Η επίστρωση SiC είναι ένα λεπτό στρώμα πάνω στον υποδοχέα μέσω της διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Το υλικό καρβιδίου του πυριτίου παρέχει μια σειρά από πλεονεκτήματα σε σχέση με το πυρίτιο, συμπεριλαμβανομένου του 10x της ισχύος ηλεκτρικού πεδίου διάσπασης, του 3x του κενού ζώνης, που παρέχει στο υλικό υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά καθώς και θερμική αγωγιμότητα.
Η Semicorex παρέχει εξατομικευμένη υπηρεσία, σας βοηθά να καινοτομείτε με εξαρτήματα που διαρκούν περισσότερο, μειώνουν τους χρόνους κύκλου και βελτιώνουν τις αποδόσεις.
Η επίστρωση SiC έχει πολλά μοναδικά πλεονεκτήματα
Αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC μπορεί να αντέξει υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C χωρίς να υποστεί σημαντική θερμική υποβάθμιση.
Χημική αντίσταση: Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετική αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα χημικών ουσιών, συμπεριλαμβανομένων οξέων, αλκαλίων και οργανικών διαλυτών.
Αντίσταση στη φθορά: Η επίστρωση SiC παρέχει στο υλικό εξαιρετική αντοχή στη φθορά, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που περιλαμβάνουν υψηλή φθορά.
Θερμική αγωγιμότητα: Η επίστρωση CVD SiC παρέχει στο υλικό υψηλή θερμική αγωγιμότητα, καθιστώντας το κατάλληλο για χρήση σε εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας που απαιτούν αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας.
Υψηλή αντοχή και ακαμψία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου παρέχει στο υλικό υψηλή αντοχή και ακαμψία, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή μηχανική αντοχή.
Η επίστρωση SiC χρησιμοποιείται σε διάφορες εφαρμογές
Κατασκευή LED: Ο υποδοχέας με επικάλυψη CVD SiC χρησιμοποιείται στην κατασκευή επεξεργασμένων διαφόρων τύπων LED, συμπεριλαμβανομένων των μπλε και πράσινων LED, UV LED και LED βαθιάς UV, λόγω της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και της χημικής αντοχής.
Κινητή επικοινωνία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα κρίσιμο μέρος του HEMT για την ολοκλήρωση της επιταξιακής διαδικασίας GaN-on-SiC.
Επεξεργασία ημιαγωγών: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών για διάφορες εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας πλακιδίων και της επιταξιακής ανάπτυξης.
Στοιχεία γραφίτη επικαλυμμένα με SiC
Κατασκευασμένο από γραφίτη Silicon Carbide Coating (SiC), η επίστρωση εφαρμόζεται με μέθοδο CVD σε συγκεκριμένες ποιότητες γραφίτη υψηλής πυκνότητας, ώστε να μπορεί να λειτουργεί σε κλίβανο υψηλής θερμοκρασίας με πάνω από 3000 °C σε αδρανή ατμόσφαιρα, 2200 °C σε κενό .
Οι ειδικές ιδιότητες και η χαμηλή μάζα του υλικού επιτρέπουν γρήγορους ρυθμούς θέρμανσης, ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας και εξαιρετική ακρίβεια στον έλεγχο.
Στοιχεία υλικού Semicorex SiC Coating
Τυπικές ιδιότητες |
Μονάδες |
Αξίες |
Δομή |
|
FCC β φάση |
Προσανατολισμός |
Κλάσμα (%) |
111 προτιμώ |
Χύδην πυκνότητα |
g/cm³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμική διαστολή 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Συμπέρασμα Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα σύνθετο υλικό που συνδυάζει τις ιδιότητες ενός επιδεκτικού και καρβιδίου του πυριτίου. Αυτό το υλικό διαθέτει μοναδικές ιδιότητες, όπως υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και υψηλή αντοχή και ακαμψία. Αυτές οι ιδιότητες το καθιστούν ελκυστικό υλικό για διάφορες εφαρμογές σε υψηλές θερμοκρασίες, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας ημιαγωγών, της χημικής επεξεργασίας, της θερμικής επεξεργασίας, της κατασκευής ηλιακών κυττάρων και της κατασκευής LED.
Το RTP Graphite Carrier Plate της Semicorex είναι η τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας πλακιδίων ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένης της επιταξιακής ανάπτυξης και της επεξεργασίας χειρισμού πλακιδίων. Το προϊόν μας έχει σχεδιαστεί για να προσφέρει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, διασφαλίζοντας ότι οι επιτάχιοι υποδοχείς υπόκεινται στο περιβάλλον εναπόθεσης, με υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex RTP SiC Coating Carrier προσφέρει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, καθιστώντας το την τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας γκοφρετών ημιαγωγών. Με τον υψηλής ποιότητας γραφίτη με επίστρωση SiC, αυτό το προϊόν έχει σχεδιαστεί για να αντέχει στο πιο σκληρό περιβάλλον εναπόθεσης για επιταξιακή ανάπτυξη. Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα και οι εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας εξασφαλίζουν αξιόπιστη απόδοση για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier έχει σχεδιαστεί για να αντέχει στις πιο δύσκολες συνθήκες του περιβάλλοντος εναπόθεσης. Με την υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση, αυτό το προϊόν έχει σχεδιαστεί για να παρέχει βέλτιστη απόδοση για επιταξιακή ανάπτυξη. Ο φορέας με επίστρωση SiC έχει υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας, εξασφαλίζοντας αξιόπιστη απόδοση για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate for MOCVD προσφέρει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, καθιστώντας το την τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας γκοφρετών ημιαγωγών. Με γραφίτη υψηλής ποιότητας επικαλυμμένο με SiC, αυτό το προϊόν έχει σχεδιαστεί για να αντέχει στο πιο σκληρό περιβάλλον εναπόθεσης για επιταξιακή ανάπτυξη. Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα και οι εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας εξασφαλίζουν αξιόπιστη απόδοση για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex SiC Coated RTP Carrier Plate for Epitaxial Growth είναι η τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας γκοφρετών ημιαγωγών. Με τους υψηλής ποιότητας υποδοχείς άνθρακα γραφίτη και τα χωνευτήρια χαλαζία που επεξεργάζονται με MOCVD στην επιφάνεια γραφίτη, κεραμικών κ.λπ., αυτό το προϊόν είναι ιδανικό για χειρισμό γκοφρέτας και επεξεργασία επιταξιακής ανάπτυξης. Ο φορέας με επίστρωση SiC εξασφαλίζει υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας, καθιστώντας τον μια αξιόπιστη επιλογή για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ Semicorex είναι ένας μεγάλης κλίμακας κατασκευαστής και προμηθευτής γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου στην Κίνα. Υποδοχέας γραφίτη Semicorex κατασκευασμένος ειδικά για εξοπλισμό επιταξίας με υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση στην Κίνα. Το RTP RTA SiC Coated Carrier μας έχει ένα καλό πλεονέκτημα τιμής και καλύπτει πολλές από τις ευρωπαϊκές και αμερικανικές αγορές. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροχρόνιος συνεργάτης σας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης