Πλανητικός αρχιπλοειδής

Το Semicorex Planetary Sensceptor είναι ένα απαραίτητο συστατικό για τους αντιδραστήρες επιταξίας ημιαγωγών, ειδικά σχεδιασμένα για εξοπλισμό Aixtron G5+. Κατασκευασμένο από γραφίτη υψηλής καθαρότητας καιεπικαλυμμένο με καρβίδιο πυριτίου (sic), αυτός ο αισθητήρας εγγυάται ανώτερη θερμική σταθερότητα, εξαιρετική χημική αντίσταση και απαράμιλλη απόδοση σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.

Ο αντιδραστήρας επιταξίας Aixtron G5+ αποτελεί δείκτη αναφοράς στη βιομηχανία για τις διαδικασίες ανάπτυξης GAN, SIC και άλλων σύνθετων ημιαγωγών. Ο πλανητικός ευαισθητής είναι καθοριστικός στη βελτιστοποίηση της ροής του αερίου, εξασφαλίζοντας ακριβή περιστροφή δίσκων, διατηρώντας τον ακριβή έλεγχο της θερμοκρασίας και την επίτευξη ομοιόμορφης εναπόθεσης επιταξιακών στρωμάτων. Ο καινοτόμος σχεδιασμός του ενισχύει σημαντικά την επαναληψιμότητα της διαδικασίας, καθιστώντας την ιδανική επιλογή για περιβάλλοντα παραγωγής μεγάλου όγκου.

Βασικά χαρακτηριστικά  

- Σύνθεση προηγμένου υλικού: Κατασκευασμένο από γραφίτη υψηλής καθαρότητας με επίστρωση SIC, παρέχοντας ενισχυμένη ανθεκτικότητα και αντίσταση σε σκληρές συνθήκες διεργασίας.  

- Βελτιστοποιημένη θερμική απόδοση: Εξασφαλίζει την ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας, κρίσιμη για την ανάπτυξη επιταξιακής στρώσης υψηλής ακρίβειας.  

- Χημική αντίσταση: Η επικάλυψη SIC εμποδίζει την οξείδωση γραφίτη, επεκτείνοντας τη διάρκεια ζωής του ευαισθησία και διατηρώντας την καθαρότητα της διαδικασίας.  

- Μηχανική ακριβείας: Σχεδιασμένο για να ικανοποιεί τις αυστηρές απαιτήσεις των συστημάτων Aixtron G5+, εξασφαλίζοντας απρόσκοπτη ολοκλήρωση και βέλτιστη απόδοση του αντιδραστήρα.  

- Υψηλή ομοιομορφία επιφάνειας: ελαχιστοποιεί τη μόλυνση των σωματιδίων, την υποστήριξη της ανώτερης ποιότητας των δισκίων και την υψηλότερη απόδοση στην κατασκευή ημιαγωγών.  

Πλεονεκτήματα του πλανητικού μας ευαισθησία  

- εκτεταμένη διάρκεια ζωής: τοΕπικάλυψημειώνει σημαντικά τη φθορά, με αποτέλεσμα τη χαμηλότερη συχνότητα αντικατάστασης και το μειωμένο λειτουργικό κόστος.  

- Βελτιωμένη σταθερότητα της διαδικασίας: Εξασφαλίζει σταθερή θέρμανση και ελάχιστες θερμικές κλίσεις, οδηγώντας σε παραγωγή υψηλής ποιότητας.  

- Συμβατότητα & προσαρμογή: Διατίθεται σε τυποποιημένα και προσαρμοσμένα σχέδια για την κάλυψη συγκεκριμένων απαιτήσεων διαδικασίας Aixtron G5+.  

ΓραφίτηςΤα εξαρτήματα διαδραματίζουν έναν απαραίτητο και πολύ σημαντικό ρόλο στη διαδικασία ημιαγωγών. Η ποιότητα των υλικών γραφίτη έχει μεγάλη επίδραση στην ποιότητα των τελικών προϊόντων. Η συνέπεια της παρτίδας γραφίτη και η ομοιογένεια υλικού μπορούν να ελεγχθούν και να εγγυηθούν μέσω της παραγωγικής διαδικασίας.

1. Μικρή παραγωγή παρτίδας, ο φούρνος ανθρακούχου χρησιμοποιεί μόνο ένα μικρό φούρνο με μόνο 50 κυβικά μέτρα

2. Κάθε κομμάτι υλικού παρακολουθείται και παρακολουθείται

3. Παρακολούθηση θερμοκρασίας πολλαπλών σημείων στον χώρο του κλιβάνου για να διασφαλιστεί ότι η διαφορά θερμοκρασίας διατηρείται σε πολύ μικρό εύρος

4. Παρακολούθηση θερμοκρασίας πολλαπλών σημείων στο υλικό για να διασφαλιστεί ότι η διαφορά θερμοκρασίας διατηρείται σε πολύ μικρό εύρος

Το Semicorex Planetary Sensceptor είναι η λύση Premium για τους αντιδραστήρες Aixtron G5+, προσφέροντας εξαιρετική θερμική σταθερότητα, χημική αντοχή και απόδοση ακριβείας. Σχεδιασμένο για τις πιο απαιτητικές διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών, οδηγεί σε υψηλότερες αποδόσεις πλακιδίων, ελαχιστοποιεί τον κίνδυνο μόλυνσης και επεκτείνει τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού. Αναβαθμίστε το σύστημα επιταξίας σας με ένα κορυφαίο αισθητήρα για απαράδεκτα αποτελέσματα.