Νήμα θέρμανσης SiC

Το Semicorex SiC Heating Filament, ένα θερμαντικό στοιχείο υψηλού κενού που αναπτύχθηκε για την επεξεργασία πλακιδίων σε νέα κατασκευή ημιαγωγών, είναι ένα καινοτόμο θερμαντικό στοιχείο σχεδιασμένο μεπυρήνα γραφίτηκαι υψηλής καθαρότηταςεπίστρωση καρβιδίου του πυριτίου. Το ειδικό νήμα χρησιμοποιεί τη θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη και την ανθεκτικότητα και προστασία του SiC, με αποτέλεσμα έναν σταθερό και ενεργειακά αποδοτικό θερμαντήρα με την πάροδο του χρόνου. Το νήμα θέρμανσης SiC έχει σχεδιαστεί για να θερμαίνει ομοιόμορφα τα πλακίδια και να πληροί τις προδιαγραφές, καθιστώντας το ένα εξαιρετικό συστατικό για επεξεργασία ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, όπως επιταξία, διάχυση και ανόπτηση.

Το νήμα θέρμανσης SiC είναι κατασκευασμένο από γραφίτη υψηλής καθαρότητας λόγω των θερμικών ιδιοτήτων του γραφίτη και των ποιοτικών ηλεκτρικών ιδιοτήτων του. Ο γραφίτης παρέχει την κύρια λειτουργία θέρμανσης επιτρέποντας γρήγορη απόκριση και αποτελεσματική θέρμανση υπό ηλεκτρικό φορτίο. Η πυκνή επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας προστατεύει το νήμα από πιθανές πηγές μόλυνσης. Η επίστρωση SiC προστατεύει τη γκοφρέτα από χημική μόλυνση και την οξείδωση, καθώς και τα σωματίδια στον θάλαμο, παρατείνει τη διάρκεια ζωής του νήματος και δημιουργεί ένα καθαρό περιβάλλον θαλάμου.

Ένα βασικό χαρακτηριστικό του SiC Heating Filament είναι η ικανότητα παροχής ομοιόμορφης θέρμανσης της γκοφρέτας. Οι διακυμάνσεις της θερμοκρασίας σε όλη τη γκοφρέτα μπορεί να οδηγήσουν σε ελαττώματα ή απώλεια απόδοσης. Το νήμα θέρμανσης SiC έχει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και ο συμπαγής σχεδιασμός του νήματος διασφαλίζει ότι η θερμότητα θα είναι σταθερή και πιο ομοιόμορφη, περιορίζοντας τις θερμικές κλίσεις για απόλυτο έλεγχο της διαδικασίας.

Το νήμα θέρμανσης SiC είναι προσαρμόσιμο, η τιμή ηλεκτρικής αντίστασης κάθε νήματος μπορεί να προσαρμοστεί για το εργαλείο διεργασίας και το περιβάλλον λειτουργίας του. Αυτή η προσαρμογή επιτρέπει στην τεχνολογία του καρβιδίου του πυριτίου να ελέγχει την τιμή αντίστασης της γεωμετρίας του νήματος, του πάχους της επίστρωσης και των ιδιοτήτων του υλικού. Ένα νήμα θέρμανσης SiC μπορεί να χωρέσει πολλά διαφορετικά σχέδια κλιβάνων με πολλά διαφορετικά μεγέθη γκοφρέτας και συνταγές επεξεργασίας. Αυτό είναι ιδιαίτερα ευνοϊκό για τους κατασκευαστές ημιαγωγών, καθώς επιτρέπει στις τρέχουσες διεργασίες να εκτελούνται πιο αποτελεσματικά και διατηρεί τη συμβατότητα με συστήματα που ήδη υπάρχουν.  Το τρίτο χαρακτηριστικό της απόδοσης είναι η ανθεκτικότητα. Σε διεργασίες ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, το θερμαντικό στοιχείο εκτίθεται σε πολύ επιθετικά χημικά περιβάλλοντα και επαναλαμβανόμενο θερμικό κύκλο.

Οι εφαρμογές του Semicorex SiC Heating Filament καλύπτουν μια εκτεταμένη σειρά διαδικασιών κατασκευής συσκευών ημιαγωγών. Κατά την επιταξιακή ανάπτυξη, για παράδειγμα, το θερμαντικό στοιχείο παρέχει μια σταθερή και ομοιόμορφη θερμοκρασία υποστρώματος για την εναπόθεση κρυσταλλικών μεμβρανών υψηλής ποιότητας.