Πλάκα με επικάλυψη TaC

Το TaC Coated Plate είναι ένας εξειδικευμένος δίσκος σχεδιασμένος για χρήση σε επιταξιακές διεργασίες SiC, κατασκευασμένος με ακρίβεια από υλικό γραφίτη υψηλής ποιότητας. Η επιφάνειά του είναι σχολαστικά επικαλυμμένη με καρβίδιο τανταλίου (TaC), μια ένωση γνωστή για την εξαιρετική καθαρότητα και αντοχή του. Η επίστρωση TaC ενισχύει την ανθεκτικότητα και την αντοχή της πλάκας στις υψηλές θερμοκρασίες, καθιστώντας την ιδανική για τις απαιτητικές συνθήκες των επιταξιακών διεργασιών SiC.

Αυτή η καινοτόμος πλάκα με επίστρωση TaC είναι ένας εξειδικευμένος δίσκος σχεδιασμένος για χρήση σε επιταξιακές διεργασίες SiC, κατασκευασμένος με ακρίβεια από υλικό γραφίτη υψηλής ποιότητας. Η επιφάνεια της πλάκας με επίστρωση TaC είναι σχολαστικά επικαλυμμένη με καρβίδιο του τανταλίου (TaC), μια ένωση γνωστή για την εξαιρετική καθαρότητα και αντοχή του. χρησιμεύει ως μια αξιόπιστη πλατφόρμα για τη μεταφορά γκοφρετών κατά τη διάρκεια διαφόρων σταδίων της επιταξιακής ανάπτυξης του SiC. Η βάση γραφίτη υψηλής καθαρότητας του παρέχει μια σταθερή και αδρανή επιφάνεια, ενώ η επίστρωση TaC προσθέτει ένα επιπλέον στρώμα προστασίας από χημικές αντιδράσεις και φθορά.

Το Semicorex TaC Coated Plate προσαρμόζεται σύμφωνα με τις συγκεκριμένες απαιτήσεις των πελατών, εξασφαλίζοντας βέλτιστη απόδοση και συμβατότητα με τα επιταξιακά συστήματα SiC τους. Είτε πρόκειται για μέγεθος, σχήμα ή άλλες προδιαγραφές, αυτές οι πλάκες είναι προσαρμοσμένες για να καλύπτουν τις μοναδικές ανάγκες κάθε εφαρμογής.