Σωλήνας με επικάλυψη TaC

Το Semicorex TaC Coated Tube αντιπροσωπεύει μια κορυφή της επιστήμης των υλικών, σχεδιασμένο να αντέχει στις ακραίες συνθήκες που συναντώνται στην προηγμένη κατασκευή ημιαγωγών. Δημιουργημένος με την εφαρμογή ενός πυκνού, ομοιόμορφου στρώματος TaC σε ένα υπόστρωμα ισοτροπικού γραφίτη υψηλής καθαρότητας μέσω Chemical Vapor Deposition (CVD), το TaC Coated Tube προσφέρει έναν συναρπαστικό συνδυασμό ιδιοτήτων που ξεπερνούν τα συμβατικά υλικά σε απαιτητικά περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και χημικά επιθετικά. **

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Η δύναμη του Semicorex TaC Coated Tube έγκειται στον συνεργιστικό συνδυασμό του υλικού βάσης και της εξειδικευμένης επίστρωσης:

Ίδρυμα ισοτροπικού γραφίτη υψηλής καθαρότητας:Ο πυρήνας του επικαλυμμένου σωλήνα TaC αποτελείται από ισοτροπικό γραφίτη εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας, γνωστός για την εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, τη χαμηλή θερμική διαστολή και την εγγενή του αντοχή σε θερμικό σοκ. Αυτή η βάση παρέχει μια στιβαρή και σταθερή πλατφόρμα ικανή να αντέχει τις γρήγορες διακυμάνσεις της θερμοκρασίας και τα υψηλά θερμικά φορτία που είναι χαρακτηριστικά της επεξεργασίας ημιαγωγών.

Καρβίδιο τανταλίου---Μια ασπίδα αντοχής και αδράνειας:Η επίστρωση TaC που εφαρμόζεται με CVD μεταμορφώνει το υπόστρωμα γραφίτη, προσδίδοντας εξαιρετική σκληρότητα, αντοχή στη φθορά και χημική αδράνεια. Αυτό το προστατευτικό στρώμα δρα ως φράγμα ενάντια στα επιθετικά αέρια, τα πλάσματα και τα αντιδραστικά είδη που συναντώνται κατά την κατασκευή ημιαγωγών, διασφαλίζοντας τη δομική ακεραιότητα και τη μακροζωία του σωλήνα.

Αυτός ο μοναδικός συνδυασμός υλικών μεταφράζεται σε μια σειρά πλεονεκτημάτων που είναι κρίσιμα για την προηγμένη κατασκευή ημιαγωγών:

Ασυναγώνιστη αντίσταση στη θερμοκρασία:Το TaC μπορεί να υπερηφανεύεται για ένα από τα υψηλότερα σημεία τήξης όλων των γνωστών υλικών, ξεπερνώντας ακόμη και το καρβίδιο του πυριτίου (SiC). Αυτή η ακραία αντίσταση θερμοκρασίας επιτρέπει στο TaC Coated Tube να λειτουργεί αξιόπιστα σε διαδικασίες που απαιτούν θερμοκρασίες άνω των 2500°C, επιτρέποντας την παραγωγή συσκευών ημιαγωγών επόμενης γενιάς με απαιτητικούς θερμικούς προϋπολογισμούς.

Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα για έλεγχο κρίσιμης διαδικασίας:Η διατήρηση παρθένων περιβαλλόντων διεργασίας είναι υψίστης σημασίας στην κατασκευή ημιαγωγών. Η χρήση γραφίτη υψηλής καθαρότητας και η σχολαστική διαδικασία επίστρωσης CVD εξασφαλίζουν ελάχιστη εξάτμιση ή παραγωγή σωματιδίων από τον επικαλυμμένο σωλήνα TaC, αποτρέποντας τη μόλυνση που θα μπορούσε να θέσει σε κίνδυνο τις ευαίσθητες επιφάνειες πλακιδίων και την απόδοση της συσκευής.

Αταλάντευτη χημική αντοχή:Η χημική αδράνεια του επικαλυμμένου σωλήνα TaC παρέχει εξαιρετική αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα διαβρωτικών αερίων, δραστικών ιόντων και περιβαλλόντων πλάσματος που χρησιμοποιούνται συνήθως σε διαδικασίες ημιαγωγών όπως χάραξη, εναπόθεση και ανόπτηση. Αυτή η ισχυρή χημική σταθερότητα μεταφράζεται σε παρατεταμένη διάρκεια ζωής του σωλήνα, μειωμένες απαιτήσεις συντήρησης και χαμηλότερο συνολικό κόστος ιδιοκτησίας.

Βελτιωμένη μηχανική αντοχή για εκτεταμένη διάρκεια ζωής:Η ισχυρή δύναμη συγκόλλησης μεταξύ της επικάλυψης TaC και του υποστρώματος γραφίτη, σε συνδυασμό με την εγγενή σκληρότητα του επικαλυμμένου σωλήνα TaC, παρέχει εξαιρετική αντοχή στη φθορά, τη διάβρωση και τη μηχανική καταπόνηση. Αυτή η βελτιωμένη ανθεκτικότητα μεταφράζεται σε μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και μειωμένο χρόνο ακινητοποίησης για αντικατάσταση, βελτιώνοντας την αποτελεσματικότητα και την απόδοση της διαδικασίας.