Η επίστρωση SiC είναι ένα λεπτό στρώμα πάνω στον υποδοχέα μέσω της διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Το υλικό καρβιδίου του πυριτίου παρέχει μια σειρά από πλεονεκτήματα σε σχέση με το πυρίτιο, συμπεριλαμβανομένου του 10x της ισχύος ηλεκτρικού πεδίου διάσπασης, του 3x του κενού ζώνης, που παρέχει στο υλικό υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά καθώς και θερμική αγωγιμότητα.
Η Semicorex παρέχει εξατομικευμένη υπηρεσία, σας βοηθά να καινοτομείτε με εξαρτήματα που διαρκούν περισσότερο, μειώνουν τους χρόνους κύκλου και βελτιώνουν τις αποδόσεις.
Η επίστρωση SiC έχει πολλά μοναδικά πλεονεκτήματα
Αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC μπορεί να αντέξει υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C χωρίς να υποστεί σημαντική θερμική υποβάθμιση.
Χημική αντίσταση: Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετική αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα χημικών ουσιών, συμπεριλαμβανομένων οξέων, αλκαλίων και οργανικών διαλυτών.
Αντίσταση στη φθορά: Η επίστρωση SiC παρέχει στο υλικό εξαιρετική αντοχή στη φθορά, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που περιλαμβάνουν υψηλή φθορά.
Θερμική αγωγιμότητα: Η επίστρωση CVD SiC παρέχει στο υλικό υψηλή θερμική αγωγιμότητα, καθιστώντας το κατάλληλο για χρήση σε εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας που απαιτούν αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας.
Υψηλή αντοχή και ακαμψία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου παρέχει στο υλικό υψηλή αντοχή και ακαμψία, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή μηχανική αντοχή.
Η επίστρωση SiC χρησιμοποιείται σε διάφορες εφαρμογές
Κατασκευή LED: Ο υποδοχέας με επικάλυψη CVD SiC χρησιμοποιείται στην κατασκευή επεξεργασμένων διαφόρων τύπων LED, συμπεριλαμβανομένων των μπλε και πράσινων LED, UV LED και LED βαθιάς UV, λόγω της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και της χημικής αντοχής.
Κινητή επικοινωνία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα κρίσιμο μέρος του HEMT για την ολοκλήρωση της επιταξιακής διαδικασίας GaN-on-SiC.
Επεξεργασία ημιαγωγών: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών για διάφορες εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας πλακιδίων και της επιταξιακής ανάπτυξης.
Στοιχεία γραφίτη επικαλυμμένα με SiC
Κατασκευασμένο από γραφίτη Silicon Carbide Coating (SiC), η επίστρωση εφαρμόζεται με μέθοδο CVD σε συγκεκριμένες ποιότητες γραφίτη υψηλής πυκνότητας, ώστε να μπορεί να λειτουργεί σε κλίβανο υψηλής θερμοκρασίας με πάνω από 3000 °C σε αδρανή ατμόσφαιρα, 2200 °C σε κενό .
Οι ειδικές ιδιότητες και η χαμηλή μάζα του υλικού επιτρέπουν γρήγορους ρυθμούς θέρμανσης, ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας και εξαιρετική ακρίβεια στον έλεγχο.
Στοιχεία υλικού Semicorex SiC Coating
Τυπικές ιδιότητες |
Μονάδες |
Αξίες |
Δομή |
|
FCC β φάση |
Προσανατολισμός |
Κλάσμα (%) |
111 προτιμώ |
Χύδην πυκνότητα |
g/cm³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμική διαστολή 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Συμπέρασμα Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα σύνθετο υλικό που συνδυάζει τις ιδιότητες ενός επιδεκτικού και καρβιδίου του πυριτίου. Αυτό το υλικό διαθέτει μοναδικές ιδιότητες, όπως υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και υψηλή αντοχή και ακαμψία. Αυτές οι ιδιότητες το καθιστούν ελκυστικό υλικό για διάφορες εφαρμογές σε υψηλές θερμοκρασίες, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας ημιαγωγών, της χημικής επεξεργασίας, της θερμικής επεξεργασίας, της κατασκευής ηλιακών κυττάρων και της κατασκευής LED.
Τα Semicorex SiC Coated Graphite Base Susceptors for MOCVD είναι φορείς ανώτερης ποιότητας που χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία ημιαγωγών. Το προϊόν μας είναι σχεδιασμένο με υψηλής ποιότητας καρβίδιο του πυριτίου που παρέχει εξαιρετική απόδοση και μακροχρόνια αντοχή. Αυτός ο φορέας είναι ιδανικός για χρήση στη διαδικασία ανάπτυξης ενός επιταξιακού στρώματος στο τσιπ γκοφρέτας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι αντιδραστήρες της Semicorex Susceptors for MOCVD Reactors είναι προϊόντα υψηλής ποιότητας που χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία ημιαγωγών για διάφορες εφαρμογές, όπως στρώματα καρβιδίου του πυριτίου και ημιαγωγοί επιταξίας. Το προϊόν μας διατίθεται σε σχήμα γραναζιού ή δακτυλίου και έχει σχεδιαστεί για να επιτυγχάνει αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία, καθιστώντας το σταθερό σε θερμοκρασίες έως και 1600°C.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΜπορείτε να είστε σίγουροι ότι θα αγοράσετε Silicon Epitaxy Susceptors από το εργοστάσιό μας. Το Silicon Epitaxy Susceptor της Semicorex είναι ένα προϊόν υψηλής ποιότητας, υψηλής καθαρότητας που χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών για επιταξιακή ανάπτυξη του τσιπ γκοφρέτας. Το προϊόν μας διαθέτει ανώτερη τεχνολογία επίστρωσης που διασφαλίζει ότι η επίστρωση υπάρχει σε όλες τις επιφάνειες, αποτρέποντας το ξεφλούδισμα. Το προϊόν είναι σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C, καθιστώντας το κατάλληλο για χρήση σε ακραία περιβάλλοντα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ Semicorex είναι κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής SiC Susceptor για MOCVD. Το προϊόν μας είναι ειδικά σχεδιασμένο για να καλύπτει τις ανάγκες της βιομηχανίας ημιαγωγών για την ανάπτυξη του επιταξιακού στρώματος στο τσιπ γκοφρέτας. Το προϊόν χρησιμοποιείται ως κεντρική πλάκα στο MOCVD, με γρανάζι ή σχέδιο σε σχήμα δακτυλίου. Έχει υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση, καθιστώντας το ιδανικό για χρήση σε ακραία περιβάλλοντα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ Semicorex είναι ένας αξιόπιστος προμηθευτής και κατασκευαστής υποδοχέα γραφίτη επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου για MOCVD. Το προϊόν μας είναι ειδικά σχεδιασμένο για να καλύπτει τις ανάγκες της βιομηχανίας ημιαγωγών για την ανάπτυξη του επιταξιακού στρώματος στο τσιπ γκοφρέτας. Το προϊόν χρησιμοποιείται ως κεντρική πλάκα στο MOCVD, με γρανάζι ή σχέδιο σε σχήμα δακτυλίου. Έχει υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση, καθιστώντας το ιδανικό για χρήση σε ακραία περιβάλλοντα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ Semicorex είναι ένας αξιόπιστος προμηθευτής και κατασκευαστής δορυφορικής πλατφόρμας γραφίτη MOCVD με επίστρωση SiC. Το προϊόν μας είναι ειδικά σχεδιασμένο για να καλύπτει τις ανάγκες της βιομηχανίας ημιαγωγών για την ανάπτυξη του επιταξιακού στρώματος στο τσιπ γκοφρέτας. Το προϊόν χρησιμοποιείται ως κεντρική πλάκα στο MOCVD, με γρανάζι ή σχέδιο σε σχήμα δακτυλίου. Έχει υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση, καθιστώντας το ιδανικό για χρήση σε ακραία περιβάλλοντα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης