Η επίστρωση SiC είναι ένα λεπτό στρώμα πάνω στον υποδοχέα μέσω της διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Το υλικό καρβιδίου του πυριτίου παρέχει μια σειρά από πλεονεκτήματα σε σχέση με το πυρίτιο, συμπεριλαμβανομένου του 10x της ισχύος ηλεκτρικού πεδίου διάσπασης, του 3x του κενού ζώνης, που παρέχει στο υλικό υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά καθώς και θερμική αγωγιμότητα.
Η Semicorex παρέχει εξατομικευμένη υπηρεσία, σας βοηθά να καινοτομείτε με εξαρτήματα που διαρκούν περισσότερο, μειώνουν τους χρόνους κύκλου και βελτιώνουν τις αποδόσεις.
Η επίστρωση SiC έχει πολλά μοναδικά πλεονεκτήματα
Αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC μπορεί να αντέξει υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C χωρίς να υποστεί σημαντική θερμική υποβάθμιση.
Χημική αντίσταση: Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετική αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα χημικών ουσιών, συμπεριλαμβανομένων οξέων, αλκαλίων και οργανικών διαλυτών.
Αντίσταση στη φθορά: Η επίστρωση SiC παρέχει στο υλικό εξαιρετική αντοχή στη φθορά, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που περιλαμβάνουν υψηλή φθορά.
Θερμική αγωγιμότητα: Η επίστρωση CVD SiC παρέχει στο υλικό υψηλή θερμική αγωγιμότητα, καθιστώντας το κατάλληλο για χρήση σε εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας που απαιτούν αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας.
Υψηλή αντοχή και ακαμψία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου παρέχει στο υλικό υψηλή αντοχή και ακαμψία, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή μηχανική αντοχή.
Η επίστρωση SiC χρησιμοποιείται σε διάφορες εφαρμογές
Κατασκευή LED: Ο υποδοχέας με επικάλυψη CVD SiC χρησιμοποιείται στην κατασκευή επεξεργασμένων διαφόρων τύπων LED, συμπεριλαμβανομένων των μπλε και πράσινων LED, UV LED και LED βαθιάς UV, λόγω της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και της χημικής αντοχής.
Κινητή επικοινωνία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα κρίσιμο μέρος του HEMT για την ολοκλήρωση της επιταξιακής διαδικασίας GaN-on-SiC.
Επεξεργασία ημιαγωγών: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών για διάφορες εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας πλακιδίων και της επιταξιακής ανάπτυξης.
Στοιχεία γραφίτη επικαλυμμένα με SiC
Κατασκευασμένο από γραφίτη Silicon Carbide Coating (SiC), η επίστρωση εφαρμόζεται με μέθοδο CVD σε συγκεκριμένες ποιότητες γραφίτη υψηλής πυκνότητας, ώστε να μπορεί να λειτουργεί σε κλίβανο υψηλής θερμοκρασίας με πάνω από 3000 °C σε αδρανή ατμόσφαιρα, 2200 °C σε κενό .
Οι ειδικές ιδιότητες και η χαμηλή μάζα του υλικού επιτρέπουν γρήγορους ρυθμούς θέρμανσης, ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας και εξαιρετική ακρίβεια στον έλεγχο.
Στοιχεία υλικού Semicorex SiC Coating
Τυπικές ιδιότητες |
Μονάδες |
Αξίες |
Δομή |
|
FCC β φάση |
Προσανατολισμός |
Κλάσμα (%) |
111 προτιμώ |
Χύδην πυκνότητα |
g/cm³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμική διαστολή 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Συμπέρασμα Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα σύνθετο υλικό που συνδυάζει τις ιδιότητες ενός επιδεκτικού και καρβιδίου του πυριτίου. Αυτό το υλικό διαθέτει μοναδικές ιδιότητες, όπως υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και υψηλή αντοχή και ακαμψία. Αυτές οι ιδιότητες το καθιστούν ελκυστικό υλικό για διάφορες εφαρμογές σε υψηλές θερμοκρασίες, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας ημιαγωγών, της χημικής επεξεργασίας, της θερμικής επεξεργασίας, της κατασκευής ηλιακών κυττάρων και της κατασκευής LED.
Βελτιώστε την αποτελεσματικότητα και την ακρίβεια των επιταξιακών διεργασιών ημιαγωγών σας με τον πρωτοποριακό δακτύλιο Epi Pre Heat Semicorex. Κατασκευασμένος με ακρίβεια από γραφίτη επικαλυμμένο με SiC, αυτός ο προηγμένος δακτύλιος παίζει καθοριστικό ρόλο στη βελτιστοποίηση της επιταξιακής ανάπτυξής σας προθερμαίνοντας τα αέρια διεργασίας προτού εισέλθουν στον θάλαμο.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςSemicorex SiC Parts Abdeck Segmenten, ένα κρίσιμο συστατικό στην κατασκευή συσκευών ημιαγωγών που επαναπροσδιορίζει την ακρίβεια και την ανθεκτικότητα. Κατασκευασμένα από γραφίτη με επίστρωση SiC, αυτά τα μικρά αλλά βασικά εξαρτήματα παίζουν καθοριστικό ρόλο στην προώθηση της επεξεργασίας ημιαγωγών σε νέα επίπεδα απόδοσης και αξιοπιστίας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΠλανητικός δίσκος Semicorex, υποδοχέας ή φορέας γραφίτη επικαλυμμένο με καρβίδιο του πυριτίου, σχεδιασμένος για διεργασίες επιτάξεως μοριακής δέσμης (MBE) σε φούρνους Μεταλλο-Οργανικής Χημικής Εναπόθεσης Ατμών (MOCVD). Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΑπελευθερώστε την κορυφή της ακρίβειας στην κατασκευή ημιαγωγών με το πρωτοποριακό μας CVD SiC Pancake Susceptor. Αυτό το εξάρτημα σε σχήμα δίσκου, ειδικά σχεδιασμένο για εξοπλισμό ημιαγωγών, χρησιμεύει ως κρίσιμο στοιχείο για τη στήριξη λεπτών πλακιδίων ημιαγωγών κατά τη διάρκεια διεργασιών επιταξιακής εναπόθεσης σε υψηλή θερμοκρασία. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΒελτιώστε τις δυνατότητες και την αποτελεσματικότητα του εξοπλισμού ημιαγωγών σας με τα πρωτοποριακά μας Semiconductor SiC Components for Epitaxial. Αυτά τα ημικυλινδρικά εξαρτήματα έχουν σχεδιαστεί ειδικά για το τμήμα εισαγωγής των επιταξιακών αντιδραστήρων, διαδραματίζοντας κρίσιμο ρόλο στη βελτιστοποίηση των διαδικασιών παραγωγής ημιαγωγών. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΒελτιώστε τη λειτουργικότητα και την αποτελεσματικότητα των συσκευών ημιαγωγών σας με το υπερσύγχρονο Half Parts Drum Products Epitaxial Part. Ειδικά σχεδιασμένο για τα εξαρτήματα εισαγωγής του αντιδραστήρα LPE, αυτό το ημικυλινδρικό εξάρτημα παίζει καθοριστικό ρόλο στη βελτιστοποίηση των διαδικασιών ημιαγωγών σας.
Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.