Κασέτες τεφλόν

Οι κασέτες Teflon Semicorex είναι οι φορείς υψηλής απόδοσης που έχουν σχεδιαστεί ειδικά για χρήση σε απαιτητικά χημικά περιβάλλοντα όπου η καθαρότητα, η χημική αντίσταση και η θερμική σταθερότητα είναι απαραίτητες. Κατασκευασμένο από πολυτετραφθοροαιθυλένιο υψηλής καθαρότητας (PTFE), αυτές οι κασέτες χρησιμοποιούνται ευρέως στην παραγωγή ημιαγωγών, στην υγρή χάραξη, τον χημικό καθαρισμό και σε άλλες εφαρμογές όπου η έκθεση σε εξαιρετικά επιθετικές χημικές ουσίες είναι ρουτίνα. Η μη αντιδραστική φύση τους τους καθιστά ιδανικούς για το χειρισμό λεπτών υποστρωμάτων όπως γκαζοειδή, γυάλινα πάνελ και άλλα συστατικά ακριβείας χωρίς να εισάγουν μόλυνση ή σωματίδια στη διαδικασία.

Σε διάφορες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, όπως η λιθογραφία, η χάραξη και η εμφύτευση ιόντων, οι κασέτες παίζουν ρόλο στη μεταφορά και τη μεταφορά πλακών μεταξύ διαφορετικών συσκευών. Ο διαφορετικός εξοπλισμός διεργασιών μπορεί να έχει διαφορετικές απαιτήσεις διεπαφής για κασέτες για να διασφαλιστεί ότι οι μεταφορείς των πλακιδίων μπορούν να ληφθούν και να τοποθετηθούν με ακρίβεια.

Από την άποψη του υλικού και του σχεδιασμού, χρησιμοποιούνται γενικά υλικά που είναι ανθεκτικά στη θερμότητα, έχουν γενικά εξαιρετικές μηχανικές ιδιότητες, σταθερότητα διαστάσεων και είναι ανθεκτικές, αντι-στατικές, χαμηλές, χαμηλές βροχοπτώσεις και ανακυκλώσιμα. Διαφορετικά μεγέθη πλακιδίων, κόμβοι επεξεργασίας και διαδικασίες χρησιμοποιούν διαφορετικά υλικά. Τα γενικά υλικά είναι PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, κ.λπ.

Οι κασέτες Teflon προσφέρουν ανώτερη χημική αντίσταση σε περιβάλλοντα χρησιμοποιώντας υδροφθορικό οξύ, νιτρικό οξύ, θειικό οξύ και άλλα ισχυρά διαβρωτικά. Σε αντίθεση με τα συμβατικά υλικά όπως το πολυπροπυλένιο ή ανοξείδωτο χάλυβα, το PTFE δεν υποβαθμίζει. δεν διογκώνεται. δεν διεκδικεί ουσίες σε σκληρά χημικά λουτρά. Επομένως, η απόδοση είναι εγγυημένη σε μεγάλες περιόδους και ως εκ τούτου η αξιοπιστία των κασέτας για τις γραμμές παραγωγής υψηλής απόδοσης και τα υπερ-καθαρά περιβάλλοντα. Η ευρωστία του σημαίνει χαμηλότερες ανάγκες συντήρησης και συχνότητα αντικατάστασης, μειώνοντας έτσι το μακροπρόθεσμο λειτουργικό κόστος.

Οι κασέτες Teflon επιδεικνύουν πολύ υψηλή θερμική σταθερότητα. Μπορούν εύκολα να αντέξουν τις θερμοκρασίες από -200 ° C έως +260 ° C, που ισχύουν για κρυογονικές καθώς και για διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας. Ακόμη και τοποθετημένα σε θερμαινόμενους θαλάμους ξήρανσης ή κρύα χημικά λουτρά, οι κασέτες δεν χάνουν τη δομική τους δύναμη. Δεν στρεβλωθούν ή σπάσουν, εξασφαλίζοντας ότι οι γκοφρέτες θα παραμείνουν με ασφάλεια κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας. Αυτή η ανθεκτικότητα της θερμοκρασίας συμβάλλει σημαντικά στον έλεγχο και την ομοιομορφία της διαδικασίας, οι οποίες είναι κρίσιμες για την κατασκευή ημιαγωγών και MEMS.

Ένα εξίσου σημαντικό χαρακτηριστικό των κασετών Teflon είναι η αδρανή, μη κολλητική επιφάνεια του. Το PTFE εγγενώς δεν επιτρέπει την προσρόφηση σωματιδίων και χημικών υπολειμμάτων, μειώνοντας έτσι τους κινδύνους μόλυνσης σε περιβάλλοντα καθαρού χώρου. Αυτό πρέπει να συνδυαστεί με ένα ομαλό φινίρισμα επιφάνειας που επιτρέπει το ξεπλένει εύκολο και ξήρανση γρήγορα, έτσι τα καθαρότερα αποτελέσματα και τα ταχύτερα αποτελέσματα των χρόνων κύκλου. Στην επεξεργασία ημιαγωγών, όπου τα ελαττώματα μπορούν να προκληθούν από ακόμη και μικροσκοπικούς ρύπους, αυτό το επίπεδο καθαριότητας και χημικής αδράνειας είναι υποχρεωτικό.

Κάθε κασέτα γίνεται με ακρίβεια σε αυστηρές ανοχές μεγέθους, εξασφαλίζοντας σταθερή ευθυγράμμιση και απόσταση σταθερής δίσκου ενώ μετακινείται και τοποθετείται σε υγρό. Η εύκολα σχεδιασμένη μορφή τους βοηθά τη γρήγορη χημική ροή και την αποστράγγιση, η οποία επιταχύνει τις χημικές συναλλαγματικές ισοτιμίες και βελτιώνει την ομοιομορφία καθαρισμού ή χάραξης στην επιφάνεια του δίσκου.  Οι κασέτες διατίθενται σε τυποποιημένα μεγέθη για πλακίδια 4 ιντσών, 6 ιντσών και 8 ιντσών, με επιλογές προσαρμογής που διατίθενται για να ταιριάζουν με συγκεκριμένες διαστάσεις υποστρώματος, μετρήσεις υποδοχής και απαιτήσεις χειρισμού.

Σχεδιασμένο για συμβατότητα με αυτοματοποιημένα υγρά παγκάκια και συστήματα διαχείρισης ρομποτικών πλακιδίων, οι κασέτες Teflon ενσωματώνονται εύκολα στις περισσότερες ρυθμίσεις παραγωγής ημιαγωγών. Η ισχυρή τους κατασκευή και τελείωμα καθαρισμού, πληρούν τις αυστηρές απαιτήσεις των πιστοποιημένων περιβάλλοντος ISO. Όλες οι κασέτες υφίστανται εμπεριστατωμένη επιθεώρηση και είναι προκαθορισμένες σε εξαιρετικά έντονο νερό για να πληρούν τα πρότυπα καθαριότητας που απαιτούνται για την προχωρημένη παραγωγή μικροηλεκτρονικής. Μπορούν να παρέχονται πιστοποιητικά συμμόρφωσης και πλήρους ανιχνευσιμότητας υλικών για να εξασφαλιστεί η συμμόρφωση με τα πρωτόκολλα διασφάλισης ποιότητας.