AL2O3 CACUUM Chucks

Τα chucks semicorex al₂o₃ Vacuum είναι η μικροπορώδη κεραμική συνιστώσα ακριβείας που αναπτύχθηκε για τις εφαρμογές χειρισμού, σταθεροποίησης και επεξεργασίας των πλακιδίων στη βιομηχανία ημιαγωγών. Κατασκευασμένο από μαύρη αλουμίνα με ελεγχόμενο πορώδες 35%-40%, είναι ένα εξαιρετικά σταθερό, καθαρό και αξιόπιστο μέσο για διαδικασίες προσρόφησης κενού. Το Chuck συνδυάζει την κεραμική επεξεργασία του υποστρώματος σε μια λειτουργική επιφάνεια χρησιμοποιώντας προηγμένες τεχνικές κατασκευής για να παρέχει συνεπή απόδοση αναρρόφησης για το εύθραυστο δίσκο του χρήστη κατά τη διάρκεια κρίσιμων βημάτων της διαδικασίας.

Μαύροςαλουμίνα (al₂o₃); έχει μια μοναδική ισορροπία μηχανικής αντοχής, σκληρότητας και χημικής αντοχής σε σύγκριση με τα μέταλλα και τα πολυμερή. Η μικροπορώδη δομή είναι βελτιστοποιημένη για ελεγχόμενο πορώδες για να παρέχει σταθερή κατανομή κενού στην επιφάνεια του τσοκ κενών. Η συνεκτική κατανομή κενού σε όλη την επιφάνεια του τσοκ ελαχιστοποιεί τις εντοπισμένες συγκεντρώσεις στρες, περιορίζοντας τον κίνδυνο παραμόρφωσης δίσκων, τσιπών και θραύσης. Καθώς η κατασκευή πλακιδίων συνεχίζει να αυξάνεται σε διάμετρο και οι γεωμετρίες και οι συσκευές γίνονται πιο εύθραυστες, η απόδοση της διαδικασίας και η βελτιωμένη αξιοπιστία χειρισμού των πλακιδίων καθίστανται κρίσιμες απαιτήσεις.

Το ελεγχόμενο πορώδες του 35-40% αντιπροσωπεύει ένα βασικό χαρακτηριστικό αυτού του τσοκ κενού. Ένα βελτιστοποιημένο δίκτυο πόρων μπορεί να ελαχιστοποιήσει την αναταραχή κατά την εκκένωση του αέρα από την περιοχή των πόρων και να διατηρήσει τη δύναμη συγκράτησης διατηρώντας παράλληλα τη μηχανική αντοχή και την ανθεκτικότητα. Αντίθετα, οι μηχανικοί σφιγκτήρες χρησιμοποιούν πλάκες που προκαλούν τοπικά σημεία άγχους και λειτουργούν ενάντια στις μηχανικές ιδιότητες του μεμονωμένου δισκίου. Επομένως, η μικροπορώδη επιφάνεια της αλουμίνας είναι ανώτερη στην κατοχή πλακιδίων επίπεδης και ασυνείδητα κατά τη διάρκεια των μηχανικών προσεγγίσεων. Αυτό καθιστά έναν τέλειο υποψήφιο για διαδικασίες ημιαγωγών υψηλής τεχνολογίας που επωφελούνται από την επιπεδότητα των πλακιδίων και την ομαλή κατοχή, συμπεριλαμβανομένης της λιθογραφίας, της χάραξης, της εναπόθεσης και της μετρολογίας.

Από θερμική άποψη, το υλικό μαύρης αλουμίνας έχει εξαιρετική αυτή την ικανότητα να διατηρεί τη σταθερότητα διαστάσεων κατά τη διάρκεια της αυξημένης θερμοκρασίας. Με χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, ένας τσοκ κενών είναι σε θέση να παραμείνει ακριβής ακόμη και κατά τη διάρκεια των κύκλων θέρμανσης και ψύξης, η οποία αποτελεί κρίσιμη πτυχή λόγω της ταχείας διακύμανσης της θερμοκρασίας που συχνά εμφανίζεται σε περιβάλλοντα επεξεργασίας πλακιδίων. Η σκληρότητα και η αντοχή στη φθορά αυτού του κεραμικού αυξάνουν επίσης τη μακροζωία του τσοκ, μειώνοντας τη συχνότητα συντήρησης για τους χειριστές εξοπλισμού και μειώνοντας το συνολικό κόστος ιδιοκτησίας.

Η χημική αδράνεια των κεραμικών αλουμίνας είναι μια ακόμη σημαντική ιδιοκτησία. Στα Semiconductor Fabs, τα συστατικά του εξοπλισμού πρέπει να ανεχθούν επιθετικά χημικά, καθαριστικά παράγοντες ή περιβάλλοντα πλάσματος χωρίς επιδείνωση. Το Black Alumina έχει εξαιρετικές ιδιότητες για την αντίσταση στη διάβρωση, την οξείδωση και/ή τη μόλυνση της επιφάνειας και έτσι διατηρεί τη δομή και τη δομική/φασική σταθερότητα κατά τη διάρκεια διεγερμένων περιόδων κύκλου λειτουργίας. Αυτή η ιδιότητα στη θέση του σημαίνει επίσης ότι οι πλακές δεν υπόκεινται σε μόλυνση που προστατεύει το κύκλωμα από τον τρόπο με τον οποίο εκτελούν αυτές τις συσκευές και εμπιστεύεται επίσης τα πρωτόκολλα καθαρού χώρου.

Όχι μόνο οι chucks Vacuum AL₂O₃ παρουσιάζουν εξαιρετική λειτουργική απόδοση, το φινίρισμα της επιφάνειας ελέγχεται επίσης αυστηρά. Το φινίρισμα δημιουργείται χρησιμοποιώντας διαδικασίες μηχανικής κατεργασίας και στίλβλευσης υψηλής ακρίβειας που αποδίδουν ομοιόμορφη επιπεδότητα και ομαλότητα, έτσι ώστε να μπορούν να κρατηθούν ευαίσθητα πλακίδια χωρίς γρατζουνιές ή βλάβες επιφάνειας. Το υψηλό μηχανικό πορώδες του υλικού αποδίδει μια κατάλληλη ισορροπία μεταξύ της αναρρόφησης και της προστασίας της επιφάνειας, επιτρέποντας την επαρκή δύναμη συγκράτησης στο δίσκο, αποφεύγοντας παράλληλα τυχόν βλάβες στα λεπτά, εύθραυστα υποστρώματα.

Από επιχειρησιακή άποψη, τα chucks Vacuum Al₂o₃ είναι κρίσιμα συστατικά στη σύγχρονη παραγωγή ημιαγωγών. Διευκολύνει την αυτοματοποίηση, επιτρέποντας στις πλακίδια να παραληφθούν, να τοποθετηθούν, να ευθυγραμμιστούν και να επεξεργαστούν, να ικανοποιούν αξιόπιστα τις απαιτήσεις της διαδικασίας. Το μαύρο χρώμα της αλουμίνας βοηθά επίσης και παρέχει ρεαλιστικά πλεονεκτήματα μειώνοντας την αντανάκλαση του φωτός κατά τη διάρκεια οπτικών επιθεωρήσεων και διαδικασιών μέτρησης, ειδικά όταν χρησιμοποιείται ο οπτικός εξοπλισμός υψηλής ακρίβειας.

Ο συνδυασμός της προηγμένης κεραμικής τεχνολογίας με ένα καλά-παραμορφωμένο σχεδιασμό έχει αποδώσει, στο AL₂O₃ Cacuum Chucks, μια μακροχρόνια λύση υψηλής απόδοσης για τις προκλήσεις χειρισμού πλακιδίων των κατασκευαστών ημιαγωγών. Το al₂o₃ chucks κενού βελτιώνει την παραγωγικότητα μέσω μειωμένης απώλειας δίσκων, μειώνει το χρόνο διακοπής λόγω ανθεκτικότητας και ενισχύει τη σταθερότητα της διαδικασίας παρέχοντας σταθερή δύναμη συγκράτησης κενού.

Semicorex al₂o₃ chucks κενού φτιαγμένα από microporor μαύροαλουμίναείναι κάτι περισσότερο από ένα εξάρτημα. Είναι ένας κρίσιμος παράγοντας της παραγωγής ημιαγωγών ακριβείας. Με το βελτιστοποιημένο πορώδες, τις εξαιρετικές ιδιότητες υλικού και την ισχυρή απόδοση, εξασφαλίζει αξιόπιστη χειρισμό πλακιδίων στις πιο απαιτητικές διαδικασίες κατασκευής. Για τους κατασκευαστές που επιδιώκουν να επιτύχουν υψηλότερη απόδοση, βελτιωμένη απόδοση της διαδικασίας και ανώτερη απόδοση εξοπλισμού, το μαύρο chuck κενού αλουμίνας είναι μια απαραίτητη επιλογή.