Δέκτης δίσκου SiC

Με βαθιά δέσμευση στην ποιότητα και την καινοτομία, το εξαιρετικά καθαρό SiC Disc Susceptor της Semicorex θέτει ένα νέο πρότυπο για απόδοση σε εξοπλισμό επιταξίας, MOCVD και RTP. Συνδυάζοντας εξαιρετική αντοχή στο θερμικό σοκ, ανώτερη θερμική αγωγιμότητα, εξαιρετική χημική αντίσταση και εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, αυτά τα κατασκευασμένα εξαρτήματα δίνουν τη δυνατότητα στους κατασκευαστές ημιαγωγών να επιτύχουν απαράμιλλη απόδοση, αξιοπιστία και ποιότητα προϊόντος. Οι προσαρμόσιμες λύσεις της Semicorex διασφαλίζουν περαιτέρω ότι κάθε εφαρμογή θερμικής επεξεργασίας επωφελείται από βελτιστοποιημένα, σχεδιασμένα με ακρίβεια εξαρτήματα σχεδιασμένα για να ανταποκρίνονται στις μοναδικές απαιτήσεις της.

Εξαιρετική αντίσταση σε θερμικό σοκ:Το SiC Disc Susceptor υπερτερεί όσον αφορά την αντοχή στις γρήγορες διακυμάνσεις της θερμοκρασίας, οι οποίες είναι κοινές στο RTP και σε άλλες διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας. Αυτή η εξαιρετική αντοχή στο θερμικό σοκ εξασφαλίζει δομική ακεραιότητα και μακροζωία, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο ζημιάς ή αστοχίας λόγω απότομων αλλαγών θερμοκρασίας και ενισχύοντας την αξιοπιστία του εξοπλισμού θερμικής επεξεργασίας.

Ανώτερη θερμική αγωγιμότητα:Η αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας είναι κρίσιμη στις εφαρμογές θερμικής επεξεργασίας. Η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα του SiC Disc Susceptor εξασφαλίζει γρήγορη και ομοιόμορφη θέρμανση και ψύξη, απαραίτητη για τον ακριβή έλεγχο της θερμοκρασίας και την ομοιομορφία της διαδικασίας. Αυτό οδηγεί σε βελτιωμένη απόδοση της διαδικασίας, μειωμένους χρόνους κύκλου και υψηλότερης ποιότητας γκοφρέτες ημιαγωγών.

Εξαιρετική χημική αντοχή:Το SiC Disc Susceptor παρέχει εξαιρετική αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα διαβρωτικών και αντιδραστικών χημικών ουσιών που χρησιμοποιούνται σε διαδικασίες επιταξίας, MOCVD και RTP. Αυτή η χημική αδράνεια προστατεύει τον υποκείμενο γραφίτη από την υποβάθμιση, αποτρέπει τη μόλυνση του περιβάλλοντος της διεργασίας και εξασφαλίζει σταθερή απόδοση για εκτεταμένες περιόδους λειτουργίας.

Εξαιρετικά Υψηλή Καθαρότητα: Το SiC Disc Susceptor κατασκευάζεται με εξαιρετικά υψηλά πρότυπα καθαρότητας τόσο για επικάλυψη γραφίτη όσο και για επίστρωση SiC, αποφεύγοντας την πιθανότητα μόλυνσης και διασφαλίζοντας την παραγωγή συσκευών ημιαγωγών χωρίς ελαττώματα. Αυτή η δέσμευση για καθαρότητα σημαίνει υψηλότερες αποδόσεις και βελτιωμένη απόδοση της συσκευής.

Διαθεσιμότητα σύνθετων σχημάτων:Οι προηγμένες κατασκευαστικές δυνατότητες της Semicorex επιτρέπουν την παραγωγή του SiC Disc Susceptor σε πολύπλοκα σχήματα προσαρμοσμένα στις συγκεκριμένες απαιτήσεις των πελατών. Αυτή η ευελιξία επιτρέπει το σχεδιασμό προσαρμοσμένων λύσεων που ανταποκρίνονται στις ακριβείς ανάγκες διαφόρων εφαρμογών θερμικής επεξεργασίας, βελτιώνοντας την αποδοτικότητα της διαδικασίας και τη συμβατότητα του εξοπλισμού.

Χρησιμοποιείται σε Οξειδωτικές Ατμόσφαιρες:Η στιβαρή επίστρωση CVD SiC παρέχει εξαιρετική προστασία από την οξείδωση, επιτρέποντας στο SiC Disc Susceptor να αποδίδει αξιόπιστα σε οξειδωτικά περιβάλλοντα. Αυτό επεκτείνει τη δυνατότητα εφαρμογής τους σε ένα ευρύτερο φάσμα θερμικών διεργασιών, εξασφαλίζοντας ευελιξία και προσαρμοστικότητα.

Στιβαρή, επαναλαμβανόμενη απόδοση:Σχεδιασμένο για περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και κενού, το SiC Disc Susceptor προσφέρει στιβαρή και επαναλαμβανόμενη απόδοση. Η ανθεκτικότητα και η συνοχή του τα καθιστούν ιδανικά για εφαρμογές κρίσιμης θερμικής επεξεργασίας, μειώνοντας το χρόνο διακοπής λειτουργίας, το κόστος συντήρησης και διασφαλίζοντας μακροπρόθεσμη λειτουργική αξιοπιστία.

Η Semicorex ειδικεύεται στην προσαρμογή εξαρτημάτων με επικάλυψη CVD SiC για να καλύψει τις διαφορετικές ανάγκες του εξοπλισμού θερμικής επεξεργασίας, όπως:

Διαχυτές:Βελτιώστε την ομοιομορφία διανομής αερίου και τη συνέπεια της διαδικασίας.

Μονωτήρες:Παρέχετε θερμομόνωση και προστασία σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.

Άλλα προσαρμοσμένα θερμικά εξαρτήματα:Προσαρμοσμένες λύσεις σχεδιασμένες για να ανταποκρίνονται σε συγκεκριμένες απαιτήσεις διαδικασίας και να βελτιστοποιούν την απόδοση του εξοπλισμού.