Τι είναι η χάραξη πλάσματος χαμηλής θερμοκρασίας;

Το πλάσμα είναι η τέταρτη κατάσταση της ύλης και παίζει καθοριστικό ρόλο τόσο σε βιομηχανικές εφαρμογές όσο και σε φυσικά φαινόμενα. Για παράδειγμα, το πλάσμα υπάρχει στους κεραυνούς και παράγεται άφθονο στην επιφάνεια του ήλιου, όπου η θερμοκρασία του πυρήνα φτάνει τους εκπληκτικούς 13.500°C. Αυτό το πλάσμα υψηλής θερμοκρασίας δεν είναι κατάλληλο για τις περισσότερες διαδικασίες βιομηχανικής παραγωγής.

Από την άλλη πλευρά, το πλάσμα χαμηλής θερμοκρασίας είναι μια τεχνητά δημιουργημένη μορφή πλάσματος που χρησιμοποιεί ενέργεια, αντί θερμότητα, για να επιταχύνει τις χημικές αντιδράσεις. Η θερμοκρασία του κυμαίνεται συνήθως από τη θερμοκρασία δωματίου έως αρκετές εκατοντάδες βαθμούς Κελσίου, καθιστώντας το εξαιρετικά αποτελεσματικό για διάφορες εφαρμογές.

Βήματα για τη δημιουργία τεχνητού πλάσματος:

1. Μειώστε την πίεση στο θάλαμο: Ξεκινήστε χρησιμοποιώντας μια αντλία κενού για να μειώσετε την πίεση στην κοιλότητα. Η επίτευξη χαμηλής πίεσης είναι απαραίτητη για τη σταθεροποίηση του πλάσματος και τη διευκόλυνση του ιονισμού αερίου.

2. Εισαγωγή αερίου διεργασίας: Εισάγετε συγκεκριμένα αέρια διεργασίας στην κοιλότητα. Αυτά τα αέρια χρησιμεύουν ως η κύρια πηγή σωματιδίων στο πλάσμα.

3. Διεγείρετε το πλάσμα: Εφαρμόστε ισχύ για να ιονίσετε το αέριο, σχηματίζοντας αποτελεσματικά πλάσμα.

4. Απενεργοποιήστε το πλάσμα και επαναφέρετε την ατμοσφαιρική πίεση: Μόλις ολοκληρωθούν οι επιθυμητές αντιδράσεις, απενεργοποιήστε το πλάσμα και επαναφέρετε το θάλαμο στην ατμοσφαιρική πίεση.

Εφαρμογές του πλάσματος χαμηλής θερμοκρασίας στην κατασκευή ημιαγωγών:

Το πλάσμα χαμηλής θερμοκρασίας είναι απαραίτητο στην κατασκευή ημιαγωγών, εξυπηρετώντας κρίσιμες λειτουργίες σε ξηρή χάραξη, φυσική εναπόθεση ατμού (PVD), χημική εναπόθεση ατμού (CVD), εναπόθεση ατομικού στρώματος (ALD), εμφύτευση ιόντων, τέφρα και ανίχνευση τελικού σημείου. Η ευελιξία και η αποτελεσματικότητά του το καθιστούν βασικό εργαλείο στον κλάδο.

Προσφορές Semicorexυψηλής ποιότητας λύσεις για χάραξη πλάσματος. Εάν έχετε οποιαδήποτε απορία ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com