Κίνα Κεραμικός Manufacturers, Suppliers, Factory

Η Semicorex είναι ο συνεργάτης σας για τη βελτίωση της επεξεργασίας ημιαγωγών. Οι επικαλύψεις καρβιδίου του πυριτίου μας είναι πυκνές, υψηλές θερμοκρασίες και ανθεκτικές σε χημικές ουσίες, οι οποίες χρησιμοποιούνται συχνά σε ολόκληρο τον κύκλο κατασκευής ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας γκοφρετών και πλακιδίων ημιαγωγών και της κατασκευής ημιαγωγών.

Τα κεραμικά εξαρτήματα SiC υψηλής καθαρότητας είναι ζωτικής σημασίας για τις διεργασίες στον ημιαγωγό. Η προσφορά μας κυμαίνεται από αναλώσιμα εξαρτήματα για εξοπλισμό επεξεργασίας γκοφρέτας, όπως βάρκα γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου, κουπιά προβόλου, σωλήνες κ.λπ. για Epitaxy ή MOCVD.

Πλεονεκτήματα για διεργασίες ημιαγωγών

Οι φάσεις απόθεσης λεπτής μεμβράνης, όπως η επιταξία ή το MOCVD, ή η επεξεργασία χειρισμού πλακιδίων, όπως η χάραξη ή η εμφύτευση ιόντων, πρέπει να αντέχουν σε υψηλές θερμοκρασίες και σκληρό χημικό καθαρισμό. Η Semicorex παρέχει κατασκευή καρβιδίου του πυριτίου (SiC) υψηλής καθαρότητας που παρέχει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και ανθεκτική χημική αντοχή, ακόμη και θερμική ομοιομορφία για σταθερό πάχος και αντοχή στο στρώμα epi.

Καπάκια θαλάμου →
Τα καπάκια θαλάμου που χρησιμοποιούνται για την ανάπτυξη κρυστάλλων και την επεξεργασία γκοφρέτας πρέπει να αντέχουν σε υψηλές θερμοκρασίες και σκληρό χημικό καθαρισμό.

Πρόβολο Κουπί →
Το Cantilever Paddle είναι ένα κρίσιμο εξάρτημα που χρησιμοποιείται σε διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών, ιδιαίτερα σε κλιβάνους διάχυσης ή LPCVD κατά τη διάρκεια διεργασιών όπως η διάχυση και η RTP.

Σωλήνας διεργασίας →
Το Process Tube είναι ένα κρίσιμο εξάρτημα, ειδικά σχεδιασμένο σε διάφορες εφαρμογές επεξεργασίας ημιαγωγών όπως RTP, διάχυση.

Wafer Boats →
Το Wafer Boat χρησιμοποιείται στην επεξεργασία ημιαγωγών, έχει σχεδιαστεί σχολαστικά για να διασφαλίζει ότι οι ευαίσθητες γκοφρέτες διατηρούνται ασφαλείς κατά τα κρίσιμα στάδια της παραγωγής.

Δακτύλιοι εισόδου →
Δακτύλιος εισαγωγής αερίου με επίστρωση SiC από εξοπλισμό MOCVD Η ανάπτυξη ένωσης έχει υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση, η οποία έχει μεγάλη σταθερότητα σε ακραία περιβάλλοντα.

Δαχτυλίδι εστίασης →
Η Semicorex παρέχει Ο δακτύλιος εστίασης με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου είναι πραγματικά σταθερός για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό.

Τσοκ γκοφρέτας →
Τα εξαιρετικά επίπεδα κεραμικά τσοκ γκοφρέτας κενού Semicorex είναι επικαλυμμένα με SiC υψηλής καθαρότητας που χρησιμοποιείται στη διαδικασία χειρισμού γκοφρέτας.

Η Semicorex διαθέτει επίσης κεραμικά προϊόντα σε αλουμίνα (Al2O3), νιτρίδιο πυριτίου (Si3N4), νιτρίδιο αλουμινίου (AIN), ζιρκονία (ZrO2), σύνθετο κεραμικό κ.λπ.