Δίσκος επιταξίας με επικάλυψη SiC

Το Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc διαθέτει μια σειρά από απαράμιλλα πλεονεκτήματα στη βιομηχανία ημιαγωγών, τα οποία μπορούν να αναπτυχθούν περαιτέρω ως εξής:

Χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής: Ο επικαλυμμένος δίσκος επιτάξεως με SiC διαθέτει έναν ιδιαίτερα χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, ο οποίος είναι κρίσιμος στην επεξεργασία ημιαγωγών όπου η σταθερότητα των διαστάσεων είναι απαραίτητη. Αυτό το χαρακτηριστικό διασφαλίζει ότι ο επικαλυμμένος δίσκος επιτάξεως με SiC υφίσταται ελάχιστη διαστολή ή συστολή υπό διακυμάνσεις θερμοκρασίας, διατηρώντας την ακεραιότητα της δομής ημιαγωγών κατά τη διάρκεια διεργασιών σε υψηλή θερμοκρασία.

Αντίσταση στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία: Σχεδιασμένος με αξιοσημείωτη αντοχή στην οξείδωση, αυτός ο επικαλυμμένος δίσκος επιτάξεως με SiC διατηρεί τη δομική του ακεραιότητα σε υψηλές θερμοκρασίες, καθιστώντας τον ιδανικό συστατικό για εφαρμογές σε διαδικασίες ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας όπου η θερμική σταθερότητα είναι ζωτικής σημασίας.

Πυκνή και λεπτόκοκκη επιφάνεια: Η επιφάνεια του επικαλυμμένου δίσκου επιτάξεως με SiC χαρακτηρίζεται από την πυκνότητα και το λεπτό πορώδες, το οποίο παρέχει βέλτιστη υφή επιφάνειας για συγκόλληση διαφόρων επιστρώσεων και διασφαλίζει την αποτελεσματική αφαίρεση υλικού κατά την επεξεργασία της γκοφρέτας ημιαγωγών χωρίς να καταστρέφεται η λεπτή επιφάνεια.

Υψηλή σκληρότητα: Η επίστρωση προσδίδει υψηλό επίπεδο σκληρότητας στον δίσκο γραφίτη, ο οποίος είναι ανθεκτικός στις γρατσουνιές και τη φθορά, επεκτείνοντας έτσι τη διάρκεια ζωής του επικαλυμμένου δίσκου επιτάξεως με SiC και μειώνοντας τη συχνότητα αντικατάστασης σε περιβάλλοντα παραγωγής ημιαγωγών.

Αντοχή σε οξέα, βάσεις, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια: Η επίστρωση CVD SiC του δίσκου Epitaxy με επικάλυψη SiC προσφέρει εξαιρετική αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα διαβρωτικών παραγόντων, συμπεριλαμβανομένων οξέων, βάσεων, αλάτων και οργανικών αντιδραστηρίων, καθιστώντας το κατάλληλο για χρήση σε περιβάλλοντα όπου Η έκθεση σε χημικά προκαλεί ανησυχία, ενισχύοντας έτσι την αξιοπιστία και τη μακροζωία του εξοπλισμού.

Επιφανειακό στρώμα Beta-SiC: Το επιφανειακό στρώμα SIC (καρβίδιο πυριτίου) του επικαλυμμένου δίσκου επιτάξεως με SiC αποτελείται από βήτα-SiC, το οποίο έχει μια κρυσταλλική δομή με επίκεντρο κυβικό (FCC). Αυτή η κρυσταλλική δομή συμβάλλει στις εξαιρετικές μηχανικές και θερμικές ιδιότητες της επίστρωσης, προσφέροντας ανώτερη αντοχή και θερμική αγωγιμότητα στον δίσκο, κάτι που είναι απαραίτητο για τον εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών.