Βάζο 15" Quartz Bell

Το Semicorex 15" Quartz Bell Jar έχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται σε αυτές τις προκλήσεις, παρέχοντας μια λύση υψηλής απόδοσης για επεξεργασία παρτίδων μεσαίας έως μεγάλης κλίμακας όπου η θερμική ομοιομορφία και η καθαρότητα του υλικού είναι απαραίτητες για τη μεγιστοποίηση της απόδοσης. Στις βιομηχανίες ημιαγωγών και λεπτών υμενίων, η ακεραιότητα του θαλάμου επεξεργασίας είναι μεγαλύτερη. καθαρό, σταθερό και χημικά αδρανές περιβάλλον γίνεται αδιαπραγμάτευτο.

1. Επιστήμη των Υλικών: Η Καθαρότητα του Τετηγμένου Πυριτίου

Η βάση του κουδουνιού μας είναι υψηλής καθαρότηταςτηγμένο πυρίτιο (Χαλαζίας). Σε αντίθεση με το τυπικό γυαλί, ο χαλαζίας αποτελείται σχεδόν εξ ολοκλήρου από SiO2, παρέχοντας μοναδικές ιδιότητες που είναι ζωτικής σημασίας για την κατασκευή ημιαγωγών:

Εξαιρετικά χαμηλή μόλυνση: Ο χαλαζίας μας υποβάλλεται σε επεξεργασία για την ελαχιστοποίηση των μεταλλικών ιχνοστοιχείων (όπως Al, Fe, Na και K) στο επίπεδο των μερών ανά δισεκατομμύριο (ppb). Αυτό αποτρέπει τη διάχυση ακαθαρσιών στη γκοφρέτα κατά τη διάρκεια κύκλων υψηλής θερμοκρασίας, διασφαλίζοντας την ηλεκτρική ακεραιότητα των συσκευών.

Ανώτερη αντίσταση σε θερμικό σοκ: Ο χαλαζίας διαθέτει σχεδόν μηδενικό συντελεστή θερμικής διαστολής (CTE). Αυτό επιτρέπει στο βάζο Quartz Bell 15" να αντέχει σε ταχεία αύξηση της θερμοκρασίας και σβήσιμο χωρίς τον κίνδυνο θραύσης ή δομικής κόπωσης - μια κρίσιμη απαίτηση για αντιδραστήρες υψηλής απόδοσης.

Εξαιρετική χημική αδράνεια: Ο χαλαζίας είναι εξαιρετικά ανθεκτικός στα περισσότερα οξέα (με εξαίρεση το υδροφθορικό οξύ) και στα διαβρωτικά αέρια διεργασίας, διασφαλίζοντας ότι ο θάλαμος δεν αποικοδομείται ή εξέρχεται από αέρια κατά τους κύκλους επιθετικής χάραξης ή εναπόθεσης.

2. Μηχανική ακριβείας και οπτική διαύγεια

Το βάζο Quartz Bell 15" παρέχει μέγιστο όγκο και βέλτιστη δυναμική ροής αερίου για το σκοπό της επεξεργασίας γκοφρέτας παρτίδας. Το βάζο έχει μια κατακόρυφη καμινάδα (γνωστή και ως λαιμός) που είναι ιδανικά σχεδιασμένη για να παρέχει είσοδο για αέριο ή να βοηθά στην εξαγωγή αερίου μέσω κενού από το βάζο, όπως φαίνεται στην παραπάνω εικόνα.

Οπτική Διαφάνεια - Το υψηλό επίπεδο μετάδοσης τουυλικό χαλαζίανα εκπέμπει μήκη κύματος στις υπεριώδεις, ορατές και υπέρυθρες περιοχές του φάσματος επιτρέπει την επεξεργασία σε πραγματικό χρόνο καθώς και τη χρήση εξωτερικών θερμαντικών λαμπτήρων για ταχεία θερμική επεξεργασία (RTP).

Ενισχυμένες επιφάνειες στεγανοποίησης - Ο λαιμός του δοχείου έχει μια ειδικά ανεπτυγμένη αδιαφανή λευκή σφράγιση (αναφέρεται επίσης ως σύνδεσμος εδάφους) που παρέχει μια ερμητική (σφραγισμένη με αέρα) και στεγανή διεπαφή μεταξύ της πλάκας βάσης του αντιδραστήρα και του δοχείου.

Ανόπτηση για ανακούφιση από το στρες - Όλα τα δοχεία με καμπάνα χαλαζία 15" υποβάλλονται σε αυστηρή διαδικασία θερμικής ανόπτησης για την ανακούφιση της εσωτερικής μηχανικής καταπόνησης που έχει ασκηθεί στο βάζο με τη μηχανική διαδικασία εμφύσησης ή διαμόρφωσης του βάζου, μειώνοντας έτσι σημαντικά την πιθανότητα αυθόρμητης βλάβης ενός βάζου όταν τοποθετηθεί υπό κενό.

3. Κρίσιμες Εφαρμογές στο Fab Semiconductor

Το βάζο μας Quartz Bell 15" είναι ειδικά σχεδιασμένο για ενσωμάτωση στις ακόλουθες διαδικασίες υψηλής αξίας:

Silicon Epitaxy: Παρέχει ένα διαφανές, μη αντιδραστικό δοχείο για την ανάπτυξη στρώσεων μονοκρυστάλλου πυριτίου υψηλής ποιότητας.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Αντοχή στο διαβρωτικό περιβάλλον πλάσματος διατηρώντας παράλληλα υψηλή διηλεκτρική αντοχή.

Διάχυση και οξείδωση: Χρησιμεύει ως ένας καθαρός θάλαμος υψηλής θερμότητας για τον σχηματισμό οξειδίων πύλης και την εισαγωγή ρύπων.

Παραγωγή προμορφώματος οπτικών ινών: Ιδανικό για την εναπόθεση στρωμάτων πυριτίου υψηλής καθαρότητας στην κατασκευή εξειδικευμένου γυαλιού.

Στη Semicorex, χειριζόμαστε κάθε βάζο καμπάνας ως ένα κομμάτι εργαστηριακού εξοπλισμού ακριβείας. Η διαδικασία μας περιλαμβάνει: Αυστηρή προμήθεια υλικών με επαληθευμένη ηλεκτρονική ποιότηταχαλαζίαςπλινθώματα? προηγμένη κατασκευή που συνδυάζει τις παραδοσιακές δεξιότητες φυσήματος γυαλιού με λείανση και στίλβωση ελεγχόμενη από CNC. και ενδελεχής επιθεώρηση με χρήση πολωμένου φωτός για την ανίχνευση υπολειπόμενης τάσης και συμβολομετρία λέιζερ για ακριβείς ελέγχους διαστάσεων.