Η επίστρωση SiC είναι ένα λεπτό στρώμα πάνω στον υποδοχέα μέσω της διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Το υλικό καρβιδίου του πυριτίου παρέχει μια σειρά από πλεονεκτήματα σε σχέση με το πυρίτιο, συμπεριλαμβανομένου του 10x της ισχύος ηλεκτρικού πεδίου διάσπασης, του 3x του κενού ζώνης, που παρέχει στο υλικό υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά καθώς και θερμική αγωγιμότητα.
Η Semicorex παρέχει εξατομικευμένη υπηρεσία, σας βοηθά να καινοτομείτε με εξαρτήματα που διαρκούν περισσότερο, μειώνουν τους χρόνους κύκλου και βελτιώνουν τις αποδόσεις.
Η επίστρωση SiC έχει πολλά μοναδικά πλεονεκτήματα
Αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC μπορεί να αντέξει υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C χωρίς να υποστεί σημαντική θερμική υποβάθμιση.
Χημική αντίσταση: Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετική αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα χημικών ουσιών, συμπεριλαμβανομένων οξέων, αλκαλίων και οργανικών διαλυτών.
Αντίσταση στη φθορά: Η επίστρωση SiC παρέχει στο υλικό εξαιρετική αντοχή στη φθορά, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που περιλαμβάνουν υψηλή φθορά.
Θερμική αγωγιμότητα: Η επίστρωση CVD SiC παρέχει στο υλικό υψηλή θερμική αγωγιμότητα, καθιστώντας το κατάλληλο για χρήση σε εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας που απαιτούν αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας.
Υψηλή αντοχή και ακαμψία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου παρέχει στο υλικό υψηλή αντοχή και ακαμψία, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή μηχανική αντοχή.
Η επίστρωση SiC χρησιμοποιείται σε διάφορες εφαρμογές
Κατασκευή LED: Ο υποδοχέας με επικάλυψη CVD SiC χρησιμοποιείται στην κατασκευή επεξεργασμένων διαφόρων τύπων LED, συμπεριλαμβανομένων των μπλε και πράσινων LED, UV LED και LED βαθιάς UV, λόγω της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και της χημικής αντοχής.
Κινητή επικοινωνία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα κρίσιμο μέρος του HEMT για την ολοκλήρωση της επιταξιακής διαδικασίας GaN-on-SiC.
Επεξεργασία ημιαγωγών: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών για διάφορες εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας πλακιδίων και της επιταξιακής ανάπτυξης.
Στοιχεία γραφίτη επικαλυμμένα με SiC
Κατασκευασμένο από γραφίτη Silicon Carbide Coating (SiC), η επίστρωση εφαρμόζεται με μέθοδο CVD σε συγκεκριμένες ποιότητες γραφίτη υψηλής πυκνότητας, ώστε να μπορεί να λειτουργεί σε κλίβανο υψηλής θερμοκρασίας με πάνω από 3000 °C σε αδρανή ατμόσφαιρα, 2200 °C σε κενό .
Οι ειδικές ιδιότητες και η χαμηλή μάζα του υλικού επιτρέπουν γρήγορους ρυθμούς θέρμανσης, ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας και εξαιρετική ακρίβεια στον έλεγχο.
Στοιχεία υλικού Semicorex SiC Coating
Τυπικές ιδιότητες |
Μονάδες |
Αξίες |
Δομή |
|
FCC β φάση |
Προσανατολισμός |
Κλάσμα (%) |
111 προτιμώ |
Χύδην πυκνότητα |
g/cm³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμική διαστολή 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Συμπέρασμα Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα σύνθετο υλικό που συνδυάζει τις ιδιότητες ενός επιδεκτικού και καρβιδίου του πυριτίου. Αυτό το υλικό διαθέτει μοναδικές ιδιότητες, όπως υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και υψηλή αντοχή και ακαμψία. Αυτές οι ιδιότητες το καθιστούν ελκυστικό υλικό για διάφορες εφαρμογές σε υψηλές θερμοκρασίες, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας ημιαγωγών, της χημικής επεξεργασίας, της θερμικής επεξεργασίας, της κατασκευής ηλιακών κυττάρων και της κατασκευής LED.
Το Semicorex SiC Susceptor για ICP Etch κατασκευάζεται με έμφαση στη διατήρηση υψηλών προτύπων ποιότητας και συνέπειας. Οι στιβαρές διαδικασίες παραγωγής που χρησιμοποιούνται για τη δημιουργία αυτών των υποδοχέων διασφαλίζουν ότι κάθε παρτίδα πληροί αυστηρά κριτήρια απόδοσης, παρέχοντας αξιόπιστα και συνεπή αποτελέσματα στη χάραξη ημιαγωγών. Επιπλέον, η Semicorex είναι εξοπλισμένη για να προσφέρει γρήγορα χρονοδιαγράμματα παράδοσης, τα οποία είναι ζωτικής σημασίας για να συμβαδίζουν με τις απαιτήσεις ταχείας ανάκαμψης της βιομηχανίας ημιαγωγών, διασφαλίζοντας ότι τηρούνται τα χρονοδιαγράμματα παραγωγής χωρίς συμβιβασμούς στην ποιότητα. Εμείς στη Semicorex είμαστε αφοσιωμένοι στην κατασκευή και την παροχή υψηλών επιδόσεων SiC Susceptor για ICP Etch που συνδυάζει την ποιότητα με την οικονομι......
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟ δακτύλιος στήριξης με επίστρωση Semicorex SiC είναι ένα βασικό συστατικό που χρησιμοποιείται στη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης ημιαγωγών. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex SiC Coated Ring είναι ένα κρίσιμο συστατικό στη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης ημιαγωγών, σχεδιασμένο να ανταποκρίνεται στις απαιτητικές απαιτήσεις της σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ αξιοπιστία και η εξαιρετική απόδοση του Semicorex SiC Boat for Solar Cell Diffusion πηγάζει από την ικανότητά τους να προσφέρουν σταθερά στις απαιτητικές συνθήκες παραγωγής ηλιακών κυψελών. Οι ιδιότητες υλικών υψηλής ποιότητας του SiC διασφαλίζουν ότι αυτά τα σκάφη αποδίδουν βέλτιστα σε ένα ευρύ φάσμα συνθηκών λειτουργίας, συμβάλλοντας στη σταθερή και αποτελεσματική παραγωγή ηλιακών κυψελών. Τα χαρακτηριστικά απόδοσής τους περιλαμβάνουν εξαιρετική μηχανική αντοχή, θερμική σταθερότητα και αντοχή σε περιβαλλοντικούς στρεσογόνους παράγοντες, καθιστώντας το SiC Boat for Solar Cell Diffusion απαραίτητο εργαλείο στη βιομηχανία φωτοβολταϊκών.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck είναι ένα στήριγμα υποστρώματος σχεδιασμένο με ακρίβεια, σχεδιασμένο ειδικά για το χειρισμό και την επεξεργασία νιτριδίου του γαλλίου σε επιταξιακές γκοφρέτες πυριτίου. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι Semicorex SiC Wafer Susceptors για MOCVD είναι ένα πρότυπο ακρίβειας και καινοτομίας, ειδικά κατασκευασμένο για να διευκολύνει την επιταξιακή εναπόθεση υλικών ημιαγωγών σε γκοφρέτες. Οι ανώτερες ιδιότητες υλικού των πλακών τους επιτρέπουν να αντέχουν στις αυστηρές συνθήκες επιταξιακής ανάπτυξης, συμπεριλαμβανομένων των υψηλών θερμοκρασιών και των διαβρωτικών περιβαλλόντων, καθιστώντας τις απαραίτητες για την κατασκευή ημιαγωγών υψηλής ακρίβειας. Εμείς στη Semicorex είμαστε αφοσιωμένοι στην κατασκευή και παροχή SiC Wafer Susceptors υψηλής απόδοσης για MOCVD που συνδυάζουν την ποιότητα με την οικονομική απόδοση.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης