Θερμοσίφωνες αλουμινίου

Οι θερμαντήρες νιτριδίου από αλουμίνιο από ημι-αλουμινίου είναι state-of-the-art κεραμικά στοιχεία θέρμανσης που έχουν σχεδιαστεί για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή θερμική αγωγιμότητα, ηλεκτρική μόνωση και εξαιρετική ανθεκτικότητα. Κατασκευασμένα από κεραμικά νιτριδίου αλουμινίου, αυτές οι θερμαντήρες παρέχουν ταχεία και ομοιόμορφη θέρμανση, καθιστώντας τα ιδανικά για περιβάλλοντα υψηλής ακρίβειας, όπως η επεξεργασία ημιαγωγών, η ιατρική διάγνωση και τα προηγμένα αναλυτικά όργανα.

Οι θερμαντήρες νιτριδίου αλουμινίου αποτελούν βασικά συστατικά στον εξοπλισμό εναπόθεσης λεπτών μεμβρανών ημιαγωγών. Εφαρμόζονται άμεσα στο θάλαμο επεξεργασίας και σε άμεση επαφή με το δίσκο. Δεν φέρνουν μόνο το δίσκο, αλλά και εξασφαλίζουν ότι το δίσκο αποκτά ένα 

Σταθερή και ομοιόμορφη θερμοκρασία διεργασίας. Αυτό το χαρακτηριστικό είναι απαραίτητο για τις αντιδράσεις υψηλής ακρίβειας στην επιφάνεια του δίσκου και τη δημιουργία ομοιόμορφων λεπτών μεμβρανών.

Συνήθως, οι θερμαντήρες νιτριδίου αλουμινίου περιλαμβάνουν ένα κεραμικό υπόστρωμα με επιφάνεια φόρτωσης δίσκου και ένα κυλινδρικό σώμα υποστήριξης που το υποστηρίζει στην πλάτη. Εκτός από ένα κύκλωμα θέρμανσης αντίστασης για θέρμανση, ένα ηλεκτρόδιο RF και ένα ηλεκτροστατικό ηλεκτρόδιο τσοκ και άλλοι αγωγοί παρέχονται επίσης μέσα ή στην επιφάνεια του κεραμικού υποστρώματος.

Ο εξοπλισμός εναπόθεσης λεπτών φιλμ χρησιμοποιεί συνήθως κεραμικά υλικά με βάσηνιτρίδιο αλουμινίου (ALN)Επειδή περιλαμβάνει περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας. Ο λόγος για τον οποίο οι θερμαντήρες νιτριδίου αλουμινίου ευνοούνται στην κατασκευή ημιαγωγών οφείλεται κυρίως στις μοναδικές φυσικές και χημικές τους ιδιότητες. Το νιτρίδιο αλουμινίου όχι μόνο έχει υψηλή θερμική αγωγιμότητα και μπορεί να επιτύχει ταχεία θέρμανση και ψύξη σε σύντομο χρονικό διάστημα, αλλά έχει επίσης καλή ηλεκτρική μόνωση και μηχανική αντοχή, εξασφαλίζοντας τη σταθερότητα και την αξιοπιστία του θερμαντήρα. Επιπλέον, ο συντελεστής θερμικής διαστολής του νιτριδίου αλουμινίου είναι παρόμοιος με αυτόν του πυριτίου, γεγονός που βοηθά στη μείωση της επίδρασης της θερμικής πίεσης στο δίσκο και στη βελτίωση της απόδοσης της διαδικασίας.

Γενικά,κεραμικές θερμαντήρεςχρησιμοποιούνται κυρίως σε εξοπλισμό εναπόθεσης λεπτού φιλμ. Δεδομένου ότι περιλαμβάνει διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας, το κεραμικό υλικό που χρησιμοποιείται είναι κυρίως νιτριδικό αλουμίνιο. Τα ηλεκτροστατικά τσοκ χρησιμοποιούνται κυρίως στον εξοπλισμό χάραξης και το κεραμικό υλικό που χρησιμοποιείται είναι κυρίως οξείδιο του αργιλίου. Με την ανάπτυξη της τεχνολογίας ημιαγωγών, υπάρχει επικάλυψη μεταξύ κεραμικών θερμαντικών και ηλεκτροστατικών τσοκ. Για παράδειγμα, οι κεραμικοί θερμαντήρες που χρησιμοποιούνται σε εξοπλισμό εναπόθεσης λεπτού φιλμ είναι εξοπλισμένοι με ηλεκτροστατικά τσοκ, τα οποία έχουν τις διπλές λειτουργίες της θέρμανσης υψηλής θερμοκρασίας και της ηλεκτροστατικής προσρόφησης. Οι ηλεκτροστατικοί τσοκ που χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό χάραξης αρχίζουν επίσης να περιλαμβάνουν διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας και το κεραμικό υλικό πρέπει να αλλάζει από οξείδιο του αργιλίου σε νιτρίδιο αλουμινίου.