Βάζο ημιαγωγών Quartz Bell

Το Semicorex Semiconductor Quartz Bell Jar κατασκευάζεται συνήθως από συνθετικό λιωμένο χαλαζία, ένα υλικό γνωστό για την εξαιρετική του καθαρότητα, την αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και τις ιδιότητες χαμηλής θερμικής διαστολής του. Αυτό διασφαλίζει ότι ο θάλαμος δεν εισάγει ρύπους ή ακαθαρσίες στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών.

Το βάζο με κουδούνια χαλαζία ημιαγωγών είναι συνήθως κυλινδρικό ή σε σχήμα θόλου, με επίπεδη ή ελαφρώς κυρτή βάση για να χωράει γκοφρέτες ή υποστρώματα ημιαγωγών. Διαθέτει μηχανισμό ακριβείας, αεροστεγές στεγανοποιητικό μηχανισμό, όπως φλάντζα ή στεγανοποιητικό δακτύλιο Ο, για τη διατήρηση κενού ή ελεγχόμενης ατμόσφαιρας μέσα στο θάλαμο κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας.

Το Semiconductor Quartz Bell Jar προσφέρει εξαιρετική οπτική ευκρίνεια, επιτρέποντας στους χειριστές να παρακολουθούν οπτικά τις διεργασίες εντός του θαλάμου χωρίς να διακυβεύεται η ακρίβεια ή να δημιουργεί παρεμβολές. Ο χαλαζίας είναι εξαιρετικά ανθεκτικός στη χημική προσβολή από τα περισσότερα οξέα, βάσεις και διαλύτες που χρησιμοποιούνται συνήθως στις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών. Αυτό διασφαλίζει την ακεραιότητα του θαλάμου και αποτρέπει τη μόλυνση των υποστρωμάτων.

Ο χαλαζίας έχει υψηλό σημείο τήξης και θερμική σταθερότητα, επιτρέποντας στο Semiconductor Quartz Bell Jar να αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες που συναντώνται κατά τη διάρκεια των διεργασιών εναπόθεσης ή ανόπτησης χωρίς παραμόρφωση ή υποβάθμιση.

Εφαρμογές:

Απόθεση: Τα βάζα με κουδούνια χαλαζία ημιαγωγών χρησιμοποιούνται σε διάφορες τεχνικές εναπόθεσης όπως η χημική εναπόθεση ατμού (CVD), η φυσική εναπόθεση ατμού (PVD) και η εναπόθεση ατομικού στρώματος (ALD) για την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών υλικών σε υποστρώματα ημιαγωγών με ακρίβεια και ομοιομορφία.

Χαλκογραφία: Χρησιμοποιούνται σε διαδικασίες χάραξης πλάσματος για την επιλεκτική αφαίρεση υλικού από γκοφρέτες ημιαγωγών, δημιουργώντας περίπλοκα σχέδια και δομές με υψηλή ακρίβεια και επαναληψιμότητα.

Ανόπτηση: Τα βάζα με κουδούνια χρησιμοποιούνται σε διαδικασίες ανόπτησης για να υποβληθούν οι γκοφρέτες ημιαγωγών σε ελεγχόμενη θερμική επεξεργασία, διευκολύνοντας την κρυστάλλωση, την ενεργοποίηση των ρύπων και την ανακούφιση από το στρες στα εναποτιθέμενα φιλμ.