Τα τσοκ καρβιδίου του πυριτίου Semicorex είναι ειδικά σχεδιασμένα για εξοπλισμό φωτολιθογραφίας και έχουν πολλαπλά πλεονεκτήματα όπως υψηλή ακρίβεια, εξαιρετικά ελαφρύ βάρος, υψηλή ακαμψία, χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και εξαιρετική αντοχή στη φθορά.
Semicorexτσοκ καρβιδίου του πυριτίουείναι λειτουργικές συσκευές προσρόφησης κατασκευασμένες απόκαρβίδιο του πυριτίου(SiC) κεραμικό υλικό. Χρησιμοποιούνται κυρίως σε ημιαγωγούς, φωτοβολταϊκά, κατασκευή ακριβείας και άλλα σενάρια που έχουν εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις για αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχή στη φθορά, αντοχή στη χημική διάβρωση και καθαριότητα υλικών.
Το κεραμικό υλικό SiC έχει αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και διατηρεί τη δομική του σταθερότητα σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας. Η εξαιρετική θερμική του αγωγιμότητα του επιτρέπει να διαχέει γρήγορα τη θερμότητα που παράγεται κατά την προσρόφηση, αποτρέποντας την υπερθέρμανση του τεμαχίου εργασίας. Η εξαιρετική σκληρότητα του υλικού το καθιστά κατάλληλο για το κράτημα τραχιών ή σκληρών τεμαχίων. Επιπλέον, η χημική αδράνεια του κεραμικού υλικού SiC το καθιστά ανθεκτικό στη διάβρωση από ισχυρά οξέα, ισχυρά αλκάλια και οργανικούς διαλύτες. Η χαμηλή απόδοση κατακρήμνισης ακαθαρσιών αυτού του υλικού αποφεύγει τη μόλυνση από ακαθαρσίες και παρατείνει τον κανονικό χρόνο λειτουργίας του εξοπλισμού, ικανοποιώντας τις εξαιρετικά καθαρές απαιτήσεις της βιομηχανίας ημιαγωγών.
Τυπικά χαρακτηριστικά των τσοκ καρβιδίου του πυριτίου Semicorex
1.Υψηλή ακρίβεια: η επιπεδότητα είναι 0,3-0,5μm.
2.Γυάλισμα καθρέφτη
3. Εξαιρετικά ελαφρύ βάρος
4.Υψηλή ακαμψία
5.Χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής
6.Εξαιρετική αντοχή στη φθορά
Τα σενάρια εφαρμογής τσοκ καρβιδίου του πυριτίου
Κατασκευή ημιαγωγών
Μεταφορά και επεξεργασία γκοφρέτας: Σε διαδικασίες όπως η φωτολιθογραφία και η χάραξη, η γκοφρέτα πρέπει να προσροφάται σταθερά σε περιβάλλον κενού για να αποφευχθούν σφάλματα μετατόπισης.
Αντοχή στη διάβρωση πλάσματος: Στη διαδικασία χάραξης ημιαγωγών, η εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση μπορεί να παρατείνει τη διάρκεια ζωής του προϊόντος.
Παραγωγή φωτοβολταϊκών στοιχείων
Κοπή γκοφρέτας πυριτίου: Προσροφεί γκοφρέτες πυριτίου για να αντιστέκεται στους κραδασμούς κοπής και να μειώνει τον ρυθμό θρυμματισμού των πλακών πυριτίου.
Κοπή γκοφρέτας πυριτίου: Προσροφεί γκοφρέτες πυριτίου για να αντιστέκεται στους κραδασμούς κοπής και να μειώνει τον ρυθμό θρυμματισμού των πλακών πυριτίου.
(SiC) κεραμικό υλικό. Χρησιμοποιούνται κυρίως σε ημιαγωγούς, φωτοβολταϊκά, κατασκευή ακριβείας και άλλα σενάρια που έχουν εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις για αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχή στη φθορά, αντοχή στη χημική διάβρωση και καθαριότητα υλικών.
Τα τσοκ καρβιδίου του πυριτίου έχουν γίνει βασικά αναλώσιμα στον κατασκευαστικό τομέα υψηλών προδιαγραφών λόγω της εξαιρετικής απόδοσής τους, προάγοντας την τεχνολογική πρόοδο σε βιομηχανίες όπως ημιαγωγοί, φωτοβολταϊκά και η κατασκευή τομής.