Στερεός δακτύλιος εστίασης καρβιδίου πυριτίου

Ο δακτύλιος εστίασης στερεού καρβιδίου του πυριτίου Semicorex είναι ένα βασικό συστατικό στην κατασκευή ημιαγωγών, στρατηγικά τοποθετημένο έξω από τη γκοφρέτα για να διατηρεί άμεση επαφή. Χρησιμοποιώντας μια εφαρμοζόμενη τάση, αυτός ο δακτύλιος εστιάζει το πλάσμα που το διασχίζει, ενισχύοντας έτσι την ομοιομορφία της διαδικασίας στη γκοφρέτα. Κατασκευασμένος αποκλειστικά από καρβίδιο πυριτίου από χημική εναπόθεση ατμών (CVD SiC), αυτός ο δακτύλιος εστίασης ενσωματώνει τις εξαιρετικές ιδιότητες που απαιτεί η βιομηχανία ημιαγωγών. Εμείς στη Semicorex είμαστε αφοσιωμένοι στην κατασκευή και την παροχή υψηλής απόδοσης στερεού δακτυλίου εστίασης από καρβίδιο πυριτίου που συνδυάζει την ποιότητα με την οικονομική απόδοση.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Στην κατασκευή ημιαγωγών, ο δακτύλιος εστίασης από στερεό καρβίδιο πυριτίου Semicorex διαδραματίζει κρίσιμο ρόλο ενεργώντας ως ασπίδα, διατηρώντας την ακεραιότητα της γκοφρέτας κατά τη διαδικασία χάραξης. Ο σχολαστικά σχεδιασμένος σχεδιασμός του εξασφαλίζει ακριβή και ομοιόμορφη χάραξη, διευκολύνοντας έτσι την παραγωγή εξαιρετικά περίπλοκων στοιχείων ημιαγωγών που παρουσιάζουν ανώτερη απόδοση και αξιοπιστία.

Το καρβίδιο του πυριτίου είναι το υλικό επιλογής για τον δακτύλιο εστίασης λόγω της ανώτερης αντοχής του στη διάβρωση του πλάσματος όταν εκτίθεται στο πλάσμα εντός του θαλάμου αντίδρασης κενού. Ο δακτύλιος εστίασης στερεού καρβιδίου πυριτίου υπερτερεί του παραδοσιακού πυριτίου σε πολλές πτυχές, όπως:

(1) Υψηλή πυκνότητα που ελαχιστοποιεί τους ρυθμούς χάραξης.

(2) Ανώτερο διάκενο ζώνης και εξαιρετικές ιδιότητες μόνωσης.

(3) Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής και αντοχή σε θερμικό σοκ.

(4) Υψηλή ελαστικότητα σε συνδυασμό με εξαιρετική αντοχή σε μηχανικές κρούσεις.

(5) Εξαιρετική σκληρότητα, αντοχή στη φθορά και αντοχή στη διάβρωση.

Η αγωγιμότητα και η αντίσταση του καρβιδίου του πυριτίου στη χάραξη ιόντων είναι παρόμοια με το πυρίτιο, καθιστώντας το στερεό δακτύλιο εστίασης καρβιδίου πυριτίου ιδανικό υλικό για αυτήν την εφαρμογή.

Ο δακτύλιος εστίασης Semicorex Solid Carbide Silicon Focusing Ring αποτελεί μια λύση αιχμής στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών. Αξιοποιεί τις μοναδικές ιδιότητες του CVD SiC για να διευκολύνει αξιόπιστες, υψηλής απόδοσης διαδικασίες χάραξης, συμβάλλοντας σημαντικά στην πρόοδο της τεχνολογίας ημιαγωγών.