Δακτύλιοι εστίασης από καρβίδιο πυριτίου

Δακτύλιοι εστίασης καρβιδίου πυριτίουεγκαθίστανται συνήθως στον θάλαμο αντίδρασης του εξοπλισμού χάραξης, που τοποθετούνται γύρω από την επιφάνεια στήριξης του ηλεκτροστατικού τσοκ. Αυτή η διάταξη εγκατάστασης μπορεί να γεμίσει με επιτυχία τη διαφορά ύψους μεταξύ της άκρης του πλακιδίου και του ηλεκτροδίου, εστιάζοντας το πλάσμα στο θάλαμο αντίδρασης στην επιφάνεια του πλακιδίου για να επιτευχθεί ομοιόμορφη χάραξη και επίσης αποτρέποντας τη διάχυση του πλάσματος προς τα έξω από την άκρη του πλακιδίου για να αποφευχθεί το πρόβλημα της υπερβολικής χάραξης της άκρης του πλακιδίου.

Τα υψηλής ποιότητας εξαρτήματα χάραξης μπορούν να παρέχουν ένα σταθερό περιβάλλον ηλεκτρικού πεδίου για τη διαδικασία χάραξης. Οι δακτύλιοι εστίασης από καρβίδιο πυριτίου της Semicorex κατασκευάζονται από υψηλής απόδοσηςυλικά καρβιδίου του πυριτίουμέσω χημικής εναπόθεσης ατμών. Οι δακτύλιοι εστίασής μας είναι ικανοί να προσαρμόζουν την κατανομή ηλεκτρικού πεδίου γύρω από τη γκοφρέτα, μειώνοντας σημαντικά τις αποκλίσεις χάραξης ή τα φαινόμενα εκφόρτισης που προκαλούνται από ανομοιόμορφα ηλεκτρικά πεδία.

Οι γκοφρέτες ημιαγωγών είναι εύκολα ευαίσθητες σε σωματιδιακή μόλυνση, επομένως οι διαδικασίες χάραξης πλάσματος πρέπει να εκτελούνται σε εξαιρετικά καθαρούς θαλάμους αντίδρασης χάραξης ιόντων. Ως το κύριο συστατικό του εξοπλισμού χάραξης, οι δακτύλιοι εστίασης από καρβίδιο του πυριτίου έρχονται σε άμεση επαφή με την άκρη του πλακιδίου κατά την πραγματική λειτουργία, που απαιτείται επίσης για την τήρηση εξαιρετικά υψηλών προτύπων καθαριότητας. Οι δακτύλιοι εστίασης από καρβίδιο πυριτίου της Semicorex προσφέρουν τα πλεονεκτήματα της υψηλής καθαρότητας και της χαμηλής περιεκτικότητας σε ακαθαρσίες, που μπορούν να ανταποκριθούν με ακρίβεια στις αυστηρές απαιτήσεις καθαριότητας των διαδικασιών χάραξης ημιαγωγών. Αυτό συμβάλλει σημαντικά στη μείωση των ελαττωμάτων του πλακιδίου και βελτιώνει την απόδοση παραγωγής γκοφρέτας.

Κατά τη διαδικασία χάραξης πλάσματος, αέρια χάραξης όπως φθόριο και οξυγόνο εισάγονται στον θάλαμο αντίδρασης. Η αντοχή στη χημική διάβρωση του εξοπλισμού χάραξης αμφισβητείται σοβαρά από τη μακροχρόνια διάβρωση που προκαλείται από τα αέρια διεργασίας. Με την ανώτερη ιδιότητα αντοχής του στη διάβρωση του πλάσματος, το καρβίδιο του πυριτίου είναι η βέλτιστη επιλογή υλικού για την κατασκευή δακτυλίων εστίασης. Μειώνοντας την πιθανότητα βλάβης εξαρτημάτων που σχετίζεται με τη διάβρωση και ελαχιστοποιώντας την ανάγκη για συχνή αντικατάσταση και συντήρηση, οι δακτύλιοι εστίασης από καρβίδιο του πυριτίου μπορούν να αυξήσουν σημαντικά την απόδοση της κατασκευής γκοφρέτας ημιαγωγών.