελιώδη για τη λειτουργικότητα και την απόδοση των προηγμένων συσκευών ημιαγωγών.

Ο σχεδιασμός του Susceptor Disc αντιμετωπίζει επίσης την πρόκληση της θερμικής διαστολής. Ο ελάχιστος συντελεστής θερμικής διαστολής του εξασφαλίζει ισχυρή σύνδεση με τα επιταξιακά στρώματα, μειώνοντας τον κίνδυνο ρωγμών λόγω θερμικού κύκλου. Αυτό το χαρακτηριστικό, σε συνδυασμό με το υψηλό σημείο τήξης του Susceptor Disc και την εξαιρετική αντίσταση στην οξείδωση, επιτρέπει την αξιόπιστη λειτουργία υπό ακραίες συνθήκες.

Με αυτές τις προηγμένες ιδιότητες, ο δίσκος Susceptor όχι μόνο πληροί αλλά και υπερβαίνει τις αυστηρές απαιτήσεις των σύγχρονων εφαρμογών MOCVD, παρέχοντας μια αξιόπιστη λύση υψηλής απόδοσης που ενισχύει τη συνολική απόδοση και απόδοση της διαδικασίας επιταξιακής ανάπτυξης.