Δορυφορική πλάκα

Η δορυφορική πλάκα ημιτονοειδούς είναι ένας ζωτικός φορέας πλακιδίων κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επιταξικής ανάπτυξης, εγγυώντας την ομοιόμορφη εναπόθεση και τη βέλτιστη απόδοση της διαδικασίας. Κατασκευασμένο από γραφίτη υψηλής καθαρότητας και επικαλυμμένο με ένα ισχυρό στρώμα καρβιδίου πυριτίου (SIC), αυτή η πλάκα προσφέρει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, χημική αντίσταση και μηχανική αντοχή, εδραιώνει τη θέση του ως απαραίτητο συστατικό στην κατασκευή ημιαγωγών υψηλής απόδοσης.

Με μια βάση γραφίτη υψηλής καθαρότητας, η δορυφορική πλάκα υπερέχει σε θερμική αγωγιμότητα και δομική ακεραιότητα. ΟΕπικάλυψηΕνισχύει σημαντικά την ανθεκτικότητά του, παρέχοντας αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, χημική αδράνεια και μείωση της παραγωγής σωματιδίων. Αυτός ο ισχυρός συνδυασμός εξασφαλίζει ότι η πλάκα υπομένει σκληρές συνθήκες επεξεργασίας ενώ εκτελείται σταθερά σε υψηλό επίπεδο. Η βάση γραφίτη διευκολύνει την αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας, εξασφαλίζοντας την ομοιόμορφη κατανομή της θερμοκρασίας σε ολόκληρο το δίσκο, ενώ η επίστρωση SIC προστατεύει από τα αέρια των διαβρωτικών διεργασιών, αποτρέποντας τη μόλυνση και επεκτείνοντας τη διάρκεια ζωής. Επιπλέον, η επιφάνεια SIC ελαχιστοποιεί την απελευθέρωση σωματιδίων, η οποία είναι κρίσιμη για την επίτευξη κατασκευής ημιαγωγών υψηλής απόδοσης.

Σχεδιασμένο ειδικά για απρόσκοπτη ενσωμάτωση με συστήματα Aixtron G5+, η δορυφορική πλάκα εγγυάται την ακριβή τοποθέτηση και την ισορροπία περιστροφής, απαραίτητη για τη διατήρηση σταθερών θερμικών συνθηκών και τη μείωση των ποσοστών ελαττωμάτων. Η προηγμένη σύνθεση υλικού της πλάκας όχι μόνο επεκτείνει τη διάρκεια ζωής της, αλλά και σημαντικά μειώνει το λειτουργικό κόστος και ενισχύει την παραγωγικότητα της παραγωγής.

Χρησιμοποιείται κυρίως στη διαδικασία εναπόθεσης μεταλλικών οργανικών χημικών ατμών (MOCVD), η δορυφορική πλάκα είναι ζωτικής σημασίας για την καλλιέργεια επιταξιακών στρωμάτων σε πλακίδια ημιαγωγών. Διαδραματίζει βασικό ρόλο στην παραγωγή προχωρημένων συσκευών ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων των LED, της ηλεκτρονικής ισχύος με βάση το SIC και του GAN, των φωτονικών και των οπτοηλεκτρονικών εξαρτημάτων και των συσκευών RF υψηλής συχνότητας. Εξασφαλίζοντας σταθερές θερμικές συνθήκες και ελαχιστοποιώντας τη μόλυνση, η δορυφορική πλάκα εγγυάται συνεπή ανάπτυξη επιταξιακής στρώσης, οδηγώντας σε βελτιωμένο χειρισμό πλακιδίων και υψηλότερους ρυθμούς απόδοσης. Ο βελτιστοποιημένος σχεδιασμός του εξασφαλίζει την αποτελεσματική υποστήριξη του Wafer, μειώνοντας τα ελαττώματα και εξασφαλίζοντας την ακρίβεια σε όλα τα στάδια επεξεργασίας ημιαγωγών.

Το Semicorex δορυφορικό πιάτο χρησιμεύει ως βασικό συστατικό για τους αντιδραστήρες επιταξίας Aixtron G5+, παρέχοντας απαράμιλλη ανθεκτικότητα, χημική αντίσταση και θερμική απόδοση. Η σύνθεση και η μηχανική του υλικού αιχμής το καθιστούν κρίσιμο για τη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, εξασφαλίζοντας την παραγωγή πλακιδίων υψηλής απόδοσης και υψηλής ποιότητας. Επενδύστε στη δορυφορική πλάκα για να αυξήσετε την κατασκευή ημιαγωγών και να επιτύχετε την αριστεία στις διαδικασίες επιταξιακής ανάπτυξης.