Τόσο επίπεδες προσφορές επικάλυψης

ΗμικόρουΕπικάλυψηΤο Flat Sensceptor είναι ένας βασικός κάτοχος που έχει σχεδιαστεί για επιταξιακές διαδικασίες ανάπτυξης στην κατασκευή ημιαγωγών. Ειδικά σχεδιασμένο για να υποστηρίξει την εναπόθεση επιταξιακών στρωμάτων σε υποστρώματα, αυτός ο αισθητήρας είναι ιδανικός για εφαρμογές υψηλής απόδοσης, όπως συσκευές LED, συσκευές υψηλής ισχύος και τεχνολογίες επικοινωνιών RF. Χρησιμοποιώντας την τεχνική CVD (χημική εναπόθεση ατμών), επιτρέπει την ακριβή ανάπτυξη των κρίσιμων στρωμάτων, όπως τα GaAs σε υποστρώματα πυριτίου, SIC σε αγώγιμα υποστρώματα SIC και GAN σε ημι-οικοδομικά υποστρώματα SIC.

Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής πλακιδίων, ορισμένα υποστρώματα πλακιδίων πρέπει να κατασκευάσουν περαιτέρω επιταξιακά στρώματα για να διευκολυνθούν η κατασκευή συσκευών. Τα τυπικά παραδείγματα περιλαμβάνουν συσκευές εκπομπής φωτός LED, τα οποία απαιτούν την παρασκευή επιταξιακών στρωμάτων GaAs σε υποστρώματα πυριτίου. Τα επιταξιακά στρώματα SIC καλλιεργούνται σε αγώγιμα υποστρώματα SIC για την κατασκευή συσκευών όπως SBD και MOSFETs για υψηλή τάση, υψηλό ρεύμα και άλλες εφαρμογές ισχύος. Τα επιταξιακά στρώματα GAN κατασκευάζονται σε ημι-οικοδομικά υποστρώματα SIC για την περαιτέρω κατασκευή HEMT και άλλες συσκευές για επικοινωνίες και άλλες εφαρμογές ραδιοσυχνοτήτων. Αυτή η διαδικασία είναι αδιαχώριστη από τον εξοπλισμό CVD.

Στον εξοπλισμό CVD, το υπόστρωμα δεν μπορεί να τοποθετηθεί απευθείας σε μέταλλο ή απλά σε βάση για επιταξιακή εναπόθεση, επειδή περιλαμβάνει διάφορους παράγοντες όπως η κατεύθυνση της ροής αερίου (οριζόντια, κάθετη), η θερμοκρασία, η πίεση, η σταθεροποίηση και η πτώση των ρύπων. Επομένως, απαιτείται βάση και στη συνέχεια το υπόστρωμα τοποθετείται σε δίσκο και στη συνέχεια εκτελείται επιταξιακή εναπόθεση στο υπόστρωμα χρησιμοποιώνταςΤεχνολογία CVD. Αυτή η βάση είναι μια βάση γραφίτη επικαλυμμένη με SIC (που ονομάζεται επίσης δίσκο).

Αιτήσεις

ΟΕπικάλυψηΤο Flat Sensceptor χρησιμοποιείται σε διάφορες βιομηχανίες για διαφορετικές εφαρμογές:

LED Manufacturing: Στην παραγωγή LED που βασίζονται σε GAAS, το Sensceptor διαθέτει υποστρώματα πυριτίου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας CVD, εξασφαλίζοντας ότι έχει κατατεθεί με ακρίβεια το επιταξιακό στρώμα GaAs.

Συσκευές υψηλής ισχύος: Για συσκευές όπως MOSFETs με βάση τη SIC και διόδους φραγμού Schottky (SBDs), το Sensceptor υποστηρίζει την επιταξιακή ανάπτυξη των στρωμάτων SIC σε αγώγιμα υποστρώματα SIC, απαραίτητα για εφαρμογές υψηλής τάσης και υψηλού ρεύματος.

Συσκευές επικοινωνίας RF: Κατά την ανάπτυξη του Gan HEMTs σε ημι-οικοδομικά υποστρώματα SIC, το Sensceptor παρέχει τη σταθερότητα που απαιτείται για την ανάπτυξη ακριβών στρώσεων που είναι κρίσιμα για εφαρμογές RF υψηλής συχνότητας και υψηλής απόδοσης.

Η ευελιξία του SIC Coating Flat Sensceptor καθιστά ένα ζωτικό εργαλείο στην ανάπτυξη επιταξιακών στρωμάτων για αυτές τις διαφορετικές εφαρμογές.

Ως ένα από τα βασικά συστατικά του εξοπλισμού MOCVD, ο Sensceptor του γραφίτη είναι ο φορέας και το στοιχείο θέρμανσης του υποστρώματος, το οποίο καθορίζει άμεσα την ομοιομορφία και την καθαρότητα του υλικού λεπτού φιλμ. Ως εκ τούτου, η ποιότητά του επηρεάζει άμεσα την παρασκευή επιταξιακών πλακιδίων. Ταυτόχρονα, είναι πολύ εύκολο να φθαρεί με την αύξηση των χρόνων χρήσης και τις αλλαγές στις συνθήκες εργασίας και είναι αναλώσιμη.

Το SIC Coating Flat Sensceptor έχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις της διαδικασίας CVD:

• Βελτιστοποιημένη ροή αερίου: Η επίπεδη σχεδίαση του ευαισθησία βοηθά στη διατήρηση της σταθερής ροής αερίου γύρω από το υπόστρωμα, το οποίο είναι κρίσιμο για την ομοιόμορφη εναπόθεση επιταξιακών στρωμάτων.
• Έλεγχος θερμοκρασίας: Με την υψηλή θερμική αγωγιμότητα, ο επίπεδης επικάλυψης SIC επιτρέπει τον ακριβή έλεγχο της θερμοκρασίας κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εναπόθεσης. Αυτό εξασφαλίζει ότι το υπόστρωμα παραμένει εντός του απαιτούμενου εύρους θερμοκρασίας, το οποίο είναι απαραίτητο για την επίτευξη των επιθυμητών ιδιοτήτων υλικού.
• Εύκολος χειρισμός: Η επίπεδη, ομαλή επιφάνεια του ευαισθησία καθιστά εύκολο να χειριστεί και να φορτώσει/εκφορτώνει υποστρώματα χωρίς να προκαλεί βλάβη στο λεπτό δίσκο ή να εισαγάγει μολυσματικές ουσίες.

Παρέχοντας μια σταθερή, καθαρή και θερμικά αποδοτική πλατφόρμα για την επιταξιακή ανάπτυξη, το SIC επικάλυψης επίπεδη ευαισθησία βελτιώνει σημαντικά τη συνολική απόδοση και την απόδοση της διαδικασίας CVD.

ΗμικόρουΕπικάλυψηΤο Flat Sensceptor είναι σχεδιασμένο για να ανταποκρίνεται στα υψηλότερα πρότυπα ακρίβειας και ποιότητας, εξασφαλίζοντας εξαιρετικές επιδόσεις σε κρίσιμες διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών. Αποδεικνύουμε ότι παρέχουμε συνεπή προϊόντα, αξιόπιστα αποτελέσματα σε συστήματα CVD, ενισχύοντας την παραγωγή ανώτερων συσκευών ημιαγωγών. Με αξιοσημείωτη χημική αντίσταση, εξαιρετική θερμική διαχείριση και απαράμιλλη ανθεκτικότητα, η Semicorex SIC επικάλυψη επί το επίπεδη ευαισθησία ξεχωρίζει ως η οριστική επιλογή για τους κατασκευαστές που στοχεύουν στη βελτιστοποίηση των διεργασιών επιταξίας των πλακιδίων.

Το Semicorex SIC Coating Flat Sensceptor είναι ένα απαραίτητο στοιχείο στην κατασκευή συσκευών ημιαγωγών που απαιτούν επιταξιακή ανάπτυξη. Η ανώτερη ανθεκτικότητα, η αντίσταση στις θερμικές και χημικές καταπονήσεις και η ικανότητα διατήρησης ακριβών συνθηκών κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εναπόθεσης καθιστούν απαραίτητη για τα σύγχρονα συστήματα CVD. Με το Semicorex SIC Flat Sensceptor, οι κατασκευαστές κερδίζουν μια ισχυρή λύση για την επίτευξη των επιταξιακών στρωμάτων υψηλής ποιότητας, εξασφαλίζοντας εξαιρετικές επιδόσεις σε πολλές εφαρμογές ημιαγωγών. Συνεργαστείτε με το Semicorex για να αυξήσετε τη διαδικασία παραγωγής σας με προϊόντα σχεδιασμένα σχολαστικά για βέλτιστη απόδοση και αξιοπιστία.