Η δομή του Ηλεκτροστατικού Τσοκ (ESC)

ΕναΗλεκτροστατικό τσοκ (ESC)είναι μια συσκευή που χρησιμοποιείται για τη συγκράτηση των γκοφρετών ημιαγωγών στη θέση τους κατά τη διάρκεια διεργασιών όπως η χάραξη, η εναπόθεση ή η στίλβωση. Λειτουργεί δημιουργώντας ένα ηλεκτροστατικό πεδίο για να προσελκύει και να συγκρατεί με ασφάλεια τη γκοφρέτα στην επιφάνεια του τσοκ, παρέχοντας σταθερότητα και ακριβή ευθυγράμμιση κατά το χειρισμό της γκοφρέτας. Τα ESC χρησιμοποιούνται ευρέως στην κατασκευή ημιαγωγών για τη βελτίωση της ακρίβειας της διαδικασίας και της αποτελεσματικότητας χειρισμού πλακιδίων.

Η πραγματική εικόνα ενός συμβατικούηλεκτροστατικό τσοκ (ESC)απεικονίζεται στο σχήμα. Η κύρια διαφορά μεταξύ των μοντέλων έγκειται στο υλικό μονωτικής στρώσης στην επιφάνεια του ηλεκτροστατικού τσοκ. Στο σχήμα, το σκούρο χρώμα αντιπροσωπεύει το νιτρίδιο του αργιλίου, ενώ το λευκό το οξείδιο του αλουμινίου. Η δομή τουηλεκτροστατικό τσοκαποτελείται από πολλά μέρη:

1. **Μονωτικό στρώμα**: Αυτή η στρώση έρχεται σε επαφή με τη γκοφρέτα, συνήθως κατασκευασμένη από νιτρίδιο αλουμινίου ή κεραμικό οξείδιο του αργιλίου λόγω της εξαιρετικής μηχανικής αντοχής, της αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία και της καλής θερμικής αγωγιμότητας.

2. **Πείρος εκτίναξης και τρύπα αερίου**: Ο πείρος εκτίναξης έχει σχεδιαστεί για να μεταφέρει τη γκοφρέτα. Όταν η γκοφρέτα εισέλθει στον θάλαμο χάραξης, ο πείρος εξαγωγής ανεβαίνει για να τη στηρίξει και, στη συνέχεια, χαμηλώνει για να τοποθετήσει τη γκοφρέτα στην επιφάνεια του ηλεκτροστατικού τσοκ. Ο πείρος εκτίναξης έχει συνήθως μια κοίλη δομή, που επιτρέπει την εισαγωγή αερίου ηλίου για να βοηθήσει στην ψύξη της γκοφρέτας.

3. **Κανάλι Back He Flow**: Αυτό το συστατικό ενισχύει τη διάχυση θερμότητας και διευκολύνει την προσρόφηση της γκοφρέτας.

4. **Ηλεκτροστατικό ηλεκτρόδιο**: Αυτό το ηλεκτρόδιο δημιουργεί ένα ηλεκτρικό πεδίο που δημιουργεί την ηλεκτροστατική δύναμη που απαιτείται για να συγκρατήσει τη γκοφρέτα στη θέση της. Τυπικά, το ηλεκτρόδιο είναι επίπεδο και είτε ενσωματώνεται είτε εναποτίθεται στο μονωτικό υλικό. Τα συνήθως χρησιμοποιούμενα αγώγιμα υλικά περιλαμβάνουν αλουμίνιο, χαλκό και βολφράμιο.

5. **Κυκλοφορούμενο νερό ψύξης και ηλεκτρόδιο θέρμανσης**: Αυτά τα στοιχεία είναι κυρίως υπεύθυνα για τον συνολικό έλεγχο της θερμοκρασίας του ηλεκτροστατικού τσοκ. Το ηλεκτρόδιο θέρμανσης και το κυκλοφορούν νερό ψύξης λειτουργούν παράλληλα για να διατηρήσουν μια σταθερή θερμοκρασία για τη γκοφρέτα. Η εξάρτηση αποκλειστικά από το κυκλοφορούν νερό ψύξης μπορεί να οδηγήσει σε αδυναμία διαχείρισης της θερμότητας που παράγεται κατά τη διαδικασία χάραξης, δυνητικά υπονομεύοντας τη σταθερότητα της διαδικασίας.  

Το Semicorex προσφέρει υψηλή ποιότηταΗλεκτροστατικό τσοκ (ESC). Εάν έχετε οποιαδήποτε απορία ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com