Τσούκ με άκρη

Το Semicorex Wafer Edge Grinding Chuck είναι ένα ειδικό κεραμικό τμήμα που κατασκευάζεται για τη διαδικασία λείανσης άκρων του πλακιδίου κατά τη διάρκεια της παραγωγής ημιαγωγών. Το κεραμικό είναι κατασκευασμένο από υψηλή καθαρότητα, λευκή αλουμίνα (al₂o₃) με μηχανική αντοχή, χημική αντίσταση και σταθερότητα διαστάσεων για την υποστήριξη της διαδικασίας λείανσης των δισκίων. Καθώς οι νέες τεχνολογίες απαιτούν μεγαλύτερες διαμέτρους πλακιδίων και πιο ευαίσθητες δομές στις συσκευές, η λείανση των άκρων των πλακιδίων διαδραματίζει τώρα σημαντικό ρόλο στην πρόληψη του άκρου, η μικρο-κτύπημα και η απόδοση. Το κεραμικό λείανση αλουμίνας Chuck παρέχει μια σταθερή βασική γραμμή για να ικανοποιήσει αυτές τις αυστηρές απαιτήσεις παραγωγής.

Αλουμίνα κεραμικόχρησιμοποιείται ως υλικό κατασκευής λόγω των απίστευτων φυσικών, χημικών και θερμικών ιδιοτήτων του. Το White Alumina έχει εξαιρετική σκληρότητα μόνο με το διαμάντι, που κατατάσσεται υψηλότερα στην κλίμακα σκληρότητας Mohs, η οποία επιτρέπει στον τσοκ λείανσης να αντέξει τη φθορά και την τριβή στο προβλέψιμο μέλλον με επαναλαμβανόμενη χρήση. Δεδομένης της σημαντικής μηχανικής αντοχής της αλουμίνας, το δίσκο μπορεί να γίνει με ασφάλεια και να κρατηθεί, ενώ η ακαμψία της αλουμίνας δεν επιτρέπει την παραμόρφωση ή την παραμόρφωση όταν υπάρχει φορτίο που εφαρμόζεται στο τμήμα. Με δεδομένο αυτό, η Alumina είναι μια εξαιρετική επιλογή για να παραχθούν φωτιστικά και υποστηρίξεις όπου απαιτούνται ακρίβεια και ανθεκτικότητα.

Η θερμική σταθερότητα είναι επίσης ένα διακριτικό χαρακτηριστικό του κεραμικού αλουμίνας. Με ένα σημείο τήξης μεγαλύτερο από 2000 ° C και σταθερότητα θερμικού σοκ, το τσοκ μπορεί να τρέξει σε συνθήκες όπου η τριβή θέρμανση ή η αλλαγή θερμοκρασίας μπορεί να συμβεί, είναι συνεπής W.R.T όπου η διαστασιακή σταθερότητα είναι κρίσιμη, αν και το σχήμα της άκρης της άλεσης μπορεί να προσδώσει λίγη αλλαγή στη διάσταση. Η δύναμη σύσφιξης παραμένει ισχυρή για τη σταθερή διατήρηση της ευθυγράμμισης στην άλεση των άκρων. Η χαμηλή θερμική αγωγιμότητα της αλουμίνας δεν θα πρέπει να επιτρέπει την τοπική θέρμανση να θερμαίνει το δίσκο επαρκώς για οποιονδήποτε συμβιβασμό της ακεραιότητας του δίσκου στην επεξεργασία λεπτών υποστρωμάτων ημιαγωγών.

Από χημική άποψη, η αλουμίνα κεραμική έχει μικρή αντίδραση σε οξέα, αλκαλικά και τα περιβάλλοντα πλάσματος της επεξεργασίας ημιαγωγών. Σε αντίθεση με τους μεταλλικούς τσοκ που μπορεί να διαβρωθούν ή πολυμερικά φωτιστικά που μπορεί να συνεχίσουν να υποβαθμίζονται χωρίς ρητή παρακολούθηση, τα κεραμικά αλουμίνας είναι ανοσοποιητικά σε αυτούς τους κύκλους υπηρεσίας καθημερινής υπηρεσίας στην επεξεργασία ημιαγωγών. Αυτή η αδράνεια θα εξασφαλίσει μηδενική μόλυνση της επιφάνειας του δίσκου και θα διατηρήσει την καθαρότητα της διαδικασίας ενώ παράλληλα περιορίζει οποιαδήποτε απώλεια απόδοσης.

Στο σημερινό τοπίο της παραγωγής ημιαγωγών, η διαδικασία της λείανσης των άκρων είναι πολύπλευρη: προετοιμάζει το δίσκο για την επακόλουθη επεξεργασία και προσφέρει επίσης ασφαλή μεταφορά, χειρισμό και ενσωμάτωση στα πιο προηγμένα εργαλεία λιθογραφίας και χάραξης. Σε αυτό, το άκρο της άκρης του δισκίου είναι ένα σημαντικό κομμάτι του παζλ της προσάρτησης του δισκίου με ασφάλεια, κρατώντας με ακρίβεια και συμβάλλει άμεσα στην αξιοπιστία και την απόδοση των προϊόντων. Με την επένδυση σε κεραμικό αλουμίνα, ο χρόνος σώζεται με την παρατεταμένη μακροζωία ενός τέτοιου περιουσιακού στοιχείου για τον περιορισμό του χρόνου διακοπής, τη μείωση του κόστους των εξαρτημάτων και τη μεγιστοποίηση της αποτελεσματικότητας του εξοπλισμού (OEE).

Το άκρο του πλακιδίου λείανση του τσοκ είναι φτιαγμένο απόαλουμίνα κεραμικόαντιπροσωπεύει όλα τα πλεονεκτήματα της εξελιγμένης επιστήμης των υλικών και της μηχανικής ακριβείας. Δείχνει τις ιδιότητες της σκληρότητας, της αντίστασης στη φθορά, της θερμικής σταθερότητας και της χημικής αδράνειας που απαιτείται για τη διαδικασία κατασκευής των πλακιδίων ημιαγωγών. Η ισχυρή απόδοση μπορεί να οδηγήσει σε αξιόπιστη ποιότητα άκρων, καλή απόδοση και εκτεταμένη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού. Για τους κατασκευαστές ημιαγωγών που δεσμεύονται σε άψογη ακρίβεια και αποδοτικότητα, η λύση του Chuck Edge Edge είναι η λύση.