TaC Coating Upper Halfmoon

Το Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon είναι ένα ειδικά σχεδιασμένο εξάρτημα προσαρμοσμένο για την επίτευξη επιταξιακών διεργασιών υψηλής απόδοσης στον τομέα της παραγωγής ημιαγωγών. Το κομμάτι TaC Coating Upper Halfmoon έχει σχεδιαστεί για να ταιριάζει άψογα σε επιταξιακούς αντιδραστήρες, παρέχοντας εξαιρετική αντοχή και σταθερότητα κάτω από ακραίες συνθήκες.

Η επίστρωση TaC προσφέρει εξαιρετική αντοχή στις υψηλές θερμοκρασίες, καθιστώντας το TaC Coating Upper Halfmoon ιδανικό για τα απαιτητικά θερμικά περιβάλλοντα των επιταξιακών διεργασιών. Αυτό εξασφαλίζει σταθερή απόδοση και μακροζωία, μειώνοντας τη συχνότητα αντικατάστασης και το χρόνο διακοπής λειτουργίας. Το TaC Coating Upper Halfmoon μπορεί να αντέξει διαβρωτικά αέρια και χημικές ουσίες που χρησιμοποιούνται συνήθως στην επιταξιακή ανάπτυξη, προστατεύοντας την ακεραιότητα του εξαρτήματος και διατηρώντας την καθαρότητα της διαδικασίας.

Η λεία και ομοιόμορφη επίστρωση TaC ενισχύει την ποιότητα των επιταξιακών στρωμάτων ελαχιστοποιώντας τα ελαττώματα και τις ακαθαρσίες. Αυτό συμβάλλει σε υψηλότερους ρυθμούς απόδοσης και ανώτερες ηλεκτρονικές ιδιότητες των συσκευών ημιαγωγών. Ο συνδυασμός θερμικής και χημικής αντίστασης επεκτείνει τη διάρκεια ζωής του TaC Coating Upper Halfmoon, παρέχοντας μια οικονομικά αποδοτική λύση για τη διατήρηση υψηλής απόδοσης και απόδοσης στην κατασκευή ημιαγωγών.

Εφαρμογές:

Διαδικασίες εναπόθεσης χημικών ατμών σε υψηλές θερμοκρασίες (CVD).

Καρβίδιο του πυριτίου (SiC) και νιτρίδιο του γαλλίου (GaN) Επιταξία

Τεχνικές προδιαγραφές:

Υλικό: Επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου (TaC).

Εύρος θερμοκρασίας: Έως 2200°C

Χημική αντοχή: Εξαιρετική έναντι HF, HCl και άλλων διαβρωτικών αερίων

Διαστάσεις: Προσαρμόσιμο για να ταιριάζει σε συγκεκριμένα μοντέλα αντιδραστήρων

Το Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon είναι απαραίτητο συστατικό για την επίτευξη επιταξιακών στρωμάτων υψηλής ποιότητας με βελτιωμένη απόδοση και μειωμένους κινδύνους μόλυνσης. Οι προηγμένες ιδιότητες του υλικού και η ακριβής μηχανική του το καθιστούν πολύτιμο πλεονέκτημα στη βιομηχανία ημιαγωγών, υποστηρίζοντας την παραγωγή ηλεκτρονικών συσκευών επόμενης γενιάς.