Προϊόντα

Το Semicorex Quartz Susceptor Support έχει σχεδιαστεί ειδικά για επιταξιακούς κλιβάνους ημιαγωγών. Τα υλικά υψηλής καθαρότητας και η ακριβής δομή του επιτρέπουν τον ακριβή έλεγχο ανύψωσης και τοποθέτησης δίσκων ή υποδοχών δειγμάτων εντός του θαλάμου αντίδρασης. Η Semicorex μπορεί να παρέχει εξατομικευμένες λύσεις χαλαζία υψηλής καθαρότητας, διασφαλίζοντας μακροπρόθεσμη σταθερότητα απόδοσης κάθε εξαρτήματος υποστήριξης σε περιβάλλοντα διεργασιών ημιαγωγών υψηλού κενού, υψηλής θερμοκρασίας και εξαιρετικά διαβρωτικά μέσω προηγμένης τεχνολογίας επεξεργασίας και αυστηρού ποιοτικού ελέγχου.*

Τα Semicorex CVD TaC Coated Susceptors είναι υψηλής απόδοσης υποδοχείς γραφίτη με πυκνή επίστρωση TaC, σχεδιασμένα να παρέχουν εξαιρετική θερμική ομοιομορφία και αντοχή στη διάβρωση για απαιτητικές διαδικασίες επιταξιακής ανάπτυξης SiC. Το Semicorex συνδυάζει την προηγμένη τεχνολογία επίστρωσης CVD με τον αυστηρό έλεγχο ποιότητας για να παρέχει μακράς διαρκείας, χαμηλής μόλυνσης υποδοχείς που εμπιστεύονται οι παγκόσμιοι κατασκευαστές SiC epi.*

Οι υποδοχείς Semicorex SiC epi-wafer κατασκευασμένοι από επικαλυμμένο με SiC γραφίτη έχουν σχεδιαστεί για να παρέχουν εξαιρετική θερμική ομοιομορφία και χημική σταθερότητα σε διαδικασίες επιταξιακής ανάπτυξης σε υψηλή θερμοκρασία. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει προϊόντα υψηλότερης ποιότητας και την καλύτερη εξυπηρέτηση σε πελάτες παγκοσμίως. Με ισχυρή τεχνική εξειδίκευση και αξιόπιστες κατασκευαστικές δυνατότητες, βοηθάμε τους παγκόσμιους συνεργάτες να επιτύχουν σταθερή απόδοση και μακροπρόθεσμη αξία.*

Οι επικαλυμμένοι με SiC υποδοχείς γραφίτη MOCVD είναι τα βασικά συστατικά που χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό εναπόθεσης ατμών μετάλλων-οργανικών χημικών ατμών (MOCVD), οι οποίοι είναι υπεύθυνοι για τη συγκράτηση και τη θέρμανση των υποστρωμάτων πλακιδίων. Με την ανώτερη θερμική διαχείριση, τη χημική αντίσταση και τη σταθερότητα των διαστάσεων τους, οι επικαλυμμένοι με SiC γραφίτη MOCVD υποδοχείς θεωρούνται ως η βέλτιστη επιλογή για υψηλής ποιότητας επιταξία υποστρώματος πλακιδίων.

Το Semicorex CVD TaC Coated Susceptor είναι μια premium λύση σχεδιασμένη για επιταξιακές διεργασίες MOCVD, παρέχοντας εξαιρετική θερμική σταθερότητα, καθαρότητα και αντοχή στη διάβρωση κάτω από ακραίες συνθήκες διεργασίας. Η Semicorex εστιάζει στην τεχνολογία επίστρωσης σχεδιασμένη με ακρίβεια που εξασφαλίζει σταθερή ποιότητα γκοφρέτας, εκτεταμένη διάρκεια ζωής εξαρτημάτων και αξιόπιστη απόδοση σε κάθε κύκλο παραγωγής.*

Το Semicorex TaC Coating Wafer Susceptor είναι ένας δίσκος γραφίτη επικαλυμμένος με καρβίδιο τανταλίου, που χρησιμοποιείται στην επιταξιακή ανάπτυξη καρβιδίου του πυριτίου για τη βελτίωση της ποιότητας και της απόδοσης της γκοφρέτας. Επιλέξτε το Semicorex για την προηγμένη τεχνολογία επίστρωσης και τις ανθεκτικές λύσεις που εξασφαλίζουν ανώτερα αποτελέσματα επιτάξεως SiC και εκτεταμένη διάρκεια ζωής του υποδοχέα.*