Ηλεκτροστατικό τσοκ E-Chuck

Το Semicorex Electrostatic Chuck E-Chuck λειτουργεί με βάση τις αρχές της ηλεκτροστατικής έλξης, προσφέροντας αξιόπιστη και ακριβή συγκράτηση πλακιδίων χωρίς την ανάγκη μηχανικών σφιγκτήρων ή αναρρόφησης κενού, που χρησιμοποιούνται ειδικά στη χάραξη, εμφύτευση ιόντων

antation, PVD, CVD, κ.λπ. επεξεργασία ημιαγωγών. Οι προσαρμόσιμες διαστάσεις του το καθιστούν προσαρμόσιμο σε ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών, καθιστώντας το ιδανική επιλογή για εταιρείες που αναζητούν ευελιξία και αποτελεσματικότητα στις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών.

Η βασική τεχνολογία πίσω από το ηλεκτροστατικό τσοκ τύπου J-R είναι η ικανότητά του να παράγει ηλεκτροστατική δύναμη μεταξύ της γκοφρέτας και της επιφάνειας του τσοκ. Αυτή η δύναμη δημιουργείται με την εφαρμογή υψηλής τάσης στα ηλεκτρόδια που είναι ενσωματωμένα μέσα στο τσοκ, η οποία προκαλεί φορτία τόσο στη γκοφρέτα όσο και στο τσοκ, δημιουργώντας έτσι έναν ισχυρό ηλεκτροστατικό δεσμό. Αυτός ο μηχανισμός όχι μόνο συγκρατεί τη γκοφρέτα στη θέση της με ασφάλεια, αλλά ελαχιστοποιεί επίσης τη φυσική επαφή μεταξύ της γκοφρέτας και του τσοκ, μειώνοντας την πιθανή μόλυνση ή τη μηχανική καταπόνηση που θα μπορούσε να καταστρέψει ευαίσθητα υλικά ημιαγωγών.

Η Semicorex μπορεί να παράγει τα προσαρμοσμένα προϊόντα, από 200 mm έως 300 mm ή και μεγαλύτερα, ανάλογα με τις απαιτήσεις των πελατών. Προσφέροντας αυτές τις προσαρμόσιμες επιλογές, το ESC τύπου J-R παρέχει μέγιστη ευελιξία για μια σειρά διεργασιών ημιαγωγών, όπως χάραξη πλάσματος, χημική εναπόθεση ατμού (CVD), φυσική εναπόθεση ατμού (PVD) και εμφύτευση ιόντων.

Όσον αφορά τα υλικά, το Electrostatic Chuck E-Chuck είναι κατασκευασμένο από υψηλής ποιότητας κεραμικά υλικά, όπως η αλουμίνα (Al2O3) ή το νιτρίδιο του αλουμινίου (AlN), τα οποία είναι γνωστά για τις εξαιρετικές διηλεκτρικές τους ιδιότητες, τη μηχανική αντοχή και τη θερμική τους σταθερότητα. Αυτά τα κεραμικά παρέχουν στο τσοκ την απαραίτητη ανθεκτικότητα για να αντέχει στις σκληρές συνθήκες της κατασκευής ημιαγωγών, όπως υψηλές θερμοκρασίες, διαβρωτικά περιβάλλοντα και έκθεση στο πλάσμα. Επιπλέον, η κεραμική επιφάνεια γυαλίζεται σε υψηλό βαθμό ομαλότητας για να εξασφαλίσει ομοιόμορφη επαφή με τη γκοφρέτα, ενισχύοντας την ηλεκτροστατική δύναμη και βελτιώνοντας τη συνολική απόδοση της διαδικασίας.

Το Ηλεκτροστατικό Τσοκ E-Chuck είναι επίσης σχεδιασμένο για να χειρίζεται τις θερμικές προκλήσεις που συναντώνται συνήθως στην κατασκευή ημιαγωγών. Η διαχείριση της θερμοκρασίας είναι κρίσιμη κατά τη διάρκεια διεργασιών όπως η χάραξη ή η εναπόθεση, όπου η θερμοκρασία της γκοφρέτας μπορεί να κυμαίνεται γρήγορα. Τα κεραμικά υλικά που χρησιμοποιούνται στο τσοκ παρέχουν εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, βοηθώντας στην αποτελεσματική διάχυση της θερμότητας και στη διατήρηση μιας σταθερής θερμοκρασίας γκοφρέτας.

Το Electrostatic Chuck E-Chuck έχει σχεδιαστεί με έμφαση στην ελαχιστοποίηση της μόλυνσης από σωματίδια, κάτι που είναι κρίσιμο στην κατασκευή ημιαγωγών όπου ακόμη και τα μικροσκοπικά σωματίδια μπορούν να οδηγήσουν σε ελαττώματα στο τελικό προϊόν. Η λεία κεραμική επιφάνεια του τσοκ μειώνει την πιθανότητα προσκόλλησης σωματιδίων και η μειωμένη φυσική επαφή μεταξύ της γκοφρέτας και του τσοκ, χάρη στον ηλεκτροστατικό μηχανισμό συγκράτησης, μειώνει περαιτέρω τον κίνδυνο μόλυνσης. Ορισμένα μοντέλα του τύπου J-R ESC ενσωματώνουν επίσης προηγμένες επικαλύψεις επιφανειών ή επεξεργασίες που απωθούν τα σωματίδια και αντιστέκονται στη διάβρωση, ενισχύοντας τη μακροζωία και την αξιοπιστία του τσοκ σε περιβάλλοντα καθαρού δωματίου.

Συνοπτικά, το ηλεκτροστατικό τσοκ τύπου J-R E-Chuck είναι μια ευέλικτη και αξιόπιστη λύση συγκράτησης γκοφρέτας που προσφέρει εξαιρετική απόδοση σε ένα ευρύ φάσμα διαδικασιών κατασκευής ημιαγωγών. Ο προσαρμόσιμος σχεδιασμός του, η προηγμένη τεχνολογία ηλεκτροστατικής συγκράτησης και οι στιβαρές ιδιότητες του υλικού το καθιστούν ιδανική επιλογή για εταιρείες που επιδιώκουν να βελτιστοποιήσουν το χειρισμό της γκοφρέτας διατηρώντας τα υψηλότερα πρότυπα καθαριότητας και ακρίβειας. Είτε χρησιμοποιείται για χάραξη πλάσματος, εναπόθεση ή εμφύτευση ιόντων, το ESC τύπου J-R παρέχει την ευελιξία, την ανθεκτικότητα και την αποτελεσματικότητα που απαιτούνται για την κάλυψη των απαιτητικών αναγκών της σημερινής βιομηχανίας ημιαγωγών. Με την ικανότητά του να λειτουργεί και στις δύο λειτουργίες Coulomb και Johnsen-Rahbek, να χειρίζεται υψηλές θερμοκρασίες και να αντιστέκεται στη μόλυνση από σωματίδια, το ESC τύπου J-R αποτελεί κρίσιμο συστατικό για την επιδίωξη υψηλότερων αποδόσεων και βελτιωμένων αποτελεσμάτων διαδικασίας.