Υποδοχέας επιτάξεως SiC

Κατασκευασμένο με ακρίβεια και σχεδιασμένο για αξιοπιστία, το SiC Epitaxy Susceptor διαθέτει υψηλή αντοχή στη διάβρωση, υψηλή θερμική αγωγιμότητα, αντοχή στο θερμικό σοκ και υψηλή χημική σταθερότητα, επιτρέποντάς του να λειτουργεί αποτελεσματικά σε μια επιταξιακή ατμόσφαιρα. Ως εκ τούτου, το SiC Epitaxy Susceptor θεωρείται πυρήνας και κρίσιμο στοιχείο στον εξοπλισμό MOCVD. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Το SiC Epitaxy Susceptor είναι ένα κρίσιμο συστατικό που χρησιμοποιείται στον εξοπλισμό MOCVD για την υποστήριξη και τη θέρμανση μονοκρυσταλλικών υποστρωμάτων. Οι ανώτερες παράμετροι απόδοσης του, όπως η θερμική σταθερότητα και η θερμική ομοιομορφία παίζουν καθοριστικό ρόλο στην ποιότητα της επιταξιακής ανάπτυξης του υλικού, διασφαλίζοντας υψηλά επίπεδα ομοιομορφίας και καθαρότητας σε υλικά λεπτής μεμβράνης.

Το SiC Epitaxy Susceptor διαθέτει εξαιρετική πυκνότητα, παρέχοντας αποτελεσματική προστασία σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα εργασίας. Επιπλέον, το υψηλό επίπεδο επιπεδότητας της επιφάνειας του ανταποκρίνεται απόλυτα στις απαιτήσεις για ανάπτυξη μονού κρυστάλλου στην επιφάνεια του υποστρώματος.

Ο ελάχιστος συντελεστής διαφορών θερμικής διαστολής στο SiC Epitaxy Susceptor ενισχύει σημαντικά την αντοχή συγκόλλησης μεταξύ του επιταξιακού υποστρώματος και του υλικού επικάλυψης, μειώνοντας έτσι την πιθανότητα ρωγμών μετά από θερμικό κύκλο υψηλής θερμοκρασίας.

Ταυτόχρονα, παρουσιάζει υψηλή θερμική αγωγιμότητα, διευκολύνοντας την ταχεία και ομοιόμορφη κατανομή της θερμότητας για την ανάπτυξη τσιπ. Επιπλέον, το υψηλό σημείο τήξης, η αντοχή στη θερμοκρασία, η αντίσταση στην οξείδωση και η αντίσταση στη διάβρωση επιτρέπουν τη σταθερή λειτουργία σε περιβάλλοντα εργασίας υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικότητας.

Ως κρίσιμο συστατικό στον θάλαμο αντίδρασης του εξοπλισμού MOCVD, το SiC Epitaxy Susceptor πρέπει να διαθέτει πλεονεκτήματα όπως αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, ομοιόμορφη θερμική αγωγιμότητα, καλή χημική σταθερότητα και ισχυρή αντοχή σε θερμικό σοκ. Το Semicorex SiC Epitaxy Susceptor πληροί όλες αυτές τις απαιτήσεις.