Καπάκι

Το Semicorex SIC LID είναι ένα ζωτικό μέρος που έχει σχεδιαστεί ειδικά για επεξεργασία ημιαγωγών. Έχει σχεδιαστεί για τα πιο σκληρά περιβάλλοντα στην επιταξία, την εμφύτευση ιόντων και τις εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας. Κατασκευάζεται από εξαιρετικά φιλόξενο καρβίδιο πυριτίου το οποίο έχει εξαιρετικά σταθερές ιδιότητες υλικού και μηχανική ακρίβεια. Η μακροπρόθεσμη συνέπεια, η ανθεκτικότητα και η καθαριότητα είναι οι βασικοί λόγοι για την επιλογή του καπακιού Semicorex SIC για χρήση σε προηγμένες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών.

Καρβίδιο πυριτίου (sic)έχει μια σειρά ιδιοτήτων που είναι μοναδικές σε σύγκριση με τα παραδοσιακά κεραμικά ή μεταλλικά υλικά. Ένα από τα κύρια πλεονεκτήματα της SIC είναι η αντίσταση του σε υψηλές θερμοκρασίες. Η SIC μπορεί να διατηρήσει τη δομική ακεραιότητα και τη μηχανική σταθερότητα - για μεγάλες χρονικές περιόδους ακόμη και σε αυξημένες θερμοκρασίες. Αυτό καθιστά το SIC ιδανικό για διεργασίες όπως η επιταξία από την εναπόθεση χημικών ατμών (CVD) ή η εμφύτευση ιόντων υψηλής ενέργειας. Τα μέταλλα και τα πλαστικά θα παραμορφώνουν, θα οξειδώνουν ή θα μολύνουν σε ακραίες θερμοκρασίες, ενώ η SIC θα διατηρήσει τη σταθερότητα των διαστάσεων και δεν θα αλληλεπιδράσει θετικά με την επεξεργασία των πλακιδίων.

Η χημική αντίσταση είναι ένα άλλο διακριτικό χαρακτηριστικό των καπακιών SIC. Στο ημιαγωγό επεξεργάζοντας τα περιβάλλοντα που ενδέχεται να συναντήσετε με διαβρωτικά αέρια, το πλάσμα ή τα αντιδραστικά χημικά δεν είναι ασυνήθιστα. Σε αυτά τα σενάρια η επιφάνεια SIC θα παρέχει ένα αδρανές φράγμα για να αντισταθεί σε αυτές τις μολυντές από την υποβάθμιση της επιφάνειας με την πάροδο του χρόνου με αποτέλεσμα μια μεγαλύτερη αποτελεσματική ζωή. Αυτή η μακροζωία ισοδυναμεί με μειωμένο κόστος συντήρησης, μειωμένο χρόνο εξοπλισμού και επαναληψιμότητα σε εκτεταμένους κύκλους διεργασίας. Αυτοί οι παράγοντες καθιστούν το καπάκι SIC μια καλύτερη επιλογή για FAB που απαιτούν συνεχή, υψηλή παραγωγή απόδοσης σε σύγκριση με τα παραδοσιακά υλικά.

Ακριβώς όπως η χημική αντίσταση, η καθαρότητα είναι επίσης πρωταρχική στην εφαρμογή ημιαγωγού. Η παρουσία ιχνοστοιχείων μπορεί να έχει αρνητικό αντίκτυπο στην απόδοση και την απόδοση της συσκευής. Το καπάκι SIC είναι κατασκευασμένο από υλικά καρβιδίου πυριτίου υψηλής καθαρότητας, τα οποία αποκλείουν τη δυνατότητα μεταλλικών ακαθαρσιών που ρέουν στο περιβάλλον της διαδικασίας. Επιπλέον, είναι εγγυημένο ότι είναι όσο το δυνατόν πιο καθαρό και σταθερό, καθώς σχετίζεται με τους μολυντές και τις εξωτερικές δυνάμεις που επηρεάζουν την απόδοση του καπακιού, η οποία είναι κρίσιμη για την εκπλήρωση των σημερινών απαιτήσεων κατασκευής ημιαγωγών, όπου τα αντικείμενα επιπέδου νανομέτρου πρέπει να ορίζονται με ακρίβεια χωρίς διαστάσεις και τον έλεγχο των μολυντών. Η ευελιξία που προσφέρει το καπάκι SIC είναι πρόσθετη αξία. Κάθε στοιχείο μπορεί να σχεδιαστεί για τις ανάγκες ενός συγκεκριμένου πελάτη σε σχέση με το μέγεθος, τη γεωμετρία και το φινίρισμα της επιφάνειας. Αυτό εξασφαλίζει ότι το καπάκι μπορεί εύκολα να ενσωματωθεί και να ενσωματωθεί σε διαφορετικά μοντέλα εξοπλισμού και εργαλεία επεξεργασίας.

Την ακρίβεια της κατεργασίας τουΟύτωΤα καπάκια βελτιώνουν περαιτέρω την αξία των καπακιών SIC. Τα εργαλεία ημιαγωγού απαιτούν την υψηλότερη μηχανική ακρίβεια λόγω των μεγάλων διακυμάνσεων της συμβατότητας και της ομοιομορφίας της επιφάνειας, ακόμη και οι μικρές διακυμάνσεις της ομοιομορφίας και του πάχους του υλικού μπορεί να θέσουν σε κίνδυνο τις συνεκτικές διαδικασίες, τη διακίνηση και την ποιότητα του προϊόντος. Μέσω των προηγμένων τεχνολογιών στην επεξεργασία υλικών, τα καπάκια SIC έχουν επιπεδότητα, ομοιομορφία επιφάνειας και ανοχές που υπερβαίνουν τα συμβατικά βιομηχανικά πρότυπα, προσφέροντας πάχος επιφάνειας μηχανικής σφράγισης, τυπικά, χιλιάδες/χιλιάδες ίντσες (TIR). Η υψηλή επιπεδότητα επιτρέπει τη σφράγιση μιας μηχανικής προσαρμογής καθώς και τη διαβεβαίωση των ορίων εργαστηριακών βαθμών για την εμπειρία των συνθηκών στη διαδικασία παραγωγής. Αυτό είναι ιδιαίτερα εμφανές σε μεγάλους όγκους FAB, όπου η έμφαση στην επαναληψιμότητα των συνθηκών είναι ζωτικής σημασίας για την απόδοση των συσκευών ημιαγωγών. Όταν ακολουθείτε την Engineering Precision, μιλά άμεσα για να δώσει βελτιστοποίηση. Όταν τα καπάκια SIC είναι σε τυπική πρακτική χρήση, για παράδειγμα, στην επιταξία όπου το καπάκι SIC κάθεται θερμικά και χημικά σταθερά για να εισέλθουν στον αντιδραστήρα ή σε ένα σύστημα εμφύτευσης ιόντων για να αντισταθούν οι ενεργειακοί σωματίδια που εκτοξεύονται από μια υψηλή δέσμη ισχύος των ιόντων που χτυπούν το καπάκι, οι μηχανικές διαμορφώσεις και οι ιδιότητές τους διατηρούνται από τις επιδόσεις τους κάτω από τη σταθερή βομβαρδισμούς των στερεών, των στελεχών, των στελεχών που διατηρούνται από τις επιδόσεις τους. στο γιατί τα καπάκια SIC προορίζονται να είναι συνώνυμα στην παραγωγή ημιαγωγών στερεάς κατάστασης.

Το Semicorex SIC LID αντιπροσωπεύει το καλύτερο τόσο της επιστήμης των υλικών όσο και της υλικής μηχανικής και προσφέρει την καλύτερη δυνατή απόδοση στο περιβάλλον των ημιαγωγών, μεταξύ των ανοχών υψηλής θερμοκρασίας, της χημικής αντοχής, της ιδανικής καθαρότητας, των προσαρμοσμένων κατασκευών, της ακριβούς εργασίας της επεξεργασίας, το καπάκι SIC θα εκτελέσει.