Υποδοχέας Epi-SiC

Το Semicorex Epi-SiC Susceptor, μια συμβολή αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, χημικής αδράνειας και ανώτερης θερμικής διάχυσης, αποτελεί πρότυπο ανθεκτικότητας και αποτελεσματικότητας απέναντι στις έντονες συνθήκες που είναι συνώνυμες με τις προσπάθειες επιταξιακής ανάπτυξης. Η εφαρμογή μιας επίστρωσης SiC αυξάνει σημαντικά τις θερμικές ιδιότητες του Epi-SiC Susceptor. Αυτή η βελτίωση διευκολύνει την ομοιόμορφη θερμική κατανομή που είναι απαραίτητη για τη θέρμανση των πλακών, καίριας σημασίας για την εναπόθεση σταθερών, υψηλής ποιότητας επιταξιακών στρωμάτων σε γκοφρέτες ημιαγωγών.

Προσαρμοσμένο για να ανταποκρίνεται στις απαιτητικές απαιτήσεις των επιταξιακών διεργασιών γκοφρέτας, το Epi-SiC Susceptor στηρίζει την απρόσκοπτη μεταφορά πλακιδίων μέσα στο περιβάλλον του κλιβάνου. Ο στιβαρός σχεδιασμός του είναι ένα προπύργιο κατά της μετατόπισης ή του συμβιβασμού της γκοφρέτας, μειώνοντας έτσι την επίπτωση της ζημιάς σε όλα τα κρίσιμα στάδια ανάπτυξης του επιταξιακού στρώματος. Επιπλέον, το Epi-SiC Susceptor δρα ως προστατευτικό φράγμα για το υπόστρωμα γραφίτη από κάτω, προστατεύοντάς το από τις χημικές αλληλεπιδράσεις και την τριβή που μπορεί να προκαλέσουν οι επιταξιακές διεργασίες.

Η σύντηξη ενός ελαστικού πυρήνα γραφίτη με μια προστατευτική επίστρωση SiC όχι μόνο ενισχύει τις μετρήσεις απόδοσης του Epi-SiC Susceptor αλλά και παρατείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής του. Το αποτέλεσμα είναι μια επένδυση που αποφέρει μερίσματα με τη μορφή σταθερής λειτουργικής εξοικονόμησης για τις επιχειρήσεις παραγωγής ημιαγωγών, τοποθετώντας το Epi-SiC Susceptor ως μια συνετή επιλογή για όσους θέλουν να βελτιστοποιήσουν τις παραγωγικές τους δραστηριότητες.